© 2012 г. Л.А. Губанова, доктор техн. наук; Э.С. Путилин, доктор техн. наук
Санкт-Петербургский национальный исследовательский университет информационных технологий, механики и оптики, Санкт-Петербург.
E-mail: eputilin@.yandex.ru
Рассмотрена возможность формирования покрытий при одновременном испарении двух различных диэлектриков с постоянными по радиальной координате толщиной и показателем преломления. Приведено распределение толщины и показателя преломления покрытия, образованного при одновременном испарении двух плёнкообразующих материалов из источников, находящихся на одинаковых расстояниях от оси вращения подложки.
Ключевые слова: интерференционные покрытия, одновременное испарение, два источника, диэлектрики, толщина, показатель преломления.
Коды OCIS: 310.0310.
УДК 29.33.39
Поступила в редакцию 21.02.2013.
ЛИТЕРАТУРА
1. Губанова Л.Л., Путилин Э.С. Интерференционные фильтры, формирующие фазовые и амплитудные характеристики отраженного и прошедшего излучения // Оптический журнал. 1995. Т. 62. № 8. С. 72-77.
2. Губанова Л.А., Путилин Э.С., Старовойтов С.Ф. Влияние примесей окисла на поглощение металлических плёнок // Оптико-механическая промышленность. 1991. Т. 56. № 3. С. 19-21.
3. Р. Якобсон. Неоднородные и совместно напылённые однородные плёнки для оптических применений // Физика тонких пленок // под ред. Г. Хасса. М.: Мир. 1978. Т. 8. С. 61-66.
4. К. Robbie, Yan Cui, С. Elliott, К. Kaminska. Oxidation of evaporated porous silicon rugate Iters // Applied Optics, 2006, V. 45, № 10. P. 8298—8303.
5. Жиглинский А.Г., Путилин Э.С. Оптимальные условия формирования однородных плёнок // Оптико-механическая промышленность. 1971. № 9. С. 27-30.
Полный текст
