© 2009 г. И. С. Гайнутдинов, доктор техн. наук; Н. Ю. Шувалов; Р. С. Сабиров, канд. техн. наук; В. А. Иванов; Р. Р. Гареев, Н. Г. Мирханов
НПО “Государственный институт прикладной оптики”, Казань
Представлены конструкции просветляющих покрытий на подложках из германия и кремния с использованием пленкообразующих материалов ZnS, Ge, YF3 , MgF2 . При- ведены спектральные характеристики остаточного отражения и пропускания покрытий в диапазонах спектра 3–5 мкм и 8–12 мкм.
Ключевые слова: просветляющее покрытие, полупроводниковый кристалл, ахро- матизация просветления.
УДК 535.345.6:621.382
Коды OCIS: 310.3840.
Поступила в редакцию 25.12.2008.
ЛИТЕРАТУРА
1. Гайнутдинов И.С., Несмелов Е.А., Хайбуллин И.Б. Интерференционные покрытия для оптического приборостроения. Казань: изд. “Фэн”, 2002. 592 с.
2. Кард П.Г. Анализ и синтез многослойных интерференционных пленок. Таллин, Валгус, 1971.
3. Кокс Дж. Т., Хасс Г. / Сб. Физика тонких пленок. Т. 2, стр.186–253, М., Мир, 1967.
4. Кард П., Несмелов Е., Конюхов., Иванов В. Просветление трехслойным симметричным покрытием // Известия АН Эстонской ССР. 1969. Т. 18. № 2. С. 186–192.
5. Риттер Э. Пленочные диэлектрические материалы для оптических применений // Сб. Физика тонких пленок. Т. 8. М.: Мир, 1967. С. 7–60.
6. Pulker H. Appl. Opt. 1979. V.18. № 12. Р.1969– 1977.
7. Соколова Р.С., Михайлов А.В., Муранова Г.А. Просветляющие покрытия повышенной оптической эффективности для ИК области спектра // Оптический журнал. 2005. Т. 72. № 10. С. 72–75.
8. Якобсон Р. Неоднородные и совместно напыленные однородные пленки для оптических применений // Сб. Физика тонких пленок. Т. 8. М.: Мир, 1967. С. 61–75.
9. Холлэнд Л., Нанесение тонких пленок в вакууме, Госэнергоиздат, М., 1963.
10. Bezuidenhout D. и др. The optical properties of YF 3 films. – Thin Solid Films. 1987. 155. C. 17–30.
11. Панасенко Б.В. Исследование влияния сорбции атмосферной влаги на оптические свойства тонких диэлектрических пленок и многослойных интерференционных систем // Диc. канд. физико-математических наук. Казань, 1984.
Полный текст >>>>>
Antireflection coatings on germanium and silicon substrates in the 3-5-μm and 8-12-μm windows of IR transparency
I. S. Gaĭnutdinov, N. Yu. Shuvalov, R. S. Sabirov, V. A. Ivanov, R. R. Gareev, and N. G. Mirkhanov
This paper presents designs for antireflection coatings on germanium and silicon substrates, using the film-forming materials ZnS, Ge, YF3, and MgF2. The spectral characteristics of the residual reflection and transmission of the coatings are presented in the 3-5-μm and 8-12-μm spectral regions.
