© 2010 г. В. В. Кириленко*, доктор техн. наук; Б. М. Жигарновский*, канд. хим. наук; А. Г. Бейрахов*, канд. хим. наук; И. П. Малкерова*, канд. хим. наук; А. В. Михайлов**, канд. техн. наук, И. И. Шаганов**, канд. физ.-мат. наук
** НТЦ “СПЕКТР” РАН и АИН РФ, Москва
** НПК “Государственный оптический институт им. С.И. Вавилова”, Санкт-Петербург
В работе рассмотрены вопросы синтеза и прессования оксидов ванадия для создания пленкообразующих материалов, используемых при получении оптических покрытий. На основе созданных пленкообразующих материалов разработаны технологические процессы изготовления покрытий из диоксида ванадия двумя методами получения тонких пленок: вакуумного испарения и магнетронного распыления. Рассмотрены вопросы использования пленок из оксида ванадия в оптическом приборостроении.
Ключевые слова: оксид ванадия, пленкообразующие материалы, оптические покрытия.
Коды OCIS: 160. 4760, 310.1620.
УДК 535.65: 539.234: 621.52
Поступила в редакцию 01.03.2010.
ЛИТЕРАТУРА
1. Бугаев А.А., Захарченя Б.П., Чудновский Ф.А. Фазовый переход металл-полупроводник и его применение. Л.: Наука, 1979. 370 с.
2. Данилов О.Б., Коновалова О.П., Сидоров А.И., Шагано И.И. Токоуправляемые пространственные модуляторы света на основе VO2 для среднего ИК диапазона // ПТЭ. 1995. № 4. С. 121–125.
3. Коновалова О.П., Сидоров А.И., Шаганов И.И. Интерференционные системы управляемых зеркал на основе VO2 для спектрального диапазона 0,6–10,6 мкм // Оптический журнал. 1999. Т. 66. № 5. С. 13–21.
4. Зеров В.Ю., Куликов Ю.В., МаляровВ.Г., Хребтов И.А., Шаганов И.И. Особенности работы болометра на основе пленки диоксида ванадия в интервале температур, включающем фазовый переход // Оптический журнал. 1999. Т. 66. № 5. С. 8–12.
5. Jerominek H., Picard F., Vincent D. Vanadium oxide films for optical switching and detection// Opt. Engin. 1993. V. 32. № 9. Р. 2092–2098.
6. Banchorndhevakul W., Matsiu T., Naito K. Vaporization Study on V2O3 and two phase mixture of V2O3 and VO by mass-spectrometric method // Thermochim. Acta. 1985. V. 88. № 1. P. 301–306.
7. Marushkin K.N., Alikhanyan A.S., Greenberg J.H., Lazarev V.B., Malusov V.A. Sublimation thermodynamics of tungsten trioxide // J. Chem. Thermodynamics. 1985. № 17. P. 245–253.
8. Holtzberg F., Reisman A. еt al. Reactions of the group VB pentoxides with alkali oxides and carbonates // J. Amer. Chem. Soc., 1956. V. 78. № 8. P. 1536–1539.
9. Berkowitz J., Chupka W.A., Ingram M.G. Thermodynamics of the V-O system: Dissosiation energies of VO and VO2 // J. Chem. Phys. 1957. V. 27. № 1. P. 87–90.
10. Казенас Е.К., Нестеренко П.А. Термодинамика процессов испарения и диссоциации в системе ванадий–кислород // Деп. в ВИНИТИ № 1315–B86 от 26.02.86.
11. Казенас Е.К., Петров А.А., Самойлова И.О., Нестеренко П.А. Масс-спектрометрическое исследование процессов испарения и диссоциации окислов ванадия, ниобия, тантала // Деп. в ВИНИТИ № 9141–B87 от 28.12.87.
12. Термодинамические свойства индивидуальных веществ. Справочн. изд. в 4-х т. / Под ред. В.П. Глушко М.: Наука, 1982. Т. 4. С. 61.
13. Killingblek S. Ph. D. Thesis, Kansas, 1964.
14. Францева К.Е. Термодинамическое исследование процессов испарения окислов V и Nb // Автореф. дис. канд. хим. наук. Л., 1968. 12 с.
15. Францева К.Е., Семенов Г.А. Масс-спектрометрическое исследование испарения некоторых окислов ванадия // Теплофизика высоких температур. 1969. Т. 7. № 1. С. 55–59.
16. Farber M., Manuel Uy Q., Srivastava R.D. Effusion mass-spectrometric determination of the heats of formation of the gaseous molecules V4О10, V4O8, VO2 and VO // J. Chem. Phys. 1972. V. 56. № 11. P. 5312–5315.
17. Казенас Е.К., Чижиков Д.М. Давление и состав пара над окислами химических элементов. М.: Наука, 1976. 342 с.
18. Iwase K., Nasu N. Dissoziationsdruck von Vanadium-pentoxyd // Chem. Zbl. 1937. № 1. S. 4208–4221.
19. Спицын Б.В., Майдановская Л.Г. Термическая диссоциация пятиокиси ванадия // Журн. физ. химии. 1959. Т. 33. № 1. С. 180–182.
20. Поляков А.Ю., Самарин А.М. Окислы ванадия // Успехи химии. 1950. Т. 19. № 5. С. 565–574.
21. Чижиков Д.М., Павлов Ю.А., Цветков Ю.В., Казенас Е.К., Нестеренко П.А. Изучение процесса возгонки твердой V2O5 //Изв. вузов. Черн. металлургия. 1970. № 7. С. 5–8.
22. Фотиев А.А., Волков В.Л. Изучение равновесий в системе V2O5–V2O4 // Журн. физ. химии. 1971. Т. 45. № 10. С. 2671–2673.
23. Топоров Н.А., Барзаковский В.П., Бондарь И.А., Удалов Ю.П. Диаграммы состояния силикатных систем: Металлкислородные соединения силикатных систем. Справочник. М.: Наука, 1970. В. 2: Металлкислородные соединения силикатных систем. 272 с.
24. Kusano E., Thelen J.A., Thornton J.A. // J. Vac. Sci. Technol. A. 1988. V. 6. № 3. Р. 11931–11935.
25. Jin P., Yoshimura K., Tanemura S.J. // J. Vac. Sci. Technol. A. 1997. V. 15(3). Р. 1113–1117.
26. Данилов О.Б., Жевлаков А.П., Сидоров А.И., Тульский С.А., Ячнев И.Л., Титтертон Д. Воздействие интенсивного лазерного излучения на управляемые VO2-зеркала // Оптический журнал. 2000. Т. 67. № 6. С. 31–38.
Полный текст
