Научно-технический
«ОПТИЧЕСКИЙ ЖУРНАЛ»
издается с 1931 года
 
   
Русский вариант сайта Английский вариант сайта
   
       
   
       
Статьи последнего выпуска

Электронные версии
выпусков начиная с 2008


Алфавитный указатель
2000-2010 гг


444
Архив оглавлений
выпусков 2002-2007 гг


Реквизиты и адреса

Вниманию авторов и рецензентов!
- Порядок публикации
- Порядок рецензирования статей
- Типовой договор
- Правила оформления
- Получение авторского вознаграждения
- Редакционная этика


Контакты

Подписка

Карта сайта




Журнал с 19.02.2010 входит в новый «Перечень ведущих рецензируемых научных журналов и изданий, в которых должны быть опубликованы основные научные результаты диссертации на соискание ученой степени доктора и кандидата наук»
Аннотации (01.2009) : ИЗМЕРЕНИЕ ПОКАЗАТЕЛЯ ПРЕЛОМЛЕНИЯ НЕОДНОРОДНОГО ПРОСВЕТЛЯЮЩЕГО ПОКРЫТИЯ

ИЗМЕРЕНИЕ ПОКАЗАТЕЛЯ ПРЕЛОМЛЕНИЯ НЕОДНОРОДНОГО ПРОСВЕТЛЯЮЩЕГО ПОКРЫТИЯ

 

© 2009 г. А. А. Немкова; Э. С. Путилин, доктор техн. наук

 

Санкт-Петербургский государственный университет информационных технологий, механики и оптики, Санкт-Петербург

 

E-mail: anastasia.nemkova@yahoo.com

 

C помощью эллипсометрического и фотометрического методов выполнены измерения показателя преломления пленки на основе тетраэтоксисилана. Показано, что методом эллипсометрии возможно определить не только показатель преломления, но и выявить неоднородность оптического профиля.

 

УДК 539.232: 681.785.35

Коды OCIS: 120.2130, 120.5240.

 

Поступила в редакцию 18.09.2008.

 

 ЛИТЕРАТУРА

1. Азам Р., Башара Н. Эллипсометрия и поляризованный свет. М.: Мир, 1981. 252 с.

2. Vedam K. Spectroscopic ellipsometry: a historical overview // Thin Solid Films. 1998. V. 313-314. P. 1-9.

3. Толмачев В.А. Адсорбционно-эллипсометричекий метод исследования оптического профиля, толщины и пористости тонких пленок // Оптический журнал. 1999. Т. 66. № 7. С. 20-34.

4. Крылова Т.Н. Интерференционные покрытия. Л.: Машиностроение, 1973. 224 с.

 

Полный текст  >>>>

 

Measuring the refractive index of an inhomogeneous antireflection coating

A. A. Nemkova and É. S. Putilin

Ellipsometric and photometric methods are used to measure the refractive index of a film based on tetraethoxy silane. It is shown that the method of ellipsometry makes it possible not only to determine the refractive index but also to detect the inhomogeneity of the optical profile.