© 2010 г. С. Н. Корешев, доктор техн. наук; О. В. Никаноров; Ю. А. Иванов; И. А. Козулин
Санкт-Петербургский государственный университет информационных технологий, механики и оптики, Санкт-Петербург
E-mail: koreshev@list.ru
Сообщается о разработке программного комплекса для синтеза и восстановления
голограмм-проекторов. Работа выполнена в целях практической реализации голографического варианта фотолитографического процесса, в котором синтезированная голограмма одновременно выполняет функции фотошаблона и проекционного объектива. Описаны программные возможности комплекса и используемые в нем алгоритмы. Приведены результаты успешного тестирования разработки. Показана возможность использования комплекса для оптимизации параметров синтеза голограмм-проекторов.
Ключевые слова: голограмма-проектор, цифровой синтез голограмм, преобразование Френеля, принцип Гейгенса–Френеля.
Коды OCIS: 090.1760
УДК 535.417; 535.317; 778.38
Поступила в редакцию 22.09.2009
ЛИТЕРАТУРА
1. Koreshev S.N., Ratushnyi V. Holographic method for obtaining images of two–dimensional objects with limiting high resolution for extreme shot-wave lithography problems // Practical holography XVIII: Materials and Applications. Proc. SPIE. 2004. V. 5290. P. 221–232.
2. Jacobsen C., Howells M. Projection x-ray lithography using computer-generated holograms: A study of compatibility with proximity lithography // J. Appl. Phys. 1992. V. 71. P. 2993–3001.
3. Naullenau P.P., Salmassi F., Cullikson E.M., Liddle J.A. Design and fabrication of a high-efficiency extreme-ultraviolet binary phase-only computer-generated hologram // Appl. Optics. 2007. V. 46. № 14. P. 2581–2585.
4. Корешев С.Н., Никаноров О.В., Козулин И.А. Выбор параметров синтеза голограмм-проекторов для фотолитографии // Оптический журнал. 2008. Т. 75. № 9. С. 29–34.
5. Моро У. Микролитография. М.: Мир, 1990. 1240 с.
6. Гудмен Дж. Введение в Фурье-оптику. М.: Мир, 1970. 364 с.
ПОЛНЫЙ ТЕКСТ
