©2011г. В..Вейко, доктор техн. наук; М.В.Ярчук; А.И.Иванов
Санкт-Петербургский государственный университет информационных технологий, механики и оптики, Санкт-Петербург
Е-mail: vadim.veiko@mail.ru, chukforyou@ya.ru
Рассмотрен термохимический метод записи информации, основанный на локальном лазерном окислении тонких пленок хрома, с последующим травлением необлученной области. Этот способ является альтернативой лазерной фотолитографии и прямому лазерному удалению пленки хрома. Он применяется в основном для изготовления дифракционных оптических элементов. В термохимическом способе записи информации отсутствуют термические и гидродинамические искажения рисунка, как при лазерной абляции, а количество технологических операций существенно меньше, чем в фотолитографии. В настоящее время дифракционные оптические элементы используются в больших телескопах, матрицах микролинз, лазерной оптике и т. д. Основным требованием ко всем типам дифракционных оптических элементов является высокое пространственное разрешение. Поиск методов повышения разрешения дифракционных оптических элементов является основной мотивацией исследования структуры облученных пленок хрома.
Ключевые слова: модификация поверхности, тонкие пленки хрома, оксиды хрома, фемтосекундные лазерные импульсы.
Коды OCIS: 310.6628, 310.6860
УДК 544.537
Поступила в редакцию 14.02.2011
ЛИТЕРАТУРА
1. Mallik C.V., Zehnder R., Burge J.H., Poleshchuk A. Absolute calibration of null correctors using dual computer-generated holograms // Proc. of SPIE. V. 6721. P. 16.
2. Вейко В.П., Котов Г.А., Либенсон М.Н., Никитин М.Н. Термохимическое действие лазерного излучения // Доклады АН СССР. 1973. Т. 208. С. 587–590.
3. Koronkevich V.P., Kirianov V.P., Poleshchuk A.G. Fabrication of diffractive Optical elements by direct laser-writing with circular scanning // Proc. SPIE. 1995. V. 2363. Р. 290–297.
4. Stanoi D., Socol G., Grigorescu C., Guinneton F., Monnereau O., Tortet L., Zhang T., Mihailescu I.N. Chromium oxides thin films prepared and coated in situ with gold by pulsed laser deposition // Materials Science and Engineering 2005. V. 118. Р. 74–78.
5. Корешев С.Н., Белых А.В., Ратушный В.П. Голографическая фотолитография на основе тонких пленок халькогенидного стеклообразного полупроводника // Оптический журнал. 2007. Т. 74. № 7. С. 80–85.
6. Новый метод нанолитографии. Электронный ресурс / Lenta.ru. Режим доступа: http://www.lenta.ru/ news/2007/09/10/nano/.
7. Коронкевич В.П., Полещук А.Г., Чурин Е.Г., Юрлов Ю.И. Лазерная термохимическая технология синтеза дифракционных оптических элементов на пленках хрома // Квантовая электроника. 1985. Т. 12. № 4. С. 755–761.
8. Baranov A.V., Bogdanov K.V., Fedorov A.V., Yarchuk M.V., Ivanov A.I., Veiko V.P., Berwick K. Micro-Raman characterization of laser-induced local thermo-oxidation of thin chromium films //J. Raman Spectroscopie, 2011. Web: http://www.wileyonlinelibrary.com DOI 10. V. 2920 (to be published).
9. Metev M., Savtchenko S., Stamenov K., Veiko V. Thermochemiсal action of laser radiatoin thin metal films // IEEE Journal of QE. 1981. V. 17. № 10. P. 2004–2007.
10. Фирстов С.А., Рогуль Т.Г. Теоретическая (предельная) твердость. Reports of the National Academy of Sciences of Ukraine, 2007. № 4. C. 100–114.
11. Томилин М.Г. Новый поляризационно-оптический микроскоп на основе жидкокристаллического пространственно-временного модулятора света и его применения // Санкт-Петербург: СПбГУ ИТМО, 2009. 115 с.
12. Вейко В.П., Дряхлушин В.Ф., Вознесенский Н.Б. Сканирующая ближнепольная оптическая микроскопия и ближнепольные оптические зонды: свойства, изготовление и контроль параметров // Квантовая электроника. 2007. Т. 37. № 2. С. 193–203.
13. Betzig E., Trautman J.K., Harris T.D., Weiner J.S., Kostelak R.L. Breaking the diffraction barrier: optical microscopy on a nanometric scale // Science. 1991. V. 251. P. 1468. “Оптический журнал”, 78, 8, 2011
Полный текст
