Научно-технический
«ОПТИЧЕСКИЙ ЖУРНАЛ»
издается с 1931 года
 
   
Русский вариант сайта Английский вариант сайта
   
       
   
       
Статьи последнего выпуска

Электронные версии
выпусков начиная с 2008


Алфавитный указатель
2000-2010 гг


444
Архив оглавлений
выпусков 2002-2007 гг


Реквизиты и адреса

Вниманию авторов и рецензентов!
- Порядок публикации
- Порядок рецензирования статей
- Типовой договор
- Правила оформления
- Получение авторского вознаграждения


Контакты

Подписка

Карта сайта





Журнал с 19.02.2010 входит в новый «Перечень ведущих рецензируемых научных журналов и изданий, в которых должны быть опубликованы основные научные результаты диссертации на соискание ученой степени доктора и кандидата наук»
Аннотации (02.2009) : Равномерность толщины пленок, осажденных на вращающиеся подложки

Равномерность толщины пленок, осажденных на вращающиеся подложки

© 2009 г. Е. Н. Котликов*, док. физ.-мат. наук; В. А. Иванов**; В. Н. Прокашев*, канд. техн. наук; А. Н. Тропин**

 

*Санкт Петербургский государственный университет аэрокосмического приборостроения, Санкт-Петербург

** НИИ “Гириконд”, Санкт-Петербург

 

Е-mail: ekotlikov@mail.ru, prokashev@aanet.ru

Е-mail: tropal@km.ru, vonavi-07@yandex.ru

 

При промышленном изготовлении многослойных оптических покрытий существенное значение имеет равномерность нанесения оптических пленок на большие по размеру (до 200 мм) дета- ли или кассеты с большим количеством подложек. В настоящей статье рассмотрена зависимость распределения толщины осажденной пленки по радиусу подложки большого размера от геометрических параметров планетарного механизма вращения подложек. Показано, что при некотором соотношении этих параметров неравномерность по толщине нанесенной пленки может не превышать 0,05% на всей поверхности подложки.

 

УДК 535.621

Коды OCIS: 140.3410.

 

Поступила в редакцию 17.03.2008.

 

ЛИТЕРАТУРА

1. Холлэнд Л. Нанесение тонких пленок в вакууме. Пер. с англ. М.: Госэнергоиздат, 1962. 608 с.

2. Берндт К.Г. Методы контроля и измерения толщины пленок и способы получения пленок, однородных по толщине // Физика тонких пленок / Пер. с англ. Под. ред. Сандомирского В.Б. и Ждана А.Г. М.: Мир, Т. 3. 1972. С. 7–57.

3. Behrndt K. Thikness Unifirmity on Rotating Substrates // Trans. 100th Nat. Vac. Symp. 1963. Р.379–384.

4. Большанин А.Ф., Жиглинский А.Г., Парчевский С.Г., Путилин Э.С. Формирование пленок постоянной толщины на осесимметричной подложке // ОМП. 1978. № 3. С. 39–42.

5. Бубис И.Я., Вейденбах В.А., Духопел И.И., Зубаков В.Г., Качкин С.С., Кузнецов С.М., Лисицын Ю.В., Окатов М.А., Петровский Г.Т., Придатко Г.Д., Сергеев Л.В., Смирнов В.И., Суйковская Н.В., Торбин И.Д., Чунин Б.А. Справочник технолога–оптика / Под общ. ред. Кузнецова С.М. и Окатова М.А. Л.: Машиностороение, 1983. 414 с.

6. Жиглинский А.Г., Путилин Э.С. Оптимальные условия формирования однородных тонких пленок // ОМП. 1971. № 9. С.46–49.

7. Чжон Суп Ким, Путилин Э.С. Формирование толщины слоев вакуумным испарением // Оптический журнал. 1998. Т. 65. № 10. С. 108–112.

 

Полный текст  >>>>

 

Thickness uniformity of films deposited on rotating substrates

E. N. Kotlikov, V. N. Prokashev, V. A. Ivanov, and A. N. Tropin

The coating uniformity of optical films on large items (up to 200mm) or on cassettes with a large number of substrates has substantial significance when multilayer optical coatings are commercially fabricated. This article discusses how the thickness distribution of a deposited film over the radius of a large substrate depends on the geometrical parameters of the mechanism of planetary rotation of the substrates. It is shown that, for a certain relationship of these parameters, the nonuniformity over the thickness of the deposited film can be less than 0.05% on the entire surface of the substrate.

 

 -