Научно-технический
«ОПТИЧЕСКИЙ ЖУРНАЛ»
издается с 1931 года
 
   
Русский вариант сайта Английский вариант сайта
   
       
   
       
Статьи последнего выпуска

Электронные версии
выпусков начиная с 2008


Алфавитный указатель
2000-2010 гг


444
Архив оглавлений
выпусков 2002-2007 гг


Реквизиты и адреса

Вниманию авторов и рецензентов!
- Порядок публикации
- Порядок рецензирования статей
- Типовой договор
- Правила оформления
- Получение авторского вознаграждения


Контакты

Подписка

Карта сайта





Журнал с 19.02.2010 входит в новый «Перечень ведущих рецензируемых научных журналов и изданий, в которых должны быть опубликованы основные научные результаты диссертации на соискание ученой степени доктора и кандидата наук»
Аннотации (12.2012) : КАЧЕСТВО ОПТИЧЕСКОЙ ПОВЕРХНОСТИ, ОБРАБОТАННОЙ С ПРИМЕНЕНИЕМ ПОЛИУРЕТАНА

КАЧЕСТВО ОПТИЧЕСКОЙ ПОВЕРХНОСТИ, ОБРАБОТАННОЙ С ПРИМЕНЕНИЕМ ПОЛИУРЕТАНА

 

© 2012 г.    Г. Н. Вишняков, доктор техн. наук; И. Ю. Цельмина

 

Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений, Москва

Е-mail: tselmina@mail.ru

В  работе  приведены  результаты  исследования  качества  оптической  поверхно-

сти деталей, обработанных с применением полиуретанов трех видов на этапе поли-

рования  методом  многодетальной  обработки.  Проведено  сравнение  с  результатами

обработки  оптических  поверхностей  деталей  по  стандартной  технологии  (на  смо-

ле). Показана эффективность данного типа полировальников для достижения наи-

меньшей шероховатости, минимального отклонения формы профиля поверхности и

местной погрешности формы поверхности. Применение полиуретанов позволяет по-

лучать детали, при обработке на блоке, с малым разбросом по параметрам PV и RMS

и увеличивает процент выхода годных изделий по оптической чистоте.

Ключевые  слова:  полиуретаны,  оптическая  поверхность,  шероховатость,  оп-

тическая чистота.

Коды OCIS: 220.5450, 240.6700, 220.4610.

УДК 53.082.54

Поступила в редакцию 28.02.2012.

ЛИТЕРАТУРА

1. Tesar A.A., Fuchs B.A. Removal Rates of Fused Silica with corium Oxide/Pitch Polishing. Proc. SPIE. 1991.

V. 1531. Р. 80–90.

2. Cumbo  M.J.  Chemo-mechanical  Interactions  in  Optical  Poling  //  Ph.D.  Dissertation.  Univ.  of  Rochester/

Rochester. NY, 1993.

3. DeGroote J.E., Jacobs S.D., Gregg L.L., Marino A.E. Quantitative characterization of optical polishing pitch //

Proc. SPIE. 2001. V. 4451. P. 209–221.

4. Berggren  R.R.,  Schmell  R.A.  Pad  polishing  for  rapid  production  of  large  flats  //  Proc.  SPIE  1997.  V.  3134.

P. 252–257.

5. Yaguo Li, Jing Hou, Qiau Xu, Jian Wang, Wei Yang, Yindio Guo, The Characteristics of Optics polished with

a polyurethane pad // OPTICS EXPRESS 10285. 2008. V. 16. № 14. Р. 7–16.

6. Cook L.M. Chemical process in glass polishing // J. Non-Crystaline Solids. 1990. V. 120. P. 152–171.

7. Lu  H.,  Fookes  B.,  Obeng  Y.,  Machinski  S.,  Richardson  K.A.  Quantitative  analysis  of  physical  and  chemical

changes in CMP polyurethane pad surfaces // Materials Characterizaton. 2002. V. 49. P. 35–44.

8. Kamimura  T.,  Akamatsu  S.,  Yamamoto  M.,  Yamato  I.,  Shiba  H.,  Motokoshi  S.,  Sakamoto  T.,  Okamoto  T.,

Yoshida K. Enhancement of Surface-damage Resistance by Removihg a Subsurface Damage in Fused Silica //

Proc. SPIE. 2004. V. 5273. P. 244–249.

9. Ramanathan  L.S.,  Sivam  S.,  Mishrarа  M.K.  “Poliurethane”  //  In  Polymer  Data  Handbook.  J.E.  Mark,  ed.

Oxford Univ. Press, 1999.

 

 

Полный текст