© 2009 г. Н. Г. Власов, доктор техн. наук; С. М. Кулиш
Московский государственный технический университет “Станкин”, Москва
Кратко излагается предложенный ранее алгоритм нелинейной обработки интерферограмм, позволяющий повысить их чувствительность вплоть до предельной. Показана возможность адаптации этого алгоритма для увеличения чувствительности метода фазового контраста и для обработки дифракционных картин. Такая обработка позволяет с повышенной точностью определять размеры микрообъекта, при освещении которого и была получена дифракционная картина.
Ключевые слова: интерференция, дифракция, нелинейная обработка, метод фазового контраста.
Коды OCIS: 100.2000, 190.1900
УДК 535.4
Поступила в редакцию 13.01.2009
ЛИТЕРАТУРА
1. Власов Н.Г., Кулиш С.М. Нелинейная обработка интерферограмм // Нелинейный мир. 2007. Т. 5. № 9. С. 620–621.
2. Сергеев А.Г. Метрология. М.: Логос, 2005. 112 с.
3. Власов Н.Г., Кинбер Б.С., Семенов Э.Г. Аподизация оптических элементов // Компьютерная оптика. 1989. № 5. С. 29–31.
4. Власов Н.Г., Мухтаров Ш.Д. Самоаподизация в изображениях микрообъектов, совпадающих по форме с апертурой // Прикладная математика и техническая физика. 1999. № 3. С. 29–31.
5. Ewanov C. R., Sorubay C. Measurement of transient spray size distributions // Opt. Engin. 1984. V. 23. № 5. P. 620–625.
Полный текст>>>>>
Nonlinear processing of diffraction and interference patterns
N. G. Vlasov and S. M. Kulish
This paper briefly explains the algorithm proposed earlier for the nonlinear processing of interferograms, making it possible to increase their sensitivity all the way to the limiting value. It is shown that this algorithm can be adapted to increase the sensitivity of the phase-contrast method and to process diffraction patterns. Such processing allows the size of a microscopic object the illumination of which produces a diffraction pattern to be determined with increased accuracy.
