Научно-технический
«ОПТИЧЕСКИЙ ЖУРНАЛ»
издается с 1931 года
 
   
Русский вариант сайта Английский вариант сайта
   
       
   
       
Статьи последнего выпуска

Электронные версии
выпусков начиная с 2008


Алфавитный указатель
2000-2010 гг


444
Архив оглавлений
выпусков 2002-2007 гг


Реквизиты и адреса

Вниманию авторов и рецензентов!
- Порядок публикации
- Порядок рецензирования статей
- Типовой договор
- Правила оформления
- Получение авторского вознаграждения
- Редакционная этика


Контакты

Подписка

Карта сайта




Журнал с 01.12.2015 допущен ВАК для публикации основных результатов диссертаций как издание, входящее в международные реферативные базы систем цитирования (Web Science, Scopus) (см. Vak.ed.gov.ru/87)
Аннотации (06.2012) : ЛАЗЕРНАЯ МОДУЛЯЦИОННАЯ ИНТЕРФЕРЕНЦИОННАЯ МИКРОСКОПИЯ ОПТИЧЕСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ

ЛАЗЕРНАЯ МОДУЛЯЦИОННАЯ ИНТЕРФЕРЕНЦИОННАЯ МИКРОСКОПИЯ ОПТИЧЕСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ

© 2012 г.    А. В. Лопарев*; А. Б. Зензинов*, канд. техн. наук; П. С. Игнатьев*, канд. физ.-мат. наук; К. В. Индукаев*; П. А. Осипов*; Е. В. Ромаш**

 

* ООО “Лаборатории Амфора”, Москва

** ФГБОУ ВПО МГТУ “СТАНКИН”, Москва

 Е-mail: lav@amphoralabs.ru

Разработана новая версия модуляционного интерференционного микроскопа с длинноходовым координатным столом на аэромагнитных направляющих, обеспечивающих перемещение микроскопа с непрямолинейностью не более 0,1 мкм на длине хода до 300 мм. Данная модификация микроскопа может быть использована для исследования поверхности крупногабаритных оптических деталей размером до 300´300´100 мм с разрешением 0,1 нм по вертикали и 10–100 нм в плоскости образца. Рассмотрены конструкция и принцип работы основных узлов микроскопа. На примерах показаны возможности и преимущества разработанного микроскопа при исследовании оптических поверхностей.

Ключевые слова: модуляционная интерференционная микроскопия, оптическая анизотропия, исследования оптических поверхностей, топология интегральных схем, наноструктурные исследования.

Коды OCIS: 180.3170, 170.1650.

УДК 681.723.26

Поступила в редакцию 23.12.2011.

Литература

1.         Bennet A.H. Phase microscopy // N.Y.: John Wiley & Sons, Inc., 1951. 166 р.

2.         Романов С.Г., Бардосова М. Поляризационная анизотропия оптического пропускания в опалах и Лэнгмюр–Блоджет кристаллах // Физика твердого тела. 2010. Т. 52. № 3. С. 495–504.

3.         Andreev V.А., Indukaev K.V. The problem of subrayleigh resolution in microscopy // Journal of Russian Laser Research. 2003.V. 24. № 3. С. 1–22.

4.         Фефелова Т.С. Новые конструкции преобразователей движения для мехатронных модулей // Фундаментальные исследования. 2010. № 3. С. 50–51.

5.         ГОСТ 11141-84. Детали оптические. Классы чистоты поверхностей. Методы контроля. Введ. 1985-01-01. M.: Издательство стандартов, 1984.

6.         ГОСТ 2789-73. Шероховатость поверхности. Параметры и характеристики. Введ. 1975-01-01. M.: Издательство стандартов, 1973.

7.         Азарова В.В., Голяев Ю.Д., Колодный Г.Я. Прецизионные оптические поверхности и лазерные зеркала. Их метрология и применение // Тр. 50-й научно-технич. конф. МФТИ. 2007. Ч. 5. Физическая и квантовая электроника. С. 45–46.

8.         Карасев А.Л., Смирнов А.В., Смирнов Л.И., Юренков М.В. Способ защиты ценного предмета // Евразийский патент № 011567. 2008.

9.         Wyant J.C. White light interferometry exhibits error // Proc. SPIE. 2002. V. 4737. P. 98–107.

10.      Профилометр с одинарным датчиком для бесконтактной 2D и 3D метрологии поверхности http://www.frt-gmbh.com/en/products/microprof/microprof/

 

 

Полный текст