Научно-технический
«ОПТИЧЕСКИЙ ЖУРНАЛ»
издается с 1931 года
 
   
Русский вариант сайта Английский вариант сайта
   
       
   
       
Статьи последнего выпуска

Электронные версии
выпусков начиная с 2008


Алфавитный указатель
2000-2010 гг


444
Архив оглавлений
выпусков 2002-2007 гг


Реквизиты и адреса

Вниманию авторов и рецензентов!
- Порядок публикации
- Порядок рецензирования статей
- Типовой договор
- Правила оформления
- Получение авторского вознаграждения


Контакты

Подписка

Карта сайта





Журнал с 19.02.2010 входит в новый «Перечень ведущих рецензируемых научных журналов и изданий, в которых должны быть опубликованы основные научные результаты диссертации на соискание ученой степени доктора и кандидата наук»
Аннотации (05.2010) : ПРИМЕНЕНИЕ ИОННОЙ ОБРАБОТКИ В НАНОТЕХНОЛОГИЯХ ПОЛУЧЕНИЯ ВЫСОКОТОЧНЫХ ПОВЕРХНОСТЕЙ ОПТИЧЕСКИХ ДЕТАЛЕЙ

ПРИМЕНЕНИЕ ИОННОЙ ОБРАБОТКИ В НАНОТЕХНОЛОГИЯХ ПОЛУЧЕНИЯ ВЫСОКОТОЧНЫХ ПОВЕРХНОСТЕЙ ОПТИЧЕСКИХ ДЕТАЛЕЙ

© 2010 г. Л. А. Черезова*, канд. хим. наук; А. В. Михайлов**, канд. техн. наук

 

** Санкт-Петербургский государственный университет информационных технологий, механики

** и оптики, Санкт-Петербург

** НПК “Государственный оптический институт им. С.И. Вавилова”, Санкт-Петербург

 

Развитие оптических нанотехнологий получения сверхгладких поверхностей оптических деталей и высокоэффективных защитных просветляющих покрытий невозможно без применения и развития методов ионной обработки поверхности оптических деталей. В статье рассмотрено применение ионной обработки для получения сверхгладких, с шероховатостью 3–5 Е, поверхностей деталей из различных оптических материалов.

 

Ключевые слова: ионная и ионно-химическая обработка, шероховатость поверхности, оптические покрытия.

 

Коды OCIS: 220.5770, 310.1620

УДК 621.793.18: 681.7.064.45

Поступила в редакцию 14.10.2009

 

ЛИТЕРАТУРА

1. Черезова Л.А. Модификация поверхности оптических материалов ионной и ионно-химической обработкой // Оптический журнал. 2000. Т. 67. № 10. С. 1–8.

2. Первеев А.Ф., Михайлов А.В., Ильин В.В. Ионная полировка стекла // ОМП. 1972. № 10. С. 40–43.

3. Справочник технолога-оптика / Под ред. Окатова М.А. СПб., 2004. 686 с.

4. Гайнутдинов И.С., Муствев Р.М, Гусев А.Г., Михайлов А.В. Влияние ионного ассистирования на эксплуатационные характеристики оптических покрытий // Оптический журнал. 2001. Т. 68. № 5. С. 29–32. 54

5. Нанотехнологии в ближайшем десятилетии. Прогноз направления развития: Пер. с англ. / Под ред. Роко М.К., Уильямса Р.С. и Аливитоса И.П. М.: Мир, 2002. С. 292.

6. Черезова Л.А., Михайлов А.В., Жевлаков А.П. Формообразование поверхности многофазных оптических материалов с помощью ионного травления // Оптический журнал. 2006. Т. 73. № 11. С. 86–89.

7. Жевлакова Г.А., Любарский С.В. Метрологические проблемы изготовления зеркал для проекционной нанолитографии // Оптический журнал. 2001. Т. 68. № 7. С. 40–48.

8. http://ru.wikipedia.org

9. http://www.nanonewsnet.ru/blog/nikst/novaya-tekhnoiogiya-polucheniya-materialov-dlya-opticheskikh-priborov-novogo-pokoleniya

10. Михайлов А.В., Мецатунянц В.Е. Новые покрытия для защиты от влаги изделий из стекла и конструкционных материалов // Оптический журнал. 2008. Т. 75. № 11. С. 77–81.

11. Муранова Г.А., Смирнов Н.Н. Свойства пленок, получаемых распылением мишеней ионным пучком // Оптический журнал. 2001. Т. 68. № 4. С. 53–59.

12. Первеев А.Ф., Вишневская Л.В., Черезова Л.А. Ионная обработка оптических материалов и покрытий. М.: НТЦ “Информатика”, 1990. 220 с.

13. Karger A.M. Figuring Miniature Aspherics-Ion Polishing // Appl. Opt. 1973.V. 12. P. 451–454.

14. Mayer T.M., Barker R.A. Reactive ion beam etching with CF4: characterization of a Kaufman ion source and details of SiO2 etching // J. Electrochem. Soc.: Solid State Science and Technology. 1982. V. 129. № 3. Р. 585–591.

15. http://www.nanometer.ru/2008/01/16/otrazhenie_ 5685.html

 

 

Полный текст