Научно-технический
«ОПТИЧЕСКИЙ ЖУРНАЛ»
издается с 1931 года
 
   
Русский вариант сайта Английский вариант сайта
   
       
   
       
Статьи последнего выпуска

Электронные версии
выпусков начиная с 2008


Алфавитный указатель
2000-2010 гг


444
Архив оглавлений
выпусков 2002-2007 гг


Реквизиты и адреса

Вниманию авторов и рецензентов!
- Порядок публикации
- Порядок рецензирования статей
- Типовой договор
- Правила оформления
- Получение авторского вознаграждения


Контакты

Подписка

Карта сайта





Журнал с 19.02.2010 входит в новый «Перечень ведущих рецензируемых научных журналов и изданий, в которых должны быть опубликованы основные научные результаты диссертации на соискание ученой степени доктора и кандидата наук»
Аннотации (08.2011) : ИССЛЕДОВАНИЕ НИЗКОПОРОГОВЫХ МЕХАНИЗМОВ МОДИфИКАЦИИ СТРУКТУРЫ ТОНКИХ ПЛЕНОК ХРОМА ПОД ДЕЙСТВИЕМ СВЕРХКОРОТКИХ ЛАЗЕРНЫХ ИМПУЛЬСОВ

ИССЛЕДОВАНИЕ НИЗКОПОРОГОВЫХ МЕХАНИЗМОВ МОДИфИКАЦИИ СТРУКТУРЫ ТОНКИХ ПЛЕНОК ХРОМА ПОД ДЕЙСТВИЕМ СВЕРХКОРОТКИХ ЛАЗЕРНЫХ ИМПУЛЬСОВ

©2011г. В..Вейко, доктор техн. наук; М.В.Ярчук; А.И.Иванов

 

Санкт-Петербургский государственный университет информационных технологий, механики и оптики, Санкт-Петербург

Е-mail: vadim.veiko@mail.ru, chukforyou@ya.ru

 

Рассмотрен термохимический метод записи информации, основанный на локальном лазерном окислении тонких пленок хрома, с последующим травлением необлученной области. Этот способ является альтернативой лазерной фотолитографии и прямому лазерному удалению пленки хрома. Он применяется в основном для изготовления дифракционных оптических элементов. В термохимическом способе записи информации отсутствуют термические и гидродинамические искажения рисунка, как при лазерной абляции, а количество технологических операций существенно меньше, чем в фотолитографии. В настоящее время дифракционные оптические элементы используются в больших телескопах, матрицах микролинз, лазерной оптике и т. д. Основным требованием ко всем типам дифракционных оптических элементов является высокое пространственное разрешение. Поиск методов повышения разрешения дифракционных оптических элементов является основной мотивацией исследования структуры облученных пленок хрома.

 

Ключевые слова: модификация поверхности, тонкие пленки хрома, оксиды хрома, фемтосекундные лазерные импульсы.

 

Коды OCIS: 310.6628, 310.6860

УДК 544.537

Поступила в редакцию 14.02.2011

 

ЛИТЕРАТУРА

1. Mallik C.V., Zehnder R., Burge J.H., Poleshchuk A.  Absolute calibration of null correctors using dual computer-generated holograms // Proc. of SPIE. V. 6721. P. 16.

2. Вейко В.П., Котов Г.А., Либенсон М.Н., Никитин М.Н. Термохимическое действие лазерного излучения // Доклады АН СССР. 1973. Т. 208. С. 587–590.

3. Koronkevich V.P., Kirianov V.P., Poleshchuk A.G.  Fabrication of diffractive Optical elements by direct laser-writing with circular scanning // Proc. SPIE. 1995. V. 2363. Р. 290–297.

4. Stanoi D., Socol G., Grigorescu C., Guinneton F., Monnereau O., Tortet L., Zhang T., Mihailescu I.N. Chromium oxides thin films prepared and coated in situ with gold by pulsed laser deposition // Materials Science and Engineering 2005. V. 118. Р. 74–78.

5. Корешев С.Н., Белых А.В., Ратушный В.П.  Голографическая фотолитография на основе тонких пленок халькогенидного стеклообразного полупроводника // Оптический журнал. 2007. Т. 74. № 7. С. 80–85.

6. Новый метод нанолитографии. Электронный ресурс  / Lenta.ru. Режим доступа: http://www.lenta.ru/ news/2007/09/10/nano/.

7. Коронкевич В.П., Полещук А.Г., Чурин Е.Г., Юрлов Ю.И.  Лазерная термохимическая технология синтеза дифракционных оптических элементов на пленках хрома  // Квантовая электроника. 1985. Т.  12. №  4. С. 755–761.

8. Baranov A.V., Bogdanov K.V., Fedorov A.V., Yarchuk M.V., Ivanov A.I., Veiko V.P., Berwick K.  Micro-Raman characterization of laser-induced local thermo-oxidation of thin chromium films  //J. Raman Spectroscopie, 2011. Web: http://www.wileyonlinelibrary.com DOI 10. V. 2920 (to be published).

9. Metev M., Savtchenko S., Stamenov K., Veiko V. Thermochemiсal action of laser radiatoin thin metal films // IEEE Journal of QE. 1981. V. 17. № 10. P. 2004–2007.

10. Фирстов С.А., Рогуль Т.Г. Теоретическая (предельная) твердость. Reports of the National Academy of Sciences of Ukraine, 2007. № 4. C. 100–114.

11. Томилин М.Г.  Новый поляризационно-оптический микроскоп на основе жидкокристаллического пространственно-временного модулятора света и его применения // Санкт-Петербург: СПбГУ ИТМО, 2009. 115 с.

12. Вейко В.П., Дряхлушин В.Ф., Вознесенский Н.Б. Сканирующая ближнепольная оптическая микроскопия и ближнепольные оптические зонды: свойства, изготовление и контроль параметров // Квантовая электроника. 2007. Т. 37. № 2. С. 193–203.

13. Betzig E., Trautman J.K., Harris T.D., Weiner J.S., Kostelak R.L. Breaking the diffraction barrier: optical microscopy on a nanometric scale // Science. 1991. V. 251. P. 1468. “Оптический журнал”, 78, 8, 2011

 

 

Полный текст