Научно-технический
«ОПТИЧЕСКИЙ ЖУРНАЛ»
издается с 1931 года
 
   
Русский вариант сайта Английский вариант сайта
   
       
   
       
Статьи последнего выпуска

Электронные версии
выпусков начиная с 2008


Алфавитный указатель
2000-2010 гг


444
Архив оглавлений
выпусков 2002-2007 гг


Реквизиты и адреса

Вниманию авторов и рецензентов!
- Порядок публикации
- Порядок рецензирования статей
- Типовой договор
- Правила оформления
- Получение авторского вознаграждения


Контакты

Подписка

Карта сайта





Журнал с 19.02.2010 входит в новый «Перечень ведущих рецензируемых научных журналов и изданий, в которых должны быть опубликованы основные научные результаты диссертации на соискание ученой степени доктора и кандидата наук»
Аннотации (06.2009) : ИССЛЕДОВАНИЕ УГЛОВЫХ ПОГРЕШНОСТЕЙ ЛИМБОВ, ИЗГОТОВЛЕННЫХ МЕТОДОМ ОБРАТНОЙ ФОТОЛИТОГРАФИИ

ИССЛЕДОВАНИЕ УГЛОВЫХ ПОГРЕШНОСТЕЙ ЛИМБОВ, ИЗГОТОВЛЕННЫХ МЕТОДОМ ОБРАТНОЙ ФОТОЛИТОГРАФИИ

 

© 2009 г.    Д. Ю. Кручинин, канд. техн. наук; О. В. Анисимова; А. С. Тырышкина

 

Производственное объединение “Уральский оптико-механический завод имени Э.С. Яламова”, г. Екатеринбург

 

E-mail: krudu@planet-a.ru

 

Рассмотрены результаты исследования влияния технологического процесса обратной фотолитографии на угловые погрешности круговых оптических шкал (лимбов).

 

Ключевые слова: круговая оптическая шкала, лимб, угловая погрешность, обратная  фотолитография.

 

Коды OCIS: 110.5220

УДК 53.087.92 + 681.7.064

 

Поступила в редакцию 21.01.2009

 

ЛИТЕРАТУРА 

1. Кручинин Д.Ю. Фотолитография в производстве круговых оптических шкал на Уральском  оптико-механическом заводе // Оптический  журнал. 2008. Т. 75. № 4. С. 92–94. 

2. Bartik S.A., Frizin S.E., Kiryanov V.P., Kiryanov A.V., Kokarev S.A., Kruchinin D.Y., Nikitin V.G., Yakovlev O.B. Development of a technique  for the determination of metrological parameters  of technological system CLWS-300/С for synthesis of high precision angular measuring structures // 10 th IMEKO TC7 International Symposium. Saint-Petersburg, 2004. P. 316–320. 

3. Кручинин Д.Ю., Яковлев О.Б. Фотошаблоны  для производства оптических шкал // Труды 7  Междунар. конф. “Прикладная оптика-2006”.  Т. 2. Оптические материалы и технологии. СПб.,  2006. С. 111–114. 

4. Абрамов Ю.Ф., Кирьянов В.П., Кирьянов А.В.,  Кокарев С.А., Кручинин Д.Ю., Чугуй Ю.В.,  Яковлев О.Б. Модернизация оптического делительного производства Уральского оптико- механического завода на основе современных  лазерно-компьютерных и фотолитографических технологий // Оптический журнал. 2006.  Т. 73. № 8. С. 61–65.

 

 

Полный текст >>>>>

 

Study of the angular errors of dials fabricated by inverse photolithography

D. Yu. Kruchinin, O. V. Anisimova, and A. S. Tyryshkina

This paper discusses the results of a study of how the technological process of inverse photolithography affects the angular errors of circular optical scales (dials).