Научно-технический
«ОПТИЧЕСКИЙ ЖУРНАЛ»
издается с 1931 года
 
   
Русский вариант сайта Английский вариант сайта
   
       
   
       
Статьи последнего выпуска

Электронные версии
выпусков начиная с 2008


Алфавитный указатель
2000-2010 гг


444
Архив оглавлений
выпусков 2002-2007 гг


Реквизиты и адреса

Вниманию авторов и рецензентов!
- Порядок публикации
- Порядок рецензирования статей
- Типовой договор
- Правила оформления
- Получение авторского вознаграждения
- Редакционная этика


Контакты

Подписка

Карта сайта




Журнал с 01.12.2015 допущен ВАК для публикации основных результатов диссертаций как издание, входящее в международные реферативные базы систем цитирования (Web Science, Scopus) (см. Vak.ed.gov.ru Перечень журналов МБД 16.03.2018г)

Аннотации (02.2016) : МЕТОД СИНТЕЗА ГОЛОГРАММ-ПРОЕКТОРОВ СФОКУСИРОВАННОГО ИЗОБРАЖЕНИЯ И ПРОГРАММНЫЙ КОМПЛЕКС НА ЕГО ОСНОВЕ

МЕТОД СИНТЕЗА ГОЛОГРАММ-ПРОЕКТОРОВ СФОКУСИРОВАННОГО ИЗОБРАЖЕНИЯ И ПРОГРАММНЫЙ КОМПЛЕКС НА ЕГО ОСНОВЕ

 

© 2016 г.     С. Н. Корешев, доктор техн. наук; И. Н. Корепин, аспирант; М. С. Вахнин, студент

 Университет ИТМО, Санкт-Петербург

Е-mail: korepin404@gmail.com, maks-vakhnin@rambler.ru

Рассмотрена реализация фотолитографического процесса, основанного на синтезированных голограммах сфокусированного изображения, работающих совместно
с объективом невысокого качества. Обоснована перспективность применения данной системы для решения проблем ультракоротковолновой фотолитографии. Разработан метод синтеза голограмм сфокусированного изображения, основанный на составлении таблиц соответствия. На его основе создан программный комплекс синтеза и цифрового восстановления голограмм-проекторов сфокусированного изображения. Показаны возможность и перспективность использования комплекса в решении фотолитографических задач.

Ключевые слова: голография, фотолитография, синтезированная голограмма сфокусированного изображения, проекционная оптическая система.

Коды OCIS: 090.1760

УДК 535.421

Поступила в редакцию 09.10.2015.

ЛИТЕРАТУРА

1.         Кольер Р., Беркхарт К., Лин Л. Оптическая голография. М.: Мир, 1973. 688 с.

2.         Ehbets P., Herzig H., Kuittinen M., Clube F., Darbellay Y. High. Carrier-frequency fan-out gratings fabricated by total internal reflection holographic lithography // Opt. Eng. 1995. V. 34. № 8. P. 2377–2383.

3.         Корешев С.Н., Ратушный В.П. Использование метода голографии для получения изображений двумерных объектов при решении задач фотолитографии высокого разрешения // Оптический журнал. 2004. Т. 71. № 10. С. 32–39.

4.        Корешев С.Н., Никаноров О.В., Козулин И.А. Выбор параметров синтеза голограмм-проекторов для фотолитографии // Оптический журнал. 2008. Т. 75. № 9. С. 29–34.

5.         Корешев С.Н., Корепин И.Н. Выбор параметров синтеза голограмм-проекторов сфокусированного изображения // Оптический журнал. 2011. Т. 78. № 9. С. 45–49.

6.        Корешев С.Н., Никаноров О.В., Иванов Ю.А., Козулин И.А. Программный комплекс для синтеза и цифрового восстановления голограмм-проекторов: влияние параметров синтеза на качество восстановленного изображения // Оптический журнал. 2010. Т. 77. № 1. С. 42–48.

7.         Корешев С.Н., Никаноров О.В., Громов А.Д. Метод синтеза голограмм-проекторов, основанный на разбиении структуры объекта на типовые элементы, и программный комплекс для его реализации // Оптический журнал. 2012. Т. 79. № 12. C. 30–37.

8.        Корешев С.Н., Никаноров О.В., Ратушный В.П. Восстановление синтезированных голограмм-проекторов Френеля при углах падения восстанавливающей волны, превышающих угол падения опорной волны при синтезе голограммы // Опт. и спектр. 2011. Т. 111. № 1. С. 156–161.

9.        Корешев С.Н., Корепин И.Н. Методы синтеза голограмм сфокусированного изображения // Оптический журнал. 2013. Т. 80. № 10. С. 37–43.

10.       Моро У. Микролитография. М.: Мир, 1990. 1240 с.

 

 

Полный текст