Научно-технический
«ОПТИЧЕСКИЙ ЖУРНАЛ»
издается с 1931 года
 
   
Русский вариант сайта Английский вариант сайта
   
       
   
       
Статьи последнего выпуска

Электронные версии
выпусков начиная с 2008


Алфавитный указатель
2000-2010 гг


444
Архив оглавлений
выпусков 2002-2007 гг


Реквизиты и адреса

Вниманию авторов и рецензентов!
- Порядок публикации
- Порядок рецензирования статей
- Типовой договор
- Правила оформления
- Получение авторского вознаграждения


Контакты

Подписка

Карта сайта





Журнал с 19.02.2010 входит в новый «Перечень ведущих рецензируемых научных журналов и изданий, в которых должны быть опубликованы основные научные результаты диссертации на соискание ученой степени доктора и кандидата наук»
Аннотации (08.2013) : ИССЛЕДОВАНИЕ ВОЗМОЖНОСТИ УМЕНЬШЕНИЯ УГЛОВЫХ ПОГРЕШНОСТЕЙ КРУГОВЫХ ОПТИЧЕСКИХ ШКАЛ, ИЗГОТОВЛЕННЫХ СПОСОБОМ ОБРАТНОЙ ФОТОЛИТОГРАФИИ

ИССЛЕДОВАНИЕ ВОЗМОЖНОСТИ УМЕНЬШЕНИЯ УГЛОВЫХ ПОГРЕШНОСТЕЙ КРУГОВЫХ ОПТИЧЕСКИХ ШКАЛ, ИЗГОТОВЛЕННЫХ СПОСОБОМ ОБРАТНОЙ ФОТОЛИТОГРАФИИ

 

© 2012 г.   Д. Ю.Кручинин*, канд. техн. наук

 

Уральский федеральный университет имени первого Президента России Б.Н.Ельцина, г. Екатеринбург

E-mail: klip3@mail.ru

Рассмотрены возможности уменьшения угловых погрешностей круговых оптических шкал, изготовленных способом обратной фотолитографии с использованием фотошаблонов, синтезированных с помощью лазерного генератора изображений CLWS-300.

 

Ключевые слова: круговая оптическая шкала, лимб, угловая погрешность, лазерный генератор изображений.

Коды OCIS: 110.5220.

УДК 681.7.064

 

Поступила в редакцию 05.12.2012.

ЛИТЕРАТУРА

1.               Кручинин Д.Ю. Способ изготовления оптических шкал обратной фотолитографией // Патент России № 2370799. 2009.

2.               Кручинин Д.Ю. Фотолитография в производстве круговых оптических шкал на Уральском оптико-механическом заводе // Оптический журнал. 2008. Т. 75. № 4. С. 92-94.

3.               Кручинин Д.Ю., Анисимова О.В., Тырышкина А.С. Исследование угловых погрешностей лимбов, изготовленных методом обратной фотолитографии // Оптический журнал. 2009. Т. 76. № 6. С. 70-74.

4.               Кручинин Д.Ю. Исследование влияния углов падения лучей актиничного излучения на поверхность фотошаблона на угловые погрешности лимбов, изготовленных методом обратной фотолитографии // Оптический журнал. 2010. Т. 77. № 6. С. 46-50.

5.               Абрамов Ю.Ф., Кирьянов В.П., Кирьянов А.В., Кокарев С.А., Кручинин Д.Ю., Чугуй Ю.В., Яковлев О.Б. Модернизация оптического делительного производства Уральского оптико-механического завода на основе современных лазерно-компьютерных и фотолитографических технологий // Оптический журнал. 2006. Т. 73. № 8. С. 61-65.

6.               Bartik S.A., Frizin S.E., Kiryanov V.P., Kiryanjv A.V., Kokarev S.A., KruchininD.Y., Nikitin V.G., Yakovlev O.B. Development of a technique for the determination of metrological parameters of technological system CLWS-300/C for synthesis of high precision angular measuring structures // 10 th IMEKO TC7 International Symposium. Saint-Petersburg, 2004. P. 316-320.

7.               Кручинин Д.Ю., Яковлев O.B. Исследование угловых погрешностей круговых оптических шкал, изготовленных с использованием лазерного генератора изображений CLWS-300 // Оптический журнал. 2011. Т. 78. № 6. С. 47-50.

8.              Кручинин Д.Ю., Яковлев О.Б., Андронов М.Л. Исследование влияния условий синтеза круговых оптических шкал, изготовленных с использованием лазерного генератора изображений CLWS-300, на их угловые погрешности // Оптический журнал. 2012. Т. 79. № 7. С. 41-44.

9.               Кручинин Д.Ю., Яковлев О.Б. Фотошаблоны для производства оптических шкал // Тр. Междунар. конфер. «Прикладная оптика-2006». СПб., Т. 2. С. 111-114.

 

Полный текст