Научно-технический
«ОПТИЧЕСКИЙ ЖУРНАЛ»
издается с 1931 года
 
   
Русский вариант сайта Английский вариант сайта
   
       
   
       
Статьи последнего выпуска

Электронные версии
выпусков начиная с 2008


Алфавитный указатель
2000-2010 гг


444
Архив оглавлений
выпусков 2002-2007 гг


Реквизиты и адреса

Вниманию авторов и рецензентов!
- Порядок публикации
- Порядок рецензирования статей
- Типовой договор
- Правила оформления
- Получение авторского вознаграждения


Контакты

Подписка

Карта сайта





Журнал с 19.02.2010 входит в новый «Перечень ведущих рецензируемых научных журналов и изданий, в которых должны быть опубликованы основные научные результаты диссертации на соискание ученой степени доктора и кандидата наук»
Аннотации (07.2012) : ПАРАМЕТРИЗАЦИЯ МОДЕЛИ ФОРОУХИ–БЛУМЕРА–ЛОРЕНТЦА ДЛЯ ПЛЕНОК Ta2O5 В ОБЛАСТИ ФУНДАМЕНТАЛЬНОГО ПОГЛОЩЕНИЯ

ПАРАМЕТРИЗАЦИЯ МОДЕЛИ ФОРОУХИ–БЛУМЕРА–ЛОРЕНТЦА ДЛЯ ПЛЕНОК Ta2O5 В ОБЛАСТИ ФУНДАМЕНТАЛЬНОГО ПОГЛОЩЕНИЯ

© 2012 г.    О. Д. Вольпян*; Ю. А. Обод**;  П. П. Яковлев*, канд. техн. наук

 

* Научно-исследовательский институт “Полюс” им. М.Ф. Стельмаха, ООО “Градитон”, Москва

** Научно-производственный комплекс “Фотрон-Авто”, Москва

Е-mail: o.d.volpian@mail.ru

Вычислены комплексные оптическая и диэлектрическая функции энергии электромагнитной волны для пленки оксида тантала (V) в коротковолновой области спектра, включая область фундаментального поглощения. Для вычисления этих функций построена аддитивная комбинация моделей Фороухи–Блумера и Лорентца. Рассмотрены варианты модели Фороухи–Блумера с независимым от энергии волны матричным элементом дипольного перехода, а также модифицированная модель. Установлено преимущество модифицированной модели при описании широкозонных диэлектрических аморфных сред. Вычисленная по моделям Фороухи–Блумера и Лорентца оптическая ширина запрещенной зоны сравнивается с величиной, определенной из экстраполяции Тауца.

Ключевые слова: тонкие пленки, фундаментальное поглощение, дисперсионная модель, магнетронное распыление.

Коды OCIS: 130.0250

УДК 53.082.53: 544.023.2

Поступила в редакцию 02.11.2011

 

Литература

1.         Von Rottkay K., Rubin M. Optical indexes of pyrolitic TiN – oxide glass // Mater. Res. Soc. Simp. Proc. 1996. V. 426. P. 449 (1–7).

2.         Cain J.P., Robie S., Zhang Q., Sing B., Emami I. Combined use of X-ray reflectometry and ellipsometry for characterisation of thin film optical properties // Proc. SPIE. 2006. V. 6155. Р. 61550P (1–6).

3.         Forouhi A.R., Bloomer I. Optical dispersion relation for amorphous semiconductors and amorphous dielectrics // Physical Review. B.1986. V. 34. P. 7018–7026.

4.         Forouhi A.R., Bloomer I. Calculation of optical constants n and k in the interband region // In Handbook of -Optical Constants of Solids II / Ed. by Palic E.D. N.-Y.: Academic, 1991. P. 151–175.

5.         Ding L., Chen T.P., Liu Y., Nig C.Y., Fung S. Optical properties of silicon nanocrystals embedded in SiO2 matrix // Phys. Review. B. 2005. V. 72. № 12. P. 125419(1–7).

6.         Атучин В.В., Кручинин В.Н., Калинкин А.В., Алиев В.Ш., Рыхлицкий С.В., Швец В.А., Спесивцев Е.В. Оптические свойства пленок HfO(2–x)Nx и TiO(2–x)Nx, полученных методом ионно-лучевого распыления // Опт. и спектр. 2009. Т. 106. № 1. С. 77–82.

7.         Davazoglou D., Vasilopoulou M.A., Argitis P. Optical characterization of thin organic films by analy-zing transmission measurements with the Forouhi-Bloomer model // Microelectronic Engineering. 1998. V. 41/42. P. 619–622.

8.         Cheyssac P., Laidani N., Andere M. Optical absorption in ZrO2–x-C nanocomposite films on polymer substrates: application of an effective medium theory // Physica Status Solidi. C 5. 2008. V. 10. P. 3376–3382.

9.         Lioudakis E., Othonos A., Hadjisavvas G.C., Kelires P.C., Nassiopolou A.G. Quantum confinement and interface structure of Si nanocrystals of sizes 3–5 nm embedded in -SiO2 // Physica. E. 2007. V. 38. P. 128–134.

10.      Ferlauto A.S., Ferreira G.M., Pearce J.M., Wronski C.R., Collins R.W., Deng X., Ganguly G. Analytical model for the optical functions of amorphous semiconductors from the near-infrared to ultraviolet: Applications in thin film photovoltaics // J. Appl. Phys. 2002. V. 92. № 5. P. 2424–2436.

11.       Kalfaginnis N., Logothtis S. Color dependency on optical and electronic properties of TiNx thin film // Rev. Adv. Mater. Sci. 2007. V. 15. P. 167–172.

12.       Lai F., Lin L., Gai R., Lin Y., Huang Z. Determination of optical constant and thicknesses of In2O3:Sn films from transmittance data // Thin Solid Films. 2007. V. 515. P. 7387–7392.

13.       Вольпян О.Д., Яковлев П.П., Мешков Б.Б., Обод О.А. Оптические свойства пленок Ta2O5, полученных реактивным магнетронным распылением на постоянном и переменном токе // Оптический журнал. 2003. Т. 70. № 9. С. 56–59.

14.       Вольпян О.Д., Обод О.А., Яковлев П.П. Исследование оптических пленок SiO2, полученных реактивным магнетронным распылением на переменном токе // Оптический журнал. 2004. Т. 71. № 7. С. 81–84.

15.       Вольпян О.Д., Кузьмичев А.И. Магнетронное нанесение оптических покрытий при питании магнетронов переменным напряжением средней частоты // Прикладная физика. 2008. № 3. С. 34–51.

16.       Вольпян О.Д., Яковлев П.П. К проблеме вычисления параметров оптической пленки из измерений спектров пропускания // Опт. и спектр. 2002. Т. 92. № 1. С. 116–118.

17.       Jellison G.E., Modin F.A., Doshi P., Rohahgi A. Spectroscopic ellipsometry characterisation of thin-film silicon nitride // Preprint of Ouk Ridge National Laborаtory. 1997. P. 1–15.

 

 

Полный текст