Научно-технический
«ОПТИЧЕСКИЙ ЖУРНАЛ»
издается с 1931 года
 
   
Русский вариант сайта Английский вариант сайта
   
       
   
       
Статьи последнего выпуска

Электронные версии
выпусков начиная с 2008


Алфавитный указатель
2000-2010 гг


444
Архив оглавлений
выпусков 2002-2007 гг


Реквизиты и адреса

Вниманию авторов и рецензентов!
- Порядок публикации
- Порядок рецензирования статей
- Типовой договор
- Правила оформления
- Получение авторского вознаграждения
- Редакционная этика


Контакты

Подписка

Карта сайта




Журнал с 01.12.2015 допущен ВАК для публикации основных результатов диссертаций как издание, входящее в международные реферативные базы систем цитирования (Web Science, Scopus) (см. Vak.ed.gov.ru Перечень журналов МБД 16.03.2018г)

УВАЖАЕМЫЕ ПОДПИСЧИКИ НАШЕГО ЖУРНАЛА!
По техническим причинам «Оптический журнал» не попал в каталог агентства «Роспечать» на II полугодие 2018 г., что делает невозможной подписку на него на почте. Предлагаем оформить подписку на II полугодие 2018 в редакции журнала удобным Вам способом. Стоимость подписки на полугодие сохраняется (6600 руб.).
На первое полугодие 2019 и далее подписка будет проводится в ранее существовавшем порядке через "Роспечать", "УралПресс" и другие агенства печати.

Связаться с нами можно по т. (812) 315-05-48, Е-mail: beditor@soi.spb.ru

ИНВАРИАНТНОСТЬ РЕЗУЛЬТАТОВ ИЗМЕРЕНИЙ К НЕИДЕАЛЬНОСТЯМ ПРОЗРАЧНЫХ НОСИТЕЛЕЙ ПРИ КОНТРОЛЕ ТОЧНОСТИ УГЛОИЗМЕРИТЕЛЬНЫХ СТРУКТУР

 

© 2018 г.       А. В. Кирьянов, канд. техн. наук; В. П. Кирьянов, доктор техн. наук

Институт автоматики и электрометрии СО РАН, Новосибирск

E-mail: kiryanov@iae.nsk.su

УДК 53.087.92 + 681.7.064.64

Поступила в редакцию 28.05.2018

Рассмотрены особенности контроля погрешности формирования топологии угловых лимбов, растров или многоразрядных кодовых дисков. Показано, что при контроле точности изготовления этих изделий в режиме «на просвет» существующие углоизмерительные машины подвержены возмущающему воздействию со стороны неидеальностей прозрачных носителей объекта контроля. В статье рассмотрена возможность использования повторного прохождения зондирующего луча через прозрачный носитель, позволяющая реализовать процесс измерений, инвариантный к неидеальностям оптической подложки.

Ключевые слова: углоизмерительная структура, топология элемента, угловая погрешность, углоизмерительная машина.

Коды OCIS: 230.4000, 230.0250, 230.0040, 120.5475

 

DOI:10.17586/1023-5086-2018-85-10-43-49

 

 

ЛИТЕРАТУРА

1.         Абрамов Ю.Ф., Кирьянов В.П., Кирьянов А.В., Кокарев С.А., Кручинин Д.Ю., Яковлев О.Б. Модернизация оптического делительного производства Уральского оптико-механического завода на основе современных лазерно-компьютерных и фотолитографических технологий // Оптический журнал. 2006. Т. 73. № 8. C. 61–65.

2.         Кручинин Д.Ю., Яковлев О.Б., Андронов М.П. Исследование влияния условий синтеза круговых оптических шкал, изготовленных с использованием лазерного генератора изображений CLWS-300, на их угловые погрешности // Оптический журнал. 2013. Т. 79. № 7. C. 41–44.

3.         Bartik S.A., Frizin S.E., Kiraynov A.V., Kiraynov V.P., Kokarev S.A., Kruchinin D.Yu., Nikitin V.G., Yakovlev O.B. Development of technique for the determination of metrological parameters of technological system CLWS-300/C for synthesis of high precision angular measuring structures // 10-th IMEKO TC-7 International Sumposium, Saint-Petersburg, 2004. V. 2. P. 316–320.

4.         Кирьянов А.В., Кирьянов В.П., Волохов И.В., Бобков А.В. Использование метода кругового сканирования для формирования и контроля топологии прецизионных фотошаблонов интегральных датчиков физических величин // Оптический журнал. 2016. Т. 82. № 7. С. 26–31.

5.         Кирьянов А.В. Снижение погрешности формирования прецизионных углоизмерительных структур // Автореф. канд. дис. Новосибирск: КТИ НП СО РАН, 2008. 20 с.

6.         Кирьянов В.П., Кирьянов А.В., Кручинин Д.Ю., Яковлев О.Б. Анализ современных технологий синтеза углоизмерительных структур для высокоточных угловых измерений // Оптический журнал. 2007. Т. 74. № 12. С. 40–49.

7.         Portman V., Peschansky B. Phase-statistical method and device for high precision and high efficiency angular measurements // Precision Engineering. 2001. V. 25. P. 309–315.

8.        Kiryanov V.P. Phase-statiatical method in high-precision angle measuring technologies: speсial features of use // ACIT 2010: Proceedings of the IASTED International Conferences on Automation, Control, and Information Technology, 2010. P. 296–299.

9.         Kiryanov V.P., Kiryanov A.V., Kokarev S.A., Nikitin V.G., Vedernikov V.M. Determination of metrological performance technology for forming the precision angular measuring structures using laser image generators with circular scanning. Proceeding of the 2-nd International Symposium Mechanical Measurements. Beijing. China. 2004. P. 129–133.

10.       Алексеев А.В., Кабанов М.В., Куштин М.Ф. Оптическая рефракция в земной атмосфере. Новосибирск, 1982, 180 с.

11.       Kирьянов В.П., Kирьянов A.В. Способ измерения точности изготовления углоизмерительных структур, нанесённых на прозрачный носитель // Патент России № 2242715. 2003.

 

 

Полный текст