© 2010 г. М. А. Абдулкадыров*, канд. техн. наук; Н. В. Барышников**, канд. техн. наук; Д. Г. Денисов**; И. В. Животовский**, канд. техн. наук; В. Е. Карасик**, доктор техн. наук; А. П. Семенов*, канд. техн. наук; Ю. А. Шаров*
** ОАО “Лыткаринский завод оптического стекла”, г. Лыткарино, Московская обл.
** Московский государственный технический университет им. Н.Э. Баумана, Москва
** E-mail: lastro@mtsmail.ru
Разработан неравноплечий интерферометр Тваймана–Грина с рабочей длиной волны излучения 10,6 мкм, позволяющий помимо контроля формы измерять параметры микрорельефа контролируемых шлифованных оптических поверхностей, по контрасту изображения регистрируемых интерференционных картин. Получено аналитическое выражение, связывающее значение контраста с основной характеристикой микронеровностей – среднеквадратическим отклонением высот микропрофиля шероховатых поверхностей. Представлен результат погрешности измерения формы контролируемой оптической поверхности в процессе ее формообразования, по данным топографической карты, полученной на основании регистрируемого изображения интерференционной картины. Приведены основные технические характеристики системы интерферометрического контроля.
Ключевые слова: телескопы, обработка оптики, оптический контроль, асферика, ИК-интерферометры.
Коды OCIS: 220.0220, 220.0230, 220.4610, 350.1260
УДК 535-15: 535.4: 681.7.02-04:681.787
Поступила в редакцию 04.05.2010
ЛИТЕРАТУРА
1. Abdulkadyrov M.A., Belousov S.P., Ignatov A.N., Patrikeev V.E., Pridnya V.V., Polyanchikov A.V., Rumyantsev V.V., Samuylov A.V., Semenov A.P., Sharov Y.A. Manufacturing of primary mirrors from Sitall CO-115M for European projects TTL, NOA and VST // Proc. SPIE. 2001. V. 4451. P. 131–137.
2. Abdulkadyrov M.A., Ignatov A.N., Patrikeev V.E., Pridnya V.V., Polyanchikov F.V., Semenov A.P., Sharov Y.A., Atad-Ettengui E., Egan I., Bennet R.J., Craig S.C. M1 and M2 mirrors manufacturing for VISTA telescope // Proc. SPIE. 2004. V. 5494. P. 374–381.
3. Басс Ф.Г., Фукс И.И. Рассеяние волн на статистической неровной поверхности. М.: Наука, 1972. 424 c.
4. Рытов С.М. Введение в статистическую радиофизику. М.: Наука. Часть II. Случайные поля. 1966. 404 с.
5. Osuk Kwon, Wyant J.C., Hayslett C.R. Rough surface interferometry at 10,6 mμ // Appl. Opt. 1980. V. 19. № 11/1.
6. Sinha J.K., Tippur H.V. Infrared interferometry for rough surface measurements: application to failure characterization and flaw detection // Opt. Eng. 1997. V. 36. № 8. P. 2233–2239.
Полный текст
