Научно-технический
«ОПТИЧЕСКИЙ ЖУРНАЛ»
издается с 1931 года
 
   
Русский вариант сайта Английский вариант сайта
   
       
   
       
Статьи последнего выпуска

Электронные версии
выпусков начиная с 2008


Алфавитный указатель
2000-2010 гг


444
Архив оглавлений
выпусков 2002-2007 гг


Реквизиты и адреса

Вниманию авторов и рецензентов!
- Порядок публикации
- Порядок рецензирования статей
- Типовой договор
- Правила оформления
- Получение авторского вознаграждения


Контакты

Подписка

Карта сайта





Журнал с 19.02.2010 входит в новый «Перечень ведущих рецензируемых научных журналов и изданий, в которых должны быть опубликованы основные научные результаты диссертации на соискание ученой степени доктора и кандидата наук»
Аннотация (07.2009) : УСТРОЙСТВО ДЛЯ АНАЛИЗА НАНОШЕРОХОВАТОСТЕЙ И ЗАГРЯЗНЕНИЙ ПОДЛОЖКИ ПО ДИНАМИЧЕСКОМУ СОСТОЯНИЮ КАПЛИ ЖИДКОСТИ, НАНОСИМОЙ НА ЕЕ ПОВЕРХНОСТЬ

УСТРОЙСТВО ДЛЯ АНАЛИЗА НАНОШЕРОХОВАТОСТЕЙ И ЗАГРЯЗНЕНИЙ ПОДЛОЖКИ ПО ДИНАМИЧЕСКОМУ СОСТОЯНИЮ КАПЛИ ЖИДКОСТИ, НАНОСИМОЙ НА ЕЕ ПОВЕРХНОСТЬ

© 2009 г. С. А. Бородин; А. В. Волков, доктор техн. наук; Н. Л. Казанский, доктор физ.-мат. наук

 

Институт систем обработки изображений РАН, Самарский государственный аэрокосмический университет им. академика С.П. Королева, Самара

 

E-mail: ipsi@smr.ru

 

В статье развивается метод экспресс-контроля степени чистоты поверхности подложек, предназначенных для формирования микрорельефа дифракционных оптических элементов. Разработан и запатентован способ контроля наношерооватости и степени чистоты поверхности по динамическому состоянию капли жидкости. Приведены результаты экспериментов по оценке поведения капли жидкости, полученные с помощью высокоскоростной видеокамеры. Устройство применяется для оперативной коррекции технологического процесса финишной очистки диэлектрических подложек.

 

Ключевые слова: плазмохимическое травление, смачиваемость поверхности, параметры процесса растекания капли

.

Коды OCIS: 120.012.6660

УДК 53.087.42

 

Поступила в редакцию 18.03.2009

 

ЛИТЕРАТУРА

1. Калябина И.А. Физические методы анализа поверхности в электронной технике // Обзоры по электронной технике. Серия 7 (Технология, организация производства и оборудование). В. 16. 1985. 681 с.

2. Анищенко Л.М, Кузнецов С.Е, Яковлева В.А. Влияние параметров обработки диэлектрических подложек в плазме тлеющего разряда на адгезию металлических пленок // Физика и химия обработки материалов. 1984. № 5. С. 82–84.

3. Майссел Л., Глэнг Р. Технология тонких пленок. М.: Советское радио, 1977. С. 507–542.

4. Юдина Н.К., Чупахин М.С., Лебедев Э.А., Федоров М.Н. Исследование и контроль плазмохимических процессов // Зарубежная электронная техника. 1980. № 3. С. 3–54.

5. Данилин Б.С, Кирсеев В.Ю. Применение низкотемпературной плазмы для очистки и травления материалов. М.: Энергоиздат, 1987. 372 с.

6. Пастухов В.А., Боксер Э.Л., Царевский Б.В. Способ определения краевого угла смачивания жидкостью твердых тел // А. с. № 531065. Бюл. изобр. 1976. № 37. С. 8.

7. Ициксонас Г.О., Шумахер А.А. Способ определения краевого угла смачивания // А. с. № 548788. Бюл. изобр. 1977. № 8. С. 23.

8. Магунов А.Н. Способ определения краевого угла смачивания // А. с. № 1260752. Бюл. изобр. 1986. № 36. С. 17.

9. Магунов А.Н., Мудров Е.В. Измерение краевого угла смачивания методом отраженного света // ПТЭ. 1990. № 5. С. 227–230.

10. Бородин С.А., Волков А.В., Колпаков А.И., Рафельсон Л.Л. Устройство контроля чистоты поверхности подложек // ПТЭ. 1990. № 5. С. 230–232.

11. Казанский Н.Л., Колпаков В.А., Колпаков А.И.,

Кричевский С.В., Ивлиев Н.А. Оптимизация

па раметров устройства трибометрического измерения чистоты поверхности подложек // Компьютерная оптика. 2005. В. 28. С. 76–79.

12. Казанский Н.Л., Волков А.В., Бородин С.А., Ерополов В.А. Устройство контроля чистоты поверхности подложки // Патент России № 54677. 2006.

13. Казанский Н.Л., Волков А.В., Бородин С.А. Способ контроля шероховатости поверхности диэлектрических подложек // Патент России № 2331870. 2008.

14. Ефимов И.Е., Козырь И.Я., Горбунов Ю.И. Микроэлектроника. Физические и технологические основы, надежность. М.: Высшая школа, 1986. 464 с.

15. Бородин С.А. Исследование процесса растекания капли жидкости, наносимой на поверхность подложки // Компьютерная оптика. 2005. В. 28. С. 66–69.

16. Бородин С.А., Волков А.В., Казанский Н.Л. Автоматизированное устройство для оценки степени чистоты подложки по динамическому состоянию капли жидкости, наносимой на ее поверхность // Компьютерная оптика. 2005. В. 28. С. 70–75.

 

Полный текст>>>>>

 

 

Device for analyzing nanoroughness and contamination on a substrate from the dynamic state of a liquid drop deposited on its surface

S. A. Borodin, A. V. Volkov, and N. L. Kazanskiĭ

A method of rapid monitoring of the degree of surface cleanliness of substrates intended to form the microrelief of diffraction optical elements is developed in this article. A method for monitoring the nanoroughness and degree of surface cleanliness from the dynamic state of a liquid drop has been developed and patented. The results of experiments on estimating the behavior of a liquid drop, obtained by means of a high-speed video camera, are presented. The device is used to efficiently correct the final cleaning process of dielectric substrates.