© 2012 г. С. Н. Корешев, доктор техн. наук; О. В. Никаноров, канд. техн. наук; А. Д. Громов, студент
Санкт-Петербургский национальный исследовательский университет информационных
технологий, механики и оптики, Санкт-Петербург
Е-mail: nikanorovov@gmail.com
Предложен метод синтеза голограмм-проекторов Френеля, основанный на раз-
биении структуры объекта на типовые элементы. В качестве одного из основных
достоинств предложения отмечается обеспечиваемая этим методом возможность су-
щественного сокращения объема требуемых вычислений. Описан программный ком-
плекс синтеза и восстановления голограмм-проекторов Френеля, реализующий этот
метод. Приведены результаты экспериментального исследования комплекса, выпол-
ненные в процессе сравнительного анализа предложенного и традиционного методов
синтеза голограмм-проекторов.
Ключевые слова: голографическая проекционная фотолитография, голограмма-
проектор Френеля, синтез голограмм-проекторов, цифровое восстановление голо-
грамм, фазовая голограмма, диффузная подсветка, фазовый сдвиг.
Коды OCIS: 090.1760.
УДК 535.417, 778.38
Поступила в редакцию 25.07.2012.
ЛИТЕРАТУРА
1. Корешев С.Н., Ратушный В.П. Использование метода голографии для получения изображений двумерных
объектов при решении задач фотолитографии высокого разрешения // Оптический журнал. 2004. Т. 71.
№ 10. С. 32–39.
2. Koreshev S.N., Ratushnyi V.P. Holographic method for obtaining images with limiting high resolution for ex-
treme shot-wave lithography problems // Proc. SPIE. 2004. V. 5290. P. 221–232.
3. Clube F., Gray S., Struchen D., Tisserand J., Malfoy S., Darbellay Y. Holographic microlithography // Opt. Eng.
1995. V. 34. № 9. P. 2724–2730.
4. Корешев С.Н., Ратушный В.П. Голограммы сфокусированного изображения в задаче высокоразрешающей
проекционной голографической фотолитографии // Опт. и спектр. 2006. Т. 101. № 6. С. 1038–1042.
5. Jacobsen C., Howells M. Projection x-ray lithography using computer-generated holograms: A study of compat-
ibility with proximity lithography // J. Appl. Phys. 1992. V. 71. P. 2993–3001.
6. Naullenau P.P., Salmassi F., Cullikson E.M., Liddle J.A. Design and fabrication of a high-efficiency extreme-
ultraviolet binary phase-only computer-generated hologram // Appl. Optics. 2007. V. 46. № 14. P. 2581–2585.
7. Корешев С.Н., Никаноров О.В., Ратушный В.П. Восстановление синтезированных голограмм-проекто-
ров Френеля при углах падения восстанавливающей волны, превышающих угол падения опорной волны
при синтезе голограммы // Опт. и спектр. 2011. Т. 111. № 1. С. 156–161.
8. Корешев С.Н., Никаноров О.В., Иванов Ю.А., Козулин И.А. Программный комплекс для синтеза и циф-
рового восстановления голограмм-проекторов: влияние параметров синтеза на качество восстановленного
изображения // Оптический журнал. 2010. Т. 77. № 1. С. 42–48.
9. Shimobaba T., Nakayama H., Masuda N., Ito T. Rapid calculation algorithm of Fresnel computer-generated-
hologram using look-up table and wavefront-recording plane methods for three-dimensional display // OPTICS
EXPRESS. 2010. V. 18. № 19. P. 19504–19509.
10. Lucente M. Interactive Computation of holograms using a “Look-up Table” // J. Electron. Imaging. 1993. № 2.
Р. 28–34.
11. Kim S.C., Kim E.S. Effective generation of digital holograms of three- dimensional objects using a novel “look-
up table method” // Appl. Opt. 2008. V. 47. № 19. Р. D55–D62.
12. Kim S.C., Kim E.S. Fast computation of hologram patterns of a 3D object using run-length encoding and novel
look-up table methods // Appl. Opt. 2009. V. 48. № 6. Р. 1030–1041.
13. Корешев С.Н., Никаноров О.В., Козулин И.А. Выбор параметров синтеза голограмм-проекторов для фото-
литографии // Оптический журнал. 2008. Т. 75. № 9. С. 29–34.
Полный текст
