УВАЖАЕМЫЕ ПОДПИСЧИКИ НАШЕГО ЖУРНАЛА!
По техническим причинам «Оптический журнал» не попал в каталог агентства «Роспечать» на II полугодие 2018 г., что делает невозможной подписку на него на почте. Предлагаем оформить подписку на II полугодие 2018 в редакции журнала удобным Вам способом. Стоимость подписки на полугодие сохраняется (6600 руб.).
На первое полугодие 2019 и далее подписка будет проводится в ранее существовавшем порядке через "Роспечать", "УралПресс" и другие агенства печати.
Связаться с нами можно по т. (812) 315-05-48, Е-mail: beditor@soi.spb.ru

Аннотации (11.2011) : ОПРЕДЕЛЕНИЕ ТОПОГРАФИИ ДВУЛУЧЕПРЕЛОМЛЕНИЯ В КРИСТАЛЛАХ ФЛЮОРИТА И ИССЛЕДОВАНИЕ ЕГО ВЛИЯНИЯ НА КАЧЕСТВО ИЗОБРАЖЕНИЯ ПРОЕКЦИОННЫХ ФОТОЛИТОГРАФИЧЕСКИХ СИСТЕМ

ОПРЕДЕЛЕНИЕ ТОПОГРАФИИ ДВУЛУЧЕПРЕЛОМЛЕНИЯ В КРИСТАЛЛАХ ФЛЮОРИТА И ИССЛЕДОВАНИЕ ЕГО ВЛИЯНИЯ НА КАЧЕСТВО ИЗОБРАЖЕНИЯ ПРОЕКЦИОННЫХ ФОТОЛИТОГРАФИЧЕСКИХ СИСТЕМ

НПК “Государственный оптический институт им. С.И. Вавилова”, Санкт-Петербург

Е-mail: mikhail.gan@gmail.com; katerina.nikulina@gmail.com

Рассмотрена установка для измерения характеристик остаточного двулучепреломления крупногабаритных оптических кристаллов флюорита методом скрещенных поляроидов. Приведена математическая модель предложенного метода. Анализируется функция рассеяния точки, описывающая влияние двулучепреломления на качество изображения.

Ключевые слова: двулучепреломление, поляризация, аберрации, функция рассеяния точки.

Коды OCIS: 110.2960, 110.3000, 220.4840

УДК 681.7.055.4

Поступила в редакцию 09.03.2011

ЛИТЕРАТУРА

* * * * *

1. Борн М., Вольф Э. Основы оптики // М.: Наука, 1973. 720 с.

2. Шубников А.В. Оптическая кристаллография // М.: Изд-во АН СССР, 1950. 237 с.

3. Шерклифф У. Поляризованный свет // М.: Мир, 1965. 163 с.

4. Аззам Р., Башара Н. Эллипсометрия и поляризованный свет // М.: Мир, 1981. 39 с.

5. Ган М.А., Устинов С.И. Моделирование на ЭВМ двумерных изображений тест-объектов с учетом реальных аберраций оптических систем // Труды ГОИ. 1982. Т. 51. В. 185. 28 с.

Полный текст