Научно-технический
«ОПТИЧЕСКИЙ ЖУРНАЛ»
издается с 1931 года
 
   
Русский вариант сайта Английский вариант сайта
   
       
   
       
Статьи последнего выпуска

Электронные версии
выпусков начиная с 2008


Алфавитный указатель
2000-2010 гг


444
Архив оглавлений
выпусков 2002-2007 гг


Реквизиты и адреса

Вниманию авторов и рецензентов!
- Порядок публикации
- Порядок рецензирования статей
- Типовой договор
- Правила оформления
- Получение авторского вознаграждения


Контакты

Подписка

Карта сайта





Журнал с 19.02.2010 входит в новый «Перечень ведущих рецензируемых научных журналов и изданий, в которых должны быть опубликованы основные научные результаты диссертации на соискание ученой степени доктора и кандидата наук»
Аннотации (01.2010) : КОНТРОЛЬ ОПТИЧЕСКИХ ТОЛЩИН ОСАЖДАЕМЫХ СЛОЕВ НЕПОСРЕДСТВЕННО НА РАБОЧИХ ОБРАЗЦАХ В ПРОЦЕССЕ РОСТА

КОНТРОЛЬ ОПТИЧЕСКИХ ТОЛЩИН ОСАЖДАЕМЫХ СЛОЕВ НЕПОСРЕДСТВЕННО НА РАБОЧИХ ОБРАЗЦАХ В ПРОЦЕССЕ РОСТА

© 2010 г. И. С. Гайнутдинов*, доктор техн. наук; А. Г. Гусев*; А. В. Душин*; Р. М. Мустаев*, канд. техн. наук; А. Р. Насыров*, канд. физ.-мат. наук; Н. Г. Мирханов*; А. В. Михайлов**, канд. техн. наук

 

* НПО “Государственный Институт Прикладной Оптики”, Казань

** НПК “Государственный Оптический Институт им. С.И. Вавилова”, Санкт-Петербург

 

Проведен анализ ошибок фотометрического контроля толщин слоев при вакуумном напылении многослойных интерференционных систем. Показано, что при контроле толщин растущего слоя по изменению спектральной характеристики пропускания (отражения) в определенном интервале длин волн погрешность измерения сигнала не более 1% приводит к существенным ошибкам контроля толщин осаждаемых слоев. В случае контроля сквозным методом на расчетных фиксированных длинах волн ошибки менее значительны. Предложена оптическая система, позволяющая проводить контроль толщины слоев покрытия в процессе их нанесения по отражению непосредственно по рабочим деталям или свидетелю, расположенному рядом с деталями на куполе вращения.

 

Ключевые слова: фотометрический контроль, многослойные интерференционные системы.

Коды OCIS: 310.3840

УДК 621.793

 

Поступила в редакцию 12.08.2009

 

ЛИТЕРАТУРА

1. Гусев А.Г., Несмелов Е.А. Автоматизация контроля оптических толщин пленок в процессе нанесения интерференционных покрытий //ОМП. 1989. Т. 56. № 9. C. 34–36.

2. Несмелов Е.А., Борисов А.Н., Никитин А.С., Гайнутдинов И.С. Влияние структуры слоев интерференционного покрытия на его оптические Рис. 3. Оптическая система, позволяющая проводить контроль толщины слоев покрытия в процессе их нанесения непосредственно по рабочим деталям. 1000 600 200 0A1        B1A2B2A3B3A4B4A5 Рис. 4. Вид сигнала, синхронизированного с вращением подколпачной арматуры. B5 свойства // Оптический журнал. 1996. Т. 63. № 11. С. 29–32.

3. Гайнутдинов И.С., Несмелов Е.А., Хайбулин И.Б. Интерференционные покрытия для оптического приборостроения. Казань: ФЭН, 2002. 592 с.

4. Фурман Ш.А. Тонкослойные оптические покрытия. Л.: Машиностроение, 1977. 257 с.

5. Несмелов Е.А., Гусев А.Г., Матшина Н.П., Конюхов Г.П. Математическое моделирование метода оптического контроля толщин слоев интерференционного покрытия // ОМП. 1987. Т. 54. № 6. С. 14–15.

6. Берндт К.Г. Методы контроля и измерения толщины пленок и способы получения пленок, однородных по толщине // Физика тонких пленок / Под ред. Хасса Г. и Туна Р.Э. М.: Мир, 1968. Т. 3. С. 7–57.

 

ПОЛНЫЙ ТЕКСТ