Научно-технический
«ОПТИЧЕСКИЙ ЖУРНАЛ»
издается с 1931 года
 
   
Русский вариант сайта Английский вариант сайта
   
       
   
       
Статьи последнего выпуска

Электронные версии
выпусков начиная с 2008


Алфавитный указатель
2000-2010 гг


444
Архив оглавлений
выпусков 2002-2007 гг


Реквизиты и адреса

Вниманию авторов и рецензентов!
- Порядок публикации
- Порядок рецензирования статей
- Типовой договор
- Правила оформления
- Получение авторского вознаграждения
- Редакционная этика


Контакты

Подписка

Карта сайта




Журнал с 01.12.2015 допущен ВАК для публикации основных результатов диссертаций как издание, входящее в международные реферативные базы систем цитирования (Web Science, Scopus) (см. Vak.ed.gov.ru Перечень журналов МБД 16.03.2018г)

УВАЖАЕМЫЕ ПОДПИСЧИКИ НАШЕГО ЖУРНАЛА!
По техническим причинам «Оптический журнал» не попал в каталог агентства «Роспечать» на II полугодие 2018 г., что делает невозможной подписку на него на почте. Предлагаем оформить подписку на II полугодие 2018 в редакции журнала удобным Вам способом. Стоимость подписки на полугодие сохраняется (6600 руб.).
Связаться с нами можно по т. (812) 315-05-48, Е-mail: beditor@soi.spb.ru

ПОВЫШЕНИЕ ЭФФЕКТИВНОСТИ ПРЕОБРАЗОВАНИЯ ИЗОБРАЖЕНИЙ В МОЗАИЧНЫХМИКРОБОЛОМЕТРИЧЕСКИХ ПРИЁМНИКАХ

 

© 2018 г.       М. А. Демьяненко*, канд. физ.-мат. наук; А. Р. Новоселов**, канд. техн. наук; А. И. Козлов*, канд. техн. наук; В. Н. Овсюк*, доктор физ.-мат. наук

*   Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения РАН (ИФП СО РАН), Новосибирск

** Новосибирский филиал ИФП СО РАН «Конструкторско-технологический институт прикладной микроэлектроники», Новосибирск

E-mail: kozlov@isp.nsc.ru

УДК 621.382 : 535.231.62

Поступила в редакцию 01.10.2017

Исследованы конструктивно-технологические возможности уменьшения «слепой зоны» мозаичных матричных микроболометрических приёмников (ММБП) высокой размерности для инфракрасного и терагерцового диапазонов. Выполнен количественный анализ «слепой зоны» мозаичных фотоприёмников. Представлен достигнутый технологический уровень близкой, беззазорной стыковки кристаллов субмодулей в мозаичные ММБП с размером технологической части «слепой зоны» 13–22 мкм. Развиты схемотехнические решения блоков адресации, которые минимизируют «слепую зону» мозаичных ММБП.

Ключевые слова: мозаичный фотоприёмник высокой размерности, микроболометрический приёмник, кремниевый мультиплексор, инфракрасный и терагерцовый диапазоны, скрайбирование полупроводниковых пластин, импульсный наносекундный лазер.

Коды OCIS: 040.3060, 110.3080, 130.5990

 

ЛИТЕРАТУРА

1.         Rogalski A. Progress in focal plane array technologies // Progress in Quantum Electronics. 2012. № 36. P. 342–473.

2.         Новоселов А.Р. Способ уменьшения зазора между чипами в мозаичных фотоприемных модулях // Автометрия. 2016. Т. 52. № 1. С. 116–121.

3.         Демьяненко М.А., Козлов А.И., Новоселов А.Р., Овсюк В.Н. О мозаичных неохлаждаемых микроболометрических приемниках инфракрасного и терагерцового диапазонов // Автометрия. 2016. Т. 52. № 2. С. 115–121.

4.         Демьяненко М.А., Есаев Д.Г., Клименко А.Г., Козлов А.И., Марчишин И.В., Новоселов А.Р., Овсюк В.Н. Преобразование изображений в мозаичных неохлаждаемых микроболометрических приемниках инфракрасного и терагерцового диапазонов форматом до 3072576 и более // Оптический журнал. 2014. Т. 81. № 3. С. 35–43.

5.         Новоселов А.Р. Способ формирования граней чипа для мозаичных фотоприемных модулей // Патент России № 2509391. 2014.

6.         Орлов А.М., Соловьев А.А., Явтушенко И.О., Скворцов А.А. О перераспределении дислокаций в монокристаллах кремния вблизи концентраторов напряжений // Физика твердого тела. 2007. Т. 49. № 6. С. 1039–1043.

7.         Готра З.Ю. Технология микроэлектронных устройств. М.: Радио и связь, 1991. 528 с.

8.        Демьяненко М.А., Козлов А.И., Марчишин И.В., Овсюк В.Н. Создание аналого-цифровых кремниевых мультиплексоров сигналов фотоприемников инфракрасного диапазона // Автометрия. 2016. Т. 52. № 6. С. 120–127.

9.         Козлов А.И. Анализ принципов построения схем кремниевых мультиплексоров для многоэлементных ИК фотоприемников // Автометрия. 2010. Т. 46. № 1. С. 118–129.

10.       Демьяненко М.А., Есаев Д.Г., Козлов А.И., Марчишин И.В., Овсюк В.Н., Филиппова В.В. Сдвиговый регистр (варианты) // Патент России № 2530271. 2014.

11.       Демьяненко М.А., Есаев Д.Г., Козлов А.И., Марчишин И.В., Овсюк В.Н., Филиппова В.В. Кремниевый мультиплексор // Патент России № 2602373. 2016.

12.       Демьяненко М.А., Новоселов А.Р., Козлов А.И., Есаев Д.Г., Овсюк В.Н. Мозаичный принцип создания неохлаждаемых микроболометрических приемников сверхвысокой размерности // Тез. докл. конференции и школы молодых ученых по актуальным проблемам полупроводниковой фотоэлектроники «Фотоника-2017». Новосибирск, 2017. С. 153.

 

 

Полный текст