© 2018 г.       Нго Тхай Фи, аспирант; Фам Ван Хоа, аспирант; Л. А. Губанова, доктор техн. наук

Университет ИТМО, Санкт-Петербург

E-mail: ngothaiphibn@gmail.com

УДК 535.015

Поступила в редакцию 28.10.2018

Проведен анализ влияния возникающих в процессе изготовления отличий оптической толщины слоев, входящих в структуру интерференционного покрытия, от расчетных на спектральные характеристики его коэффициента отражения. Рассмотрен интегральный метод поиска слоя, максимально влияющего на стабильность спектральной характеристики коэффициента отражения покрытия. Полученные в работе результаты выявили связь любого слоя, имеющего отклонения оптической толщины от расчетной, со спектральной характеристикой коэффициента отражения интерференционного покрытия.

Ключевые слова: интерференционные покрытия, просветляющие покрытия, устойчивость интерференционных покрытий, отклонение параметров слоев.

Коды OCIS: 310.6805, 140.3460

Литература

1.         Губанова Л.А., Путилин Э.С. Оптические покрытия. Учебник для вузов. СПб.: Лань, 2016. 286 с.

2.         Macleod Н.A. Thin-film optical filter. N.Y.: McGraw, 2010. 772 p.

3.         Dobrowolski J.A. Optical properties of films and coating. V. 1. N.Y.: McGraw, 1995. Р. 42.

4.        Балышев К.В., Путилин Э.С., Старовойтов С.Ф. Исследование воспроизводимости выходных параметров многослойных диэлектрических систем во время изготовления // Оптический журнал. 1998. Т. 65. № 3. С. 39–43.

5.         Котликов Е.Н., Тропин А.Н. Критерий устойчивости спектральных характеристик многослойных интерференционных покрытий // Оптический журнал. 2009. Т. 76. № 3. С. 60–64.

6.        Котликов Е.Н., Иванов В.А., Моцарь Е.В., Новикова Ю.А., Тропин А.Н. Анализ устойчивости спектральных характеристик многослойных оптических покрытий // Опт. спектр. 2011. Т. 111. № 3. С. 515–520.

7.         Котликов Е.Н., Новикова Ю.А. Сравнительный анализ критериев устойчивости интерференционных покрытий // Оптический журнал. 2013. Т. 80. № 9. С. 61–67.

8.        Тихонравов А.В., Грищина Н.В. Современные подходы к проектированию многослойных оптических покрытий // Компьютерная оптика. 1992. № 4. C. 3–48.

9.        Kestelman H. Riemann integration. N.Y.: Dover, 1960. P. 33–66.

10.       Приближенное вычисление определенных интегралов. Методические указания к ЛР-6. Курск, 2011. C. 13.

Полный текст