© 2012 г. А. В. Лопарев*; А. Б. Зензинов*, канд. техн. наук; П. С. Игнатьев*, канд. физ.-мат. наук; К. В. Индукаев*; П. А. Осипов*; Е. В. Ромаш**
* ООО “Лаборатории Амфора”, Москва
** ФГБОУ ВПО МГТУ “СТАНКИН”, Москва
Е-mail: lav@amphoralabs.ru
Разработана новая версия модуляционного интерференционного микроскопа с длинноходовым координатным столом на аэромагнитных направляющих, обеспечивающих перемещение микроскопа с непрямолинейностью не более 0,1 мкм на длине хода до 300 мм. Данная модификация микроскопа может быть использована для исследования поверхности крупногабаритных оптических деталей размером до 300´300´100 мм с разрешением 0,1 нм по вертикали и 10–100 нм в плоскости образца. Рассмотрены конструкция и принцип работы основных узлов микроскопа. На примерах показаны возможности и преимущества разработанного микроскопа при исследовании оптических поверхностей.
Ключевые слова: модуляционная интерференционная микроскопия, оптическая анизотропия, исследования оптических поверхностей, топология интегральных схем, наноструктурные исследования.
Коды OCIS: 180.3170, 170.1650.
УДК 681.723.26
Поступила в редакцию 23.12.2011.
Литература
1. Bennet A.H. Phase microscopy // N.Y.: John Wiley & Sons, Inc., 1951. 166 р.
2. Романов С.Г., Бардосова М. Поляризационная анизотропия оптического пропускания в опалах и Лэнгмюр–Блоджет кристаллах // Физика твердого тела. 2010. Т. 52. № 3. С. 495–504.
3. Andreev V.А., Indukaev K.V. The problem of subrayleigh resolution in microscopy // Journal of Russian Laser Research. 2003.V. 24. № 3. С. 1–22.
4. Фефелова Т.С. Новые конструкции преобразователей движения для мехатронных модулей // Фундаментальные исследования. 2010. № 3. С. 50–51.
5. ГОСТ 11141-84. Детали оптические. Классы чистоты поверхностей. Методы контроля. Введ. 1985-01-01. M.: Издательство стандартов, 1984.
6. ГОСТ 2789-73. Шероховатость поверхности. Параметры и характеристики. Введ. 1975-01-01. M.: Издательство стандартов, 1973.
7. Азарова В.В., Голяев Ю.Д., Колодный Г.Я. Прецизионные оптические поверхности и лазерные зеркала. Их метрология и применение // Тр. 50-й научно-технич. конф. МФТИ. 2007. Ч. 5. Физическая и квантовая электроника. С. 45–46.
8. Карасев А.Л., Смирнов А.В., Смирнов Л.И., Юренков М.В. Способ защиты ценного предмета // Евразийский патент № 011567. 2008.
9. Wyant J.C. White light interferometry exhibits error // Proc. SPIE. 2002. V. 4737. P. 98–107.
10. Профилометр с одинарным датчиком для бесконтактной 2D и 3D метрологии поверхности http://www.frt-gmbh.com/en/products/microprof/microprof/
Полный текст
