© 2010 г. В. Н. Назаров, канд. техн. наук; А. Н. Иванов, канд. техн. наук
Санкт-Петербургский государственный университет информационных технологий, механики и оптики, Санкт-Петербург
Е-mail: i_off@mail.ru
Предложен метод дифракционного контроля, основанный на освещении контролируемого объекта парой распространяющихся под углом друг к другу волновых фронтов. Установлено, что такое освещение приводит к формированию муаровой картины, вид которой связан с геометрическими параметрами контролируемого объекта. Рассмотрена возможность применения этого метода для контроля толщин объектов.
Ключевые слова: дифракционные измерения, муар, дифракционная картина.
Коды OCIS: 120.4630, 070.4560, 070.2580.
УДК 531.7.082.5; 535.42/44
Поступила в редакцию 27.02.2009.
Using the moiré effect to create high-accuracy diffraction systems for monitoring the geometrical parameters of objects
V. N. Nazarov and A. N. Ivanov
This paper proposes a method of diffraction monitoring based on illuminating the test object with a pair of wave fronts propagating at an angle to each other. It is established that such illumination results in the formation of a moiré pattern whose form is associated with the geometrical parameters of the test object. The possibility of using this method to monitor the thickness of objects is considered.
ЛИТЕРАТУРА
1. Назаров В.Н., Иванов А.Н. Использование явления муара для увеличения точности дифракционных методов контроля геометрических параметров и пространственного положения объектов // Оптический журнал. 2009. Т. 76. № 1. С. 46–50.
2. Иванов А.Н., Назаров В.Н. Дифракционный метод контроля на основе “зеркальной” апертуры // Изв. вузов. Приборостроение. 2007. Т. 50. № 4. С. 38–42.
3. Чугуй Ю.В. Определение геометрических параметров протяженных объектов постоянной толщины по их дифракционным картинам // Автометрия. 1991. № 6. С. 76–92.
4. Лемешко Ю.А., Чугуй Ю.В. Размерный контроль круговых отражающих цилиндров интерференционным методом // Автометрия. 2003. Т. 39. № 5. С. 42–52.
5. Зебрева К.А., Чугуй Ю.В. Расчет дифракционных явлений на 3D объектах постоянной толщины при различных конфигурациях освещения // Труды VII Международной конференции “Прикладная оптика 2006”. СПб. 2006. Т. 3. С. 258–267.
Полный текст
