© 2011 г. С. Н. Корешев, доктор техн. наук; Ю. В. Атлыгина
Санкт-Петербургский государственный университет информационных технологий, механики и оптики, Санкт-Петербург
E-mail: atlygina_julia@inbox.ru, koreshev@list.ru
Описан способ определения коротковолновой границы применимости рельефнофазовых голограммных оптических элементов (ГОЭ), обусловленной шероховатостью их поверхности. Его суть заключается в использовании данных, получаемых с помощью атомно-силового микроскопа, для определения усредненной по базовой площади, т. е. площади сканирования, формы профиля рельефа ГОЭ; в определении на ее основе усредненных по той же базовой площади значений среднеквадратической шероховатости его поверхности и в последующем расчете граничной длины волны применимости ГОЭ. Разработан программный модуль для реализации способа.
Ключевые слова: рельефно-фазовая голограмма, голограммный оптический элемент, шероховатость поверхности, среднеквадратическая шероховатость поверхности, аберрации оптических систем, светорассеяние, программный модуль.
Коды OCIS: 090.0090, 090.2890.
УДК 53.08; 535.016
Поступила в редакцию 07.09.2010.
ЛИТЕРАТУРА
1. Корешев С.Н., Ратушный В.П. Наноструктурирование тонких пленок халькогенидного стекло1 ХСП – халькогенидный стеклообразный полупроводник. 28 образного полупроводника в процессе формирования рельефно-фазовых голограммных структур // Опт. и спектр. 2009. Т. 106. № 2. С. 331–336.
2. Rabady R., Frankstein D., Avrutsky I. Heat treatment for reduction of surface roughness on holographic gratings // Opt. Lett. 2003. V. 28. № 18. P. 1665–1667.
3. Hunter W.R., Kowalski V.P., Rife J.C., Cruddace G. Investigation of the properties of an ion-etched plane laminar holographic grating // Appl. Opt. 2001. V. 40. № 34. P. 6157–6165.
4. Корешев С.Н., Ратушный В.П. Голографическая фотолитография на основе тонких пленок халькогенидного стеклообразного полупроводника // Оптический журнал. 2007. Т. 74. № 7. С. 80–85.
5. Корешев С.Н., Гиль С.В., Аникиева О.А. Влияние регистрирующей среды на аберрационные свойства голограммных оптических элементов, получаемых на тонких слоях галогенидосеребряной фотоэмульсии // Опт. и спектр. 1990. Т. 69. № 6. С. 1371–1377.
6. Марешаль А., Франсон М. Структура оптического изображения. Дифракционная теория и влияние когерентности света. М.: Мир, 1964. 295 с.
7. Фризер Х. Фотографическая регистрация информации. М.: Мир, 1978. 670 с.
8. Межгосударственный стандарт ГОСТ 2789-73 “Шероховатость поверхности. Параметры и характеристики”.
9. Электронный ресурс: http://www.ntmdt.ru/ device/solver-p47-pro
10. Корешев С.Н., Ратушный В.П. Зависимость параметров паразитного наноструктурирования рельефно-фазовых голограммных структур на тонких пленках халькогенидного стеклообразного полупроводника от высоты их рельефа // Оптический журнал. 2009. Т. 76. № 5. С. 47–50.
Полный текст
