Научно-технический
«ОПТИЧЕСКИЙ ЖУРНАЛ»
издается с 1931 года
 
   
Русский вариант сайта Английский вариант сайта
   
       
   
       
Статьи последнего выпуска

Электронные версии
выпусков начиная с 2008


Алфавитный указатель
2000-2010 гг


444
Архив оглавлений
выпусков 2002-2007 гг


Реквизиты и адреса

Вниманию авторов и рецензентов!
- Порядок публикации
- Порядок рецензирования статей
- Типовой договор
- Правила оформления
- Получение авторского вознаграждения
- Редакционная этика


Контакты

Подписка

Карта сайта




Журнал с 01.12.2015 допущен ВАК для публикации основных результатов диссертаций как издание, входящее в международные реферативные базы систем цитирования (Web Science, Scopus) (см. Vak.ed.gov.ru Перечень журналов МБД 16.03.2018г)

УВАЖАЕМЫЕ ПОДПИСЧИКИ НАШЕГО ЖУРНАЛА!
По техническим причинам «Оптический журнал» не попал в каталог агентства «Роспечать» на II полугодие 2018 г., что делает невозможной подписку на него на почте. Предлагаем оформить подписку на II полугодие 2018 в редакции журнала удобным Вам способом. Стоимость подписки на полугодие сохраняется (6600 руб.).
Связаться с нами можно по т. (812) 315-05-48, Е-mail: beditor@soi.spb.ru

Аннотация (08.2009) : ПОЛУЧЕНИЕ ОСОБО ЧИСТЫХ ХИМИЧЕСКИХ МАТЕРИАЛОВ ДЛЯ ПРОЦЕССОВ ХИМИЧЕСКОГО, ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОГО И ПИРОЛИТИЧЕСКОГО ОСАЖДЕНИЯ ТОНКИХ ОКСИДНЫХ СЛОЕВ

ПОЛУЧЕНИЕ ОСОБО ЧИСТЫХ ХИМИЧЕСКИХ МАТЕРИАЛОВ ДЛЯ ПРОЦЕССОВ ХИМИЧЕСКОГО, ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОГО И ПИРОЛИТИЧЕСКОГО ОСАЖДЕНИЯ ТОНКИХ ОКСИДНЫХ СЛОЕВ

© 2009 г. В. В. Потелов, канд. техн. наук

 

“Красногорский завод. Зенит-техсервис”, г. Красногорск, Московская обл.

 

E-mail: zenit@obltelecom.ru

 

Рассмотрены вопросы очистки кремнийэлементорганических соединений и алкоголятов элементов методами ректификации, кристаллизации и адсорбции для процессов получения тонких оксидных слоев, а также многослойных структур различного функционального назначения.

 

Ключевые слова: кремнийэлементорганические соединения, особо чистые вещества, ректификация, кристаллизация, адсорбция.

 

Коды OCIS: 220.4610, 160.4670, 160.4760

УДК 541.1

 

Поступила в редакцию 14.05.2009

 

ЛИТЕРАТУРА

1. Зельвенский Я.Д., Титов А.А., Шалыгин В.А. Ректификация разбавленных растворов // Химия. Л.,1974. № 2. С. 216.

2. Протасова Л.В. Гибкие ХТС для получения кремнийэлементоорганических соединений // Канд. дисс. М.: РХТУ им. Менделеева, 1998. 124 с.

 

Полный текст>>>>

 

 

Obtaining high-purity chemical materials for chemical, plasmachemical, and pyrolytic deposition of thin oxide films

V. V. Potelov

This paper discusses questions of the purification of silicone compounds and alcoholates by rectification, crystallization, and adsorption for obtaining thin oxide layers as well as multilayer structures for various functional purposes.