Научно-технический
«ОПТИЧЕСКИЙ ЖУРНАЛ»
издается с 1931 года
 
   
Русский вариант сайта Английский вариант сайта
   
       
   
       
Статьи последнего выпуска

Электронные версии
выпусков начиная с 2008


Алфавитный указатель
2000-2010 гг


444
Архив оглавлений
выпусков 2002-2007 гг


Реквизиты и адреса

Вниманию авторов и рецензентов!
- Порядок публикации
- Порядок рецензирования статей
- Типовой договор
- Правила оформления
- Получение авторского вознаграждения


Контакты

Подписка

Карта сайта





Журнал с 19.02.2010 входит в новый «Перечень ведущих рецензируемых научных журналов и изданий, в которых должны быть опубликованы основные научные результаты диссертации на соискание ученой степени доктора и кандидата наук»
Аннотации (12.2012) : МЕТОД СИНТЕЗА ГОЛОГРАММ-ПРОЕКТОРОВ, ОСНОВАННЫЙ НА РАЗБИЕНИИ СТРУКТУРЫ ОБЪЕКТА НА ТИПОВЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ, И ПРОГРАММНЫЙ КОМПЛЕКС ДЛЯ ЕГО РЕАЛИЗАЦИИ

МЕТОД СИНТЕЗА ГОЛОГРАММ-ПРОЕКТОРОВ, ОСНОВАННЫЙ НА РАЗБИЕНИИ СТРУКТУРЫ ОБЪЕКТА НА ТИПОВЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ, И ПРОГРАММНЫЙ КОМПЛЕКС ДЛЯ ЕГО РЕАЛИЗАЦИИ

 

© 2012 г.    С. Н. Корешев, доктор техн. наук; О. В. Никаноров, канд. техн. наук; А. Д. Громов, студент

 

Санкт-Петербургский национальный исследовательский университет информационных

технологий, механики и оптики, Санкт-Петербург

Е-mail: nikanorovov@gmail.com

Предложен  метод  синтеза  голограмм-проекторов  Френеля,  основанный  на  раз-

биении  структуры  объекта  на  типовые  элементы.  В  качестве  одного  из  основных

достоинств предложения отмечается обеспечиваемая этим методом возможность су-

щественного сокращения объема требуемых вычислений. Описан программный ком-

плекс синтеза и восстановления голограмм-проекторов Френеля, реализующий этот

метод. Приведены результаты экспериментального исследования комплекса, выпол-

ненные в процессе сравнительного анализа предложенного и традиционного методов

синтеза голограмм-проекторов.

Ключевые слова: голографическая проекционная фотолитография, голограмма-

проектор  Френеля,  синтез  голограмм-проекторов,  цифровое  восстановление  голо-

грамм, фазовая голограмма, диффузная подсветка, фазовый сдвиг.

Коды OCIS: 090.1760.

УДК 535.417, 778.38

Поступила в редакцию 25.07.2012.

ЛИТЕРАТУРА

1. Корешев С.Н., Ратушный В.П. Использование метода голографии для получения изображений двумерных

объектов при решении задач фотолитографии высокого разрешения // Оптический журнал. 2004. Т. 71.

№ 10. С. 32–39.

2. Koreshev S.N., Ratushnyi V.P. Holographic method for obtaining images with limiting high resolution for ex-

treme shot-wave lithography problems // Proc. SPIE. 2004. V. 5290. P. 221–232.

3. Clube F., Gray S., Struchen D., Tisserand J., Malfoy S., Darbellay Y. Holographic microlithography // Opt. Eng.

1995. V. 34. № 9. P. 2724–2730.

4. Корешев С.Н., Ратушный В.П. Голограммы сфокусированного изображения в задаче высокоразрешающей

проекционной голографической фотолитографии // Опт. и спектр. 2006. Т. 101. № 6. С. 1038–1042.

5. Jacobsen C., Howells M. Projection x-ray lithography using computer-generated holograms: A study of compat-

ibility with proximity lithography // J. Appl. Phys. 1992. V. 71. P. 2993–3001.

6. Naullenau P.P., Salmassi F., Cullikson E.M., Liddle J.A. Design and fabrication of a high-efficiency extreme-

ultraviolet binary phase-only computer-generated hologram // Appl. Optics. 2007. V. 46. № 14. P. 2581–2585.

7. Корешев  С.Н.,  Никаноров  О.В.,  Ратушный  В.П.  Восстановление  синтезированных  голограмм-проекто-

ров Френеля при углах падения восстанавливающей волны, превышающих угол падения опорной волны

при синтезе голограммы // Опт. и спектр. 2011. Т. 111. № 1. С. 156–161.

8. Корешев  С.Н.,  Никаноров  О.В.,  Иванов  Ю.А.,  Козулин  И.А.  Программный  комплекс  для  синтеза  и  циф-

рового восстановления голограмм-проекторов: влияние параметров синтеза на качество восстановленного

изображения // Оптический журнал. 2010. Т. 77. № 1. С. 42–48.

9. Shimobaba T., Nakayama H., Masuda N., Ito T. Rapid calculation algorithm of Fresnel computer-generated-

hologram using look-up table and wavefront-recording plane methods for three-dimensional display // OPTICS

EXPRESS. 2010. V. 18. № 19. P. 19504–19509.

10. Lucente M. Interactive Computation of holograms using a “Look-up Table” // J. Electron. Imaging. 1993. № 2.

Р. 28–34.

11. Kim S.C., Kim E.S. Effective generation of digital holograms of three- dimensional objects using a novel “look-

up table method” // Appl. Opt. 2008. V. 47. № 19. Р. D55–D62.

12. Kim S.C., Kim E.S. Fast computation of hologram patterns of a 3D object using run-length encoding and novel

look-up table methods // Appl. Opt. 2009. V. 48. № 6. Р. 1030–1041.

13. Корешев С.Н., Никаноров О.В., Козулин И.А. Выбор параметров синтеза голограмм-проекторов для фото-

литографии // Оптический журнал. 2008. Т. 75. № 9. С. 29–34.

 

 

Полный текст