© 2012 г. Д. Ю.Кручинин*, канд. техн. наук
Уральский федеральный университет имени первого Президента России Б.Н.Ельцина, г. Екатеринбург
E-mail: klip3@mail.ru
Рассмотрены возможности уменьшения угловых погрешностей круговых оптических шкал, изготовленных способом обратной фотолитографии с использованием фотошаблонов, синтезированных с помощью лазерного генератора изображений CLWS-300.
Ключевые слова: круговая оптическая шкала, лимб, угловая погрешность, лазерный генератор изображений.
Коды OCIS: 110.5220.
УДК 681.7.064
Поступила в редакцию 05.12.2012.
ЛИТЕРАТУРА
1. Кручинин Д.Ю. Способ изготовления оптических шкал обратной фотолитографией // Патент России № 2370799. 2009.
2. Кручинин Д.Ю. Фотолитография в производстве круговых оптических шкал на Уральском оптико-механическом заводе // Оптический журнал. 2008. Т. 75. № 4. С. 92-94.
3. Кручинин Д.Ю., Анисимова О.В., Тырышкина А.С. Исследование угловых погрешностей лимбов, изготовленных методом обратной фотолитографии // Оптический журнал. 2009. Т. 76. № 6. С. 70-74.
4. Кручинин Д.Ю. Исследование влияния углов падения лучей актиничного излучения на поверхность фотошаблона на угловые погрешности лимбов, изготовленных методом обратной фотолитографии // Оптический журнал. 2010. Т. 77. № 6. С. 46-50.
5. Абрамов Ю.Ф., Кирьянов В.П., Кирьянов А.В., Кокарев С.А., Кручинин Д.Ю., Чугуй Ю.В., Яковлев О.Б. Модернизация оптического делительного производства Уральского оптико-механического завода на основе современных лазерно-компьютерных и фотолитографических технологий // Оптический журнал. 2006. Т. 73. № 8. С. 61-65.
6. Bartik S.A., Frizin S.E., Kiryanov V.P., Kiryanjv A.V., Kokarev S.A., KruchininD.Y., Nikitin V.G., Yakovlev O.B. Development of a technique for the determination of metrological parameters of technological system CLWS-300/C for synthesis of high precision angular measuring structures // 10 th IMEKO TC7 International Symposium. Saint-Petersburg, 2004. P. 316-320.
7. Кручинин Д.Ю., Яковлев O.B. Исследование угловых погрешностей круговых оптических шкал, изготовленных с использованием лазерного генератора изображений CLWS-300 // Оптический журнал. 2011. Т. 78. № 6. С. 47-50.
8. Кручинин Д.Ю., Яковлев О.Б., Андронов М.Л. Исследование влияния условий синтеза круговых оптических шкал, изготовленных с использованием лазерного генератора изображений CLWS-300, на их угловые погрешности // Оптический журнал. 2012. Т. 79. № 7. С. 41-44.
9. Кручинин Д.Ю., Яковлев О.Б. Фотошаблоны для производства оптических шкал // Тр. Междунар. конфер. «Прикладная оптика-2006». СПб., Т. 2. С. 111-114.
Полный текст
