Научно-технический
«ОПТИЧЕСКИЙ ЖУРНАЛ»
издается с 1931 года
 
   
Русский вариант сайта Английский вариант сайта
   
       
   
       
Статьи последнего выпуска

Электронные версии
выпусков начиная с 2008


Алфавитный указатель
2000-2010 гг


444
Архив оглавлений
выпусков 2002-2007 гг


Реквизиты и адреса

Вниманию авторов и рецензентов!
- Порядок публикации
- Порядок рецензирования статей
- Типовой договор
- Правила оформления
- Получение авторского вознаграждения
- Редакционная этика


Контакты

Подписка

Карта сайта




Журнал с 01.12.2015 допущен ВАК для публикации основных результатов диссертаций как издание, входящее в международные реферативные базы систем цитирования (Web Science, Scopus) (см. Vak.ed.gov.ru/87)
Аннотации (01.2010) : ПРОГРАММНЫЙ КОМПЛЕКС ДЛЯ СИНТЕЗА И ЦИФРОВОГО ВОССТАНОВЛЕНИЯ ГОЛОГРАММ-ПРОЕКТОРОВ: ВЛИЯНИЕ ПАРАМЕТРОВ СИНТЕЗА НА КАЧЕСТВО ВОССТАНОВЛЕННОГО ИЗОБРАЖЕНИЯ

ПРОГРАММНЫЙ КОМПЛЕКС ДЛЯ СИНТЕЗА И ЦИФРОВОГО ВОССТАНОВЛЕНИЯ ГОЛОГРАММ-ПРОЕКТОРОВ: ВЛИЯНИЕ ПАРАМЕТРОВ СИНТЕЗА НА КАЧЕСТВО ВОССТАНОВЛЕННОГО ИЗОБРАЖЕНИЯ

© 2010 г. С. Н. Корешев, доктор техн. наук; О. В. Никаноров; Ю. А. Иванов; И. А. Козулин

 

Санкт-Петербургский государственный университет информационных технологий, механики и оптики, Санкт-Петербург

E-mail: koreshev@list.ru

 

Сообщается о разработке программного комплекса для синтеза и восстановления

голограмм-проекторов. Работа выполнена в целях практической реализации голографического варианта фотолитографического процесса, в котором синтезированная голограмма одновременно выполняет функции фотошаблона и проекционного объектива. Описаны программные возможности комплекса и используемые в нем алгоритмы. Приведены результаты успешного тестирования разработки. Показана возможность использования комплекса для оптимизации параметров синтеза голограмм-проекторов.

 

Ключевые слова: голограмма-проектор, цифровой синтез голограмм, преобразование Френеля, принцип Гейгенса–Френеля.

 

Коды OCIS: 090.1760

УДК 535.417; 535.317; 778.38

Поступила в редакцию 22.09.2009

 

ЛИТЕРАТУРА

1. Koreshev S.N., Ratushnyi V. Holographic method for obtaining images of two–dimensional objects with limiting high resolution for extreme shot-wave lithography problems // Practical holography XVIII: Materials and Applications. Proc. SPIE. 2004. V. 5290. P. 221–232.

2. Jacobsen C., Howells M. Projection x-ray lithography using computer-generated holograms: A study of compatibility with proximity lithography // J. Appl. Phys. 1992. V. 71. P. 2993–3001.

3. Naullenau P.P., Salmassi F., Cullikson E.M., Liddle J.A. Design and fabrication of a high-efficiency extreme-ultraviolet binary phase-only computer-generated hologram // Appl. Optics. 2007. V. 46. № 14. P. 2581–2585.

4. Корешев С.Н., Никаноров О.В., Козулин И.А. Выбор параметров синтеза голограмм-проекторов для фотолитографии // Оптический журнал. 2008. Т. 75. № 9. С. 29–34.

5. Моро У. Микролитография. М.: Мир, 1990. 1240 с.

6. Гудмен Дж. Введение в Фурье-оптику. М.: Мир, 1970. 364 с.

 

ПОЛНЫЙ ТЕКСТ