© 2010 г. Е. М. Гаврищук*, доктор хим. наук; Е. Ю. Вилкова*; О. В. Тимофеев**, канд. хим. наук; А. Н. Колесников*, канд. хим. наук
** Институт химии высокочистых веществ РАН, Нижний Новгород
** Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского, Нижний Новгород
** E-mail: timofeev@ihps.nnov.ru
Проведены исследования влияния теплофизических характеристик полировальных смол, давления, размера зерна используемого абразива, скорости вращения и частоты качания обрабатывающего инструмента на процесс механического и химико-механического полирования селенида и сульфида цинка и качество получаемых поверхностей. Разработан алгоритм компьютерного распознавания дефектов на микрофотографиях полированных поверхностей халькогенидов цинка. Получены зависимости количественных характеристик дефектов на изображениях полированной поверхности халькогенидов цинка от параметров процесса механического и химико-механического полирования.
Ключевые слова: халькогениды цинка, дефекты поверхности, химико-механическое полирование.
Коды OCIS: 220.0220, 240.5450
УДК 681.3: 681.7.023.7
Поступила в редакцию 14.09.2009
ЛИТЕРАТУРА
1. Окатов М.А. Справочник технолога-оптика / Под ред. Окатова М.А. 2-е изд., перераб. и доп. СПб.: Политехника, 2004. 679 с.
2. Гаврищук Е.М., Тимофеев О.В., Погорелко А.А., Сучков А.И. Влияние условий полирования на оптические свойства поверхности селенида цинка // Неорганические материалы. 2004. Т. 40. № 3. С. 267−271.
3. Гаврищук Е.М., Потелов В.В., Сеник Б.Н., Тимофеев О.В. Влияние условий полирования на качество обработки оптических поверхностей элементов из селенида цинка для изделий, работающих в ИК диапазоне // Прикладная физика. 2005. № 5. С. 107−111.
4. Тимофеев О.В., Кушнир С.Р., Гаврищук Е.М., Радбиль Б.А. Разработка полировочных и наклеечных смол для изготовления оптических элементов из CVD–ZnSe // Тез. докл. 12 конф. “Высокочистые вещества и материалы (получение, анализ, применение)” . Нижний Новгород, 2004. С. 299.
5. Девятых Г.Г., Коршунов И.А., Гаврищук Е.М., Мурский Г.Л., Игнатьев С.В., Никоненко Д.В. Исследование объемных неоднородностей в поликристаллическом селениде цинка, полученном методом химического осаждения из газовой фазы // Высокочистые вещества. 1993. № 3. С. 16−23.
6. Гаврищук Е.М., Вилкова Е.Ю., Тимофеев О.В., Радбиль Б.А., Кушнир С.Р. Исследование процесса полирования поликристаллического селенида цинка с использованием полировальных смол на основе канифоли // Оптический журнал. 2008. Т. 75. № 9. С. 83−89.
ПОЛНЫЙ ТЕКСТ
