© 2012 г. М. И. Ломаев, доктор физ.-мат. наук; В. С. Скакун, канд. физ.-мат. наук; В. Ф. Тарасенко, доктор физ.-мат. наук; Д. В. Шитц, канд. физ.-мат. наук
Институт сильноточной электроники СО РАН, г. Томск
E-mail: lomaev@loi.hcei.tsc.ru
Представлены экспериментальные исследования эксиламп на димерах ксенона, возбуждаемых барьерным разрядом. Исследованы их характеристики в режиме естественного и принудительного охлаждения. Установлено, что ограничение плотности мощности излучения при высоких мощностях возбуждения связано с эффективностью охлаждения излучателя эксилампы. Показано, что плотность мощности излучения отпаянных эксиламп на димерах ксенона может достигать 100 мВт/см2 в квазистационарном режиме. Приведены схема источника возбуждения эксилампы, конструкции эксиламп, а также методика расчета энергии и мощности возбуждения эксиламп барьерного разряда.
Ключевые слова: эксилампа, барьерный разряд, вакуумное ультрафиолетовое излучение, димер ксенона.
Коды OCIS: 230.6080; 260.7210
УДК 621.327.9; 535.37; 537.527.9
Поступила в редакцию 14.03.2012
Литература
1. Волкова Г.А., Кириллова Н.Н., Павловская Е.Н., Подмошенский И.В., Яковлева А.В. Лампа для облучения в вакуумной ультрафиолетовой области спектра // Бюл. изобр. 1982. № 41. С. 179.
2. Волкова Г.А., Кириллова Н.Н., Павловская Е.Н., Яковлева А.В. ВУФ-лампы на барьерном разряде в инертных газах // Журнал прикладной спектроскопии. 1984. Т. 41. В. 4. C. 681-695.
3. Eliasson B., Kogelschatz U. UV Excimer Radiation from Dielectric-barrier Discharges // Appl. Phys. B. 1988. V. B46. P. 299-303.
4. Gellert B., Kogelschatz U. Generation of Excimer Emission in Dielectric Barrier Discharges // Appl. Phys. B. 1991. V. 52. P. 14–21.
5. Esrom H., Kogelschatz U. Modification of surfaces with new excimer UV Sources // Thin Solid Films. 1992. V. 218. P. 231-246.
6. Kogelschatz U. Excimer lamps: history, discharge physics and industrial applications // Proc. SPIE. 2004. V. 5483. P. 272-286.
7. Vollkommer F., Hitzschke L. Dielectric Barrier Discharge // Proc. Of the 8th Internatinal Symposium on the Science and Technology of LIGHT SOURCIES LS–8. Greifswald. Germany, 30 Aug.–3 Sept. 1998. P. 51–60.
8. Carman R.J., Mildren R.P. Computer modeling of a short–pulse excited dielectric barrier discharge xenon excimer lamp (l ~ 172 nm) // J. Phys. D: Appl. Phys. 2003. V. 36. P. 19–33.
9. Beleznai Sz., Mihajlik G., Agod A., Maros I., Juhasz R., Nemeth Zs., Jakab L., Richter P. High–efficiency dielectric barrier Xe discharge lamp: theoretical and experimental investigations // J. Phys. D: Appl. Phys. 2006. V. 39. P. 3777–3787.
10. Akashi H., Oda A., Sakai Y. Effect of gas heating on excimer distribution in DBD Xe excimer lamp // Proc. of the 28th ICPIG, July 15–20, 2007, Prague, Czech Republic. P. 851– 854.
11. Marchal F., Lauro R., Ledru G., Jabbour G., Sewraj N. Formation of xenon excimer between 200 and 300 K following selective excitation of the Xe (6s) metastable state // Proc. of the 28th ICPIG, July 15–20, 2007, Prague, Czech Republic. P. 100–103.
12. Ломаев М.И., Скакун В.С., Тарасенко В.Ф., Шитц Д.В. Мощная эксилампа на димерах ксенона // Письма в ЖТФ. 2006. Т. 32. В. 11. С. 68–73.
13. Ломаев М.И., Тарасенко В.Ф., Шитц Д.В., Скакун В.С. Газоразрядный источник излучения // Патент на изобретение № 2310947. Опубликовано: 20.11.2007. БИ № 32.
14. Arnold E., Dreiskemper R., Reber S. High-Power Excimer Sources // Proceedings of the 8th Int. Symp. on Science and Technology of Light Sources (LS-8) (Greifswald, Germany) IL12., 90-98. 1998.
15. Ломаев М.И. Определение энерговвода в эксилампах с возбуждением барьерным разрядом // Оптика атмосферы и океана. 2001. Т. 14. № 11. С. 1091–1095.
16. Manley T.C. The electric characteristics of the ozonator discharge // Trans. Electrochem. Soc. 1943. V. 84. P. 83–96.
Полный текст
