Научно-технический
«ОПТИЧЕСКИЙ ЖУРНАЛ»
издается с 1931 года
 
   
Русский вариант сайта Английский вариант сайта
   
       
   
       
Статьи последнего выпуска

Электронные версии
выпусков начиная с 2008


Алфавитный указатель
2000-2010 гг


444
Архив оглавлений
выпусков 2002-2007 гг


Реквизиты и адреса

Вниманию авторов и рецензентов!
- Порядок публикации
- Порядок рецензирования статей
- Типовой договор
- Правила оформления
- Получение авторского вознаграждения
- Редакционная этика


Контакты

Подписка

Карта сайта




Журнал с 01.12.2015 допущен ВАК для публикации основных результатов диссертаций как издание, входящее в международные реферативные базы систем цитирования (Web Science, Scopus) (см. Vak.ed.gov.ru Перечень журналов МБД 16.03.2018г)

ИСПОЛЬЗОВАНИЕ RGB ДАННЫХ ОПТИЧЕСКОЙ СВЕТЛОПОЛЬНОЙ МИКРОСКОПИИ ДЛЯ ОПЕРАТИВНОГО КОНТРОЛЯ ЧИСТОТЫ ПОВЕРХНОСТИ АКТИВНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН В ПРОИЗВОДСТВЕННОМ ПЛАНАРНОМ ЦИКЛЕ

 

© 2020 г.      А. А. Козырев*, **, канд. техн. наук; М. В. Гордеева*; Д. Н. Бурцев*; Ю. А. Елисеева*

*   ООО «НПП «Инжект»,  Саратов

** Национальный исследовательский ядерный университет «МИФИ», Москва

E-mail: equilibriummm@yandex.ru

УДК 535.8

Поступила в редакцию 05.02.2020

DOI:10.17586/1023-5086-2020-87-06-76-88

Показано, что в производственном планарном цикле перспективно использование RGB данных оптической светлопольной микроскопии для оперативного контроля чистоты поверхности активных элементов полупроводниковых пластин. Продемонстрирована возможность определения толщины плёнки на поверхности подложки на основании RGB данных, полученных с помощью фотосенсора на основе матрицы Байера с известной спектральной характеристикой. Показан пример применения на полупроводниковой пластине GaAs c металлизированными активными золотыми элементами. Разработано программное обеспечение для поканального сравнения выделенной области двух снимков. Приведён алгоритм получения снимков на микроскопе для их последующего анализа и сравнения.

Ключевые слова: RGB, оптическая микроскопия, цифровая обработка изображений, тонкие плёнки, измерение толщины.

Код OCIS: 100.2000

 

Литература

1.    Гладышев А.Г., Кулагина М.М., Блохин С.А. и др. Технология формирования субмикронного поверхностного рельефа для эпитакситальных структур GaAs с тонкими стоп-слоями AlGaAs // Письма в ЖТФ. 2011. Т. 37. № 24. С. 9–15.

2.   Qiao Z., Tang X., Li X. et al. Monolithic fabrication of InGaAs/GaAs/AlGaAs multiple wavelength quantum well laser diodes via impurity-free vacancy disordering quantum well intermixing // IEEE Journal of the Electron Devices Society. 2017. V. 5. № 2. P. 122–127.

3.   Erbert G., Bärwolff A.,Sebastian J. et al. High-power broad-area diode lasers and laser bars // Topics Appl. Phys. 2000. V. 78. P. 173–223.

4.   Newton I. Optiks: a treatise of the reflections, refractions, inflections and colors of light. London: 1718. P. 168–206.

5.   Дьяченко А.А., Рябухо В.П. Определение оптических толщин слоистых объектов по интерференционным цветам изображений в микроскопии белого света // Компьютерная оптика. 2017. Т. 41. № 5. С. 670–679.

6.   Ouyang W., Liu X.Z., Li Q. et al. Optical methods for determining thicknesses of few-layer graphene flakes // IOP Publishing Ltd Nanotechnology. 2013. V. 24. № 50. P. 505701.

7.    Li H., Wu J., Huang X. et al. Rapid and reliable thickness identification of two-dimensional nanosheets using optical microscopy // ACS Nano. 2013 V. 7. № 11. P. 10344–10353.

8.   Kobayashi Y., Morimoto T., Sato I. et al. Reconstructing shapes and appearances of thin film objects using RGB images // 2016 IEEE Conference on Computer Vision and Pattern Recognition (CVPR). Las Vegas NV, 2016. P. 3774–3782.

9.   Goto E., Dogru M., Kojima T. et al. Computer-synthesis of an interference color chart of human tear lipid layer by a colorimetric approach // Investigative Ophthalmology & Visual Science. 2003. V. 44. P. 4693–4697.

10. Yakubovsky D., Arsenin A., Stebunov Y. et al. Optical constants and structural properties of thin gold films // Opt. Express. 2017. V. 25. P. 25574–25587.

11.  Cheremkhin P., Lesnichii V., Petrov N. Use of spectral characteristics of DSLR cameras with Bayer filter sensors // Ltd Journal of Physics: Conference Series. 2014. V. 536. P. 012021.

12.       Macleod H.A. Thin-film optical filters. London: Institute of Physics Publishing, 2001. 641 p.

 

 

Полный текст

 

 



 
Назад 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 ... 11 Далее