Научно-технический
«ОПТИЧЕСКИЙ ЖУРНАЛ»
издается с 1931 года
 
   
Русский вариант сайта Английский вариант сайта
   
       
   
       
Статьи последнего выпуска

Электронные версии
выпусков начиная с 2008


Алфавитный указатель
2000-2010 гг


444
Архив оглавлений
выпусков 2002-2007 гг


Реквизиты и адреса

Вниманию авторов и рецензентов!
- Порядок публикации
- Порядок рецензирования статей
- Типовой договор
- Правила оформления
- Получение авторского вознаграждения
- Редакционная этика


Контакты

Подписка

Карта сайта




Журнал с 01.12.2015 допущен ВАК для публикации основных результатов диссертаций как издание, входящее в международные реферативные базы систем цитирования (Web Science, Scopus) (см. Vak.ed.gov.ru Перечень журналов МБД 16.03.2018г)

Аннотации (09.2019) : ОПЕРАТИВНЫЙ КОНТРОЛЬ ОПТИЧЕСКИХ ПРЕЦИЗИОННЫХ УГЛОИЗМЕРИТЕЛЬНЫХ СТРУКТУР

ОПЕРАТИВНЫЙ КОНТРОЛЬ ОПТИЧЕСКИХ ПРЕЦИЗИОННЫХ УГЛОИЗМЕРИТЕЛЬНЫХ СТРУКТУР

© 2019 г.       А. В. Кирьянов, канд. техн. наук; А. А. Зотов; А. Г. Каракоцкий; В. П. Кирьянов, доктор техн. наук; А. Д. Петухов; В. В. Чуканов

Институт автоматики и электрометрии Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск

E-mail: alexey@iae.nsk.su

УДК 53.087.92 + 681.7.064.64

Поступила в редакцию 12.03.2019

DOI:10.17586/1023-5086-2019-86-09-60-62

Показано, что в условиях промышленного производства при реализации 100%-го входного контроля метрологических характеристик прецизионных оптических углоизмерительных структур (круговых шкал, растров и многоразрядных кодовых дисков) перспективно применение дифференциального метода измерений. Приведен пример использования этого метода в автоматизированной установке для измерения и диагностики повреждений топологии рабочих образцов и фотошаблонов углоизмерительных структур.

Ключевые слова: углоизмерительная структура, топология элемента, угловая погрешность, круговая измерительно-диагностическая установка.

Коды OCIS: 230.4000, 230.0250, 230.0040, 120.5475

 

Литература

1.         Абрамов Ю.Ф., Кирьянов В.П., Кирьянов А.В., Кокарев С.А., Кручинин Д.Ю., Яковлев О.Б. Модернизация оптического делительного производства Уральского оптико-механического завода на основе современных лазерно-компьютерных и фотолитографических технологий // Оптический журнал. 2006. Т. 73. № 8. C. 61–65.

2.         Яхилевич Б.Ц., Фомкин Ю.В. Устройство для контроля дорожек лимбов угломерных приборов // А. с. № 1689756. Бюл. изобр. 1991. № 41. С. 65.

3.         Бакулин С.И. Способ и устройство измерения углов и формирования угловых меток // А. с. № 2115885. Бюл. изобр. 1998. № 45. С. 34.

4.        Кирьянов А.В., Кирьянов В.П., Волохов И.В., Бобков А.В. Использование метода кругового сканирования для формирования и контроля топологии прецизионных фотошаблонов интегральных датчиков физических величин // Оптический журнал. 2016. Т. 82. № 7. С. 26–31.

5.         Portman V., Peschansky B. Phase-statistical method and device for high precision and high efficiency angular measurements // Precision Eng. 2001. V. 25. № 4. P. 309–315.

6.        Кирьянов А.В., Кирьянов В.П., Чуканов В.В. Использование дифференциального метода измерений для контроля точности прецизионных углоизмерительных структур // Автометрия. 2016. Т. 52. № 4. С. 45–52.

 

 

Полный текст