Научно-технический
«ОПТИЧЕСКИЙ ЖУРНАЛ»
издается с 1931 года
 
   
Русский вариант сайта Английский вариант сайта
   
       
   
       
Статьи последнего выпуска

Электронные версии
выпусков начиная с 2008


Алфавитный указатель
2000-2010 гг


444
Архив оглавлений
выпусков 2002-2007 гг


Реквизиты и адреса

Вниманию авторов и рецензентов!
- Порядок публикации
- Порядок рецензирования статей
- Типовой договор
- Правила оформления
- Получение авторского вознаграждения
- Редакционная этика


Контакты

Подписка

Карта сайта




Журнал с 01.12.2015 допущен ВАК для публикации основных результатов диссертаций как издание, входящее в международные реферативные базы систем цитирования (Web Science, Scopus) (см. Vak.ed.gov.ru Перечень журналов МБД 16.03.2018г)

Аннотации (03.2019) : ФОТОПРИЕМНИК УЛЬТРАФИОЛЕТОВОГО ДИАПАЗОНА НА СТРУКТУРЕ ZNS-ZNO С ПОВЕРХНОСТНОЙ АКУСТИЧЕСКОЙ ВОЛНОЙ

ФОТОПРИЕМНИК УЛЬТРАФИОЛЕТОВОГО ДИАПАЗОНА НА СТРУКТУРЕ ZNS-ZNO С ПОВЕРХНОСТНОЙ АКУСТИЧЕСКОЙ ВОЛНОЙ

 

© 2019 г. А. В. Григорьев*, канд. физ.-мат. наук; И. С. Морозов*, магистрант; О. В. Шакин**, доктор техн. наук; В. Г. Нефёдов**, канд. техн. наук; А. В. Михайлов***, канд. техн. наук

*     Университет ИТМО, Санкт-Петербург

**   Санкт-Петербургский государственный университет аэрокосмического приборостроения, Санкт-Петербург

*** АО «Государственный оптический институт им. С.И. Вавилова», Санкт-Петербург

E-mail: grigoryev@oi.ifmo.ru

УДК 535.016, 535.15, 535.041.08

Поступила в редакцию 26.06.2018

DOI:10.17586/1023-5086-2019-86-03-68-71

Проведено исследование структурных свойств тонкой пленки ZnO, синтезированной реактивным ионно-плазменным методом. Показано, что совместное применение методов реактивного ионно-плазменного напыления и импульсного электронно-лучевого напыления позволяет сформировать тонкопленочную гетероструктуру ZnS-ZnО с малыми структурными дефектами. Представлены результаты исследования оптических и фотоэлектрических свойств ZnS-ZnО в диапазоне длин волн от 0,26 до 0,45 мкм. Проведены исследования спектральной зависимости частотного сдвига поверхностных акустических волн при воздействии ультрафиолетового излучения на поверхность гетероструктуры ZnS-ZnО фотоприемника, созданного на основе акустоэлектронного усилителя.

Ключевые слова: оксид цинка, гетероструктура ZnS-ZnO, фототок, ионно-плазменное напыление, импульсное электронно-лучевое напыление, акустоэлектронный усилитель.

Коды OCIS: 250.0250, 300.0300, 310.0310, 160.0160

 

Литература

1.         Blank T.V., Goldenberg U.A. Semiconductor photoelectrosensor for ultraviolet spectral range // Semiconductors. 2003. V. 37. № 9. P. 1025–1055.

2.         Wei C.L., Chen Y.E., Cheng C.C., and et al. UV sensing using film bulk acoustic resonators based on Au/n-ZnO/piezoelectric-ZnO/Al structure // Thin Solid Films. 2010. V. 518. № 11. P. 3059–3062.

3.         Grigoryev L.V., Nefedov V.G., Shakin O.V., Mikhailov A.V., Eliseev E.N. Study of the structural and optical properties of thin polycrystalline zinc-oxide films obtained by the ion-plasma method // JOT. 2015.V. 82. № 5. P. 315–318.

4.         Вейко В.П. Лазерная обработка пленочных элементов. Л.: Машиностроение, 1986. 246 с.

5.         Григорьев Л.В., Михайлов А.В. Фотолюминесценция и фотопроводимость тонкого слоя окисленного нанопористого кремния, легированного ионами эрбия // Оптический журнал. 2015. Т. 82. № 11. C. 79–84.

6.         Wen-Che Tsai, Hui-ling Kao, Kun-Hsu Liao, Yu-Hao Liu, et al. Room temperature fabrication of ZnO/ST-cut quartz SAW UV photodetector with small temperature coefficient // Opt. Exp. 2015. V. 23. № 3. P. 2187–2194.

 

 

Полный текст