ИССЛЕДОВАНИЕ УГЛОВЫХ ПОГРЕШНОСТЕЙ ЛИМБОВ, ИЗГОТОВЛЕННЫХ МЕТОДОМ ОБРАТНОЙ ФОТОЛИТОГРАФИИ

© 2009 г.    Д. Ю. Кручинин, канд. техн. наук; О. В. Анисимова; А. С. Тырышкина

Производственное объединение “Уральский оптико-механический завод имени Э.С. Яламова”, г. Екатеринбург

E-mail: krudu@planet-a.ru

Рассмотрены результаты исследования влияния технологического процесса обратной фотолитографии на угловые погрешности круговых оптических шкал (лимбов).

Ключевые слова: круговая оптическая шкала, лимб, угловая погрешность, обратная  фотолитография.

Коды OCIS: 110.5220

УДК 53.087.92 + 681.7.064

Поступила в редакцию 21.01.2009

ЛИТЕРАТУРА 

1. Кручинин Д.Ю. Фотолитография в производстве круговых оптических шкал на Уральском  оптико-механическом заводе // Оптический  журнал. 2008. Т. 75. № 4. С. 92–94. 

2. Bartik S.A., Frizin S.E., Kiryanov V.P., Kiryanov A.V., Kokarev S.A., Kruchinin D.Y., Nikitin V.G., Yakovlev O.B. Development of a technique  for the determination of metrological parameters  of technological system CLWS-300/С for synthesis of high precision angular measuring structures // 10 th IMEKO TC7 International Symposium. Saint-Petersburg, 2004. P. 316–320. 

3. Кручинин Д.Ю., Яковлев О.Б. Фотошаблоны  для производства оптических шкал // Труды 7  Междунар. конф. “Прикладная оптика-2006”.  Т. 2. Оптические материалы и технологии. СПб.,  2006. С. 111–114. 

4. Абрамов Ю.Ф., Кирьянов В.П., Кирьянов А.В.,  Кокарев С.А., Кручинин Д.Ю., Чугуй Ю.В.,  Яковлев О.Б. Модернизация оптического делительного производства Уральского оптико- механического завода на основе современных  лазерно-компьютерных и фотолитографических технологий // Оптический журнал. 2006.  Т. 73. № 8. С. 61–65.