© 2009 г. Д. Ю. Кручинин, канд. техн. наук; О. В. Анисимова; А. С. Тырышкина
Производственное объединение “Уральский оптико-механический завод имени Э.С. Яламова”, г. Екатеринбург
E-mail: krudu@planet-a.ru
Рассмотрены результаты исследования влияния технологического процесса обратной фотолитографии на угловые погрешности круговых оптических шкал (лимбов).
Ключевые слова: круговая оптическая шкала, лимб, угловая погрешность, обратная фотолитография.
Коды OCIS: 110.5220
УДК 53.087.92 + 681.7.064
Поступила в редакцию 21.01.2009
ЛИТЕРАТУРА
1. Кручинин Д.Ю. Фотолитография в производстве круговых оптических шкал на Уральском оптико-механическом заводе // Оптический журнал. 2008. Т. 75. № 4. С. 92–94.
2. Bartik S.A., Frizin S.E., Kiryanov V.P., Kiryanov A.V., Kokarev S.A., Kruchinin D.Y., Nikitin V.G., Yakovlev O.B. Development of a technique for the determination of metrological parameters of technological system CLWS-300/С for synthesis of high precision angular measuring structures // 10 th IMEKO TC7 International Symposium. Saint-Petersburg, 2004. P. 316–320.
3. Кручинин Д.Ю., Яковлев О.Б. Фотошаблоны для производства оптических шкал // Труды 7 Междунар. конф. “Прикладная оптика-2006”. Т. 2. Оптические материалы и технологии. СПб., 2006. С. 111–114.
4. Абрамов Ю.Ф., Кирьянов В.П., Кирьянов А.В., Кокарев С.А., Кручинин Д.Ю., Чугуй Ю.В., Яковлев О.Б. Модернизация оптического делительного производства Уральского оптико- механического завода на основе современных лазерно-компьютерных и фотолитографических технологий // Оптический журнал. 2006. Т. 73. № 8. С. 61–65.
Полный текст >>>>>
Study of the angular errors of dials fabricated by inverse photolithography
D. Yu. Kruchinin, O. V. Anisimova, and A. S. Tyryshkina
This paper discusses the results of a study of how the technological process of inverse photolithography affects the angular errors of circular optical scales (dials).
