Научно-технический
«ОПТИЧЕСКИЙ ЖУРНАЛ»
издается с 1931 года
 
   
Русский вариант сайта Английский вариант сайта
   
       
   
       
Статьи последнего выпуска

Электронные версии
выпусков начиная с 2008


Алфавитный указатель
2000-2010 гг


444
Архив оглавлений
выпусков 2002-2007 гг


Реквизиты и адреса

Вниманию авторов и рецензентов!
- Порядок публикации
- Порядок рецензирования статей
- Типовой договор
- Правила оформления
- Получение авторского вознаграждения


Контакты

Подписка

Карта сайта





Журнал с 19.02.2010 входит в новый «Перечень ведущих рецензируемых научных журналов и изданий, в которых должны быть опубликованы основные научные результаты диссертации на соискание ученой степени доктора и кандидата наук»
Аннотации (09.2011) : ВЫБОР ПАРАМЕТРОВ СИНТЕЗА ГОЛОГРАММ-ПРОЕКТОРОВ СФОКУСИРОВАННОГО ИЗОБРАЖЕНИЯ

ВЫБОР ПАРАМЕТРОВ СИНТЕЗА ГОЛОГРАММ-ПРОЕКТОРОВ СФОКУСИРОВАННОГО ИЗОБРАЖЕНИЯ

© 2011 г. С. Н. Корешев, доктор техн. наук; И. Н. Корепин, студент

 

Санкт-Петербургский государственный университет информационных технологий механики и оптики, Санкт-Петербург

E-mail: korepin404@gmail.com

 

Рассмотрена реализация фотолитографического процесса, основанного на синтезированных голограммах “сфокусированного” изображения, работающих совместно с объективом невысокого качества. Сформулированы и обоснованы рекомендации по выбору параметров синтеза и отображения голограмм, определяющих качество восстанавливаемых с их помощью изображений. Обоснована перспективность применения данной системы для решения проблем ультракоротковолновой фотолитографии. Установлено, что совместное использование голограммы и проекционной системы позволяет достичь предельного для оптики минимального характеристического размера элемента фотошаблона, равного длине волны восстанавливающего излучения.

 

Ключевые слова:  голография,  фотолитография,  голограмма  “сфокусированного изображения”, синтезированная голограмма.

 

Коды OCIS: 090.1760.

УДК 535.421

Поступила в редакцию 15.02.2011.

 

ЛИТЕРАТУРА

1.  Ehbets P., Herzig H., Kuittinen M., Clube F., Darbellay Y. High. Carrier-frequency fan-out gratings fabricated by total internal reflection holographic lithography // Opt. Eng.1995. V. 34. № 8. P. 2377–2383.

2.  Корешев  С.Н.,  Ратушный  В.  П.  Использование метода голографии для получения изображений двумерных  объектов при решении задач фотолитографии высокого разрешения  // Оптический журнал. 2004. Т. 71. № 10. С. 32–39.

3.  Корешев  С.Н.,  Ратушный  В.П. Голограммы сфокусированного изображения в задаче высокоразрешающей проекционной голографической фотолитографии // Опт. и спектр. 2006. Т. 101. № 6. С. 1038–1042.

4.  Корешев С.Н., Никаноров О.В., Козулин И.А. Выбор параметров синтеза голограмм-проекторов для фотолитографии // Оптический журнал. 2008. Т. 75. № 9. С. 29–34.

5.  Корешев С.Н., Никаноров О.В., Иванов Ю.А., Козулин И.А. Программный комплекс для синтеза и цифрового восстановления голограмм-проекторов: влияние параметров синтеза на качество восстановленного изображения // Оптический журнал. 2010. Т. 77. № 1. С. 42–48.

6.  Born M., Wolf E. Principles of optics. L.: Pergamon press, 1964. 986 p. Перевод: С.Н. Бреус, А.И. Головашкин, А.А. Шубин под ред. Г.П. Мотулевич. М.: Наука, 1973. 856 с.

7.  Родионов С.А. Автоматизация проектирования оптических систем. Л.: Машиностроение, 1982. 270 с.

 

 

Полный текст