Научно-технический
«ОПТИЧЕСКИЙ ЖУРНАЛ»
издается с 1931 года
 
   
Русский вариант сайта Английский вариант сайта
   
       
   
       
Статьи последнего выпуска

Электронные версии
выпусков начиная с 2008


Алфавитный указатель
2000-2010 гг


444
Архив оглавлений
выпусков 2002-2007 гг


Реквизиты и адреса

Вниманию авторов и рецензентов!
- Порядок публикации
- Порядок рецензирования статей
- Типовой договор
- Правила оформления
- Получение авторского вознаграждения
- Редакционная этика


Контакты

Подписка

Карта сайта




Журнал с 01.12.2015 допущен ВАК для публикации основных результатов диссертаций как издание, входящее в международные реферативные базы систем цитирования (Web Science, Scopus) (см. Vak.ed.gov.ru Перечень журналов МБД 16.03.2018г)

Исследование и применение оптических плёнок оксида алюминия Al2O3 в ультрафиолетовом диапазоне спектра

DOI: 10.17586/1023-5086-2022-89-12-82-89

УДК 535.015; 535.32

Евгений Николаевич Котликов1*, Наталья Павловна Лавровская2*, Тихомир Колев Тенев3, Илко Кирилов Милушев4

1, 2Санкт-Петербургский государственный университет аэрокосмического приборостроения, Санкт-Петербург, Россия

3, 4Институт физики твёрдого тела Болгарской академии наук, София, Болгария

1ekotlikov45@mail.ru   https://orcid.org/0000-0003-1799-944X

2adele1993@mail.ru      https://orcid.org/0000-0002-2317-8181

3tihomirtenev@abv.bg  https://orcid.org/0000-0002-4011-7540

4miloushev@issp.bas.bg    https://orcid.org/0000-0002-9641-2151

Аннотация

Предмет исследования. Приведены результаты исследования оптических плёнок оксида алюминия Al2O3 на подложке из кварца в ультрафиолетовом и видимом диапазонах спектра. Цель работы. Оптические константы плёнок определялись спектрофотометрическим методом по спектрам отражения и пропускания. Метод. Для этого использована оригинальная методика коррекции спектров плёнок с учётом поглощения. Основные результаты. По свободным от поглощения спектрам в диапазоне 0,20–0,85 мкм определены показатели преломления, а по спектрам поглощения — коэффициенты экстинкции плёнок. Практическая значимость. Полученные константы использованы для синтеза и изготовления высокоотражающих зеркал в ультрафиолетовой области спектра в диапазоне 0,22–0,23 мкм.

Ключевые слова: оптические плёнки, спектры, отражение, пропускание, поглощение, показатель преломления, коэффициент экстинкции, синтез, зеркала в ультрафиолетовой области спектра

Благодарность: работа выполнена по гранту № КП-06-Н57/5 от 16.11.2021 г. при финансовой поддержке Болгарской Академии наук и гранту МНиВО Российской Федерации № FSFR-2020-0004.

Ссылка для цитирования: Котликов Е.Н., Лавровская Н.П., Тихомир Колев Тенев, Илко Кирилов Милушев. Исследование и применение оптических плёнок оксида алюминия Al2O3 в ультрафиолетовом диапазоне спектра // Оптический журнал. 2022. Т. 89. № 12. С. 82–89. http://doi.org/10.17586/1023-5086-2022-89-12-82-89

Коды OCIS: 120.01 20; 300.0300; 310.0310.

 

Список источников

1.    Крылова Т.Н. Интерференционные покрытия. Л.: Машиностроение, 1973. 224 с.

2.   Середин П.В., Голощапов Д.Л., Лукин А.Н., Бондарев А.Д., Арсентьев И.Н., Растегаева М.Г., Тарасов И.С.  Оптические устройства ультратонких плёнок Al2O3 на подложках GaAs (100) // Конденсированные среды и межфазные границы. 2014. Т. 16. № 2. С. 196–200.

3.   Тропин А.Н. Пленкообразующие материалы для тонкослойных оптических покрытий: новые задачи и перспективы (обзор) // Успехи прикладной физики. 2016. Т. 4. № 2. С. 206–211.

4.   Воронкова Е.М., Гречушников Б.Н., Дистлер Г.И., Петров И.П. Оптические материалы для инфракрасной техники. М.: Наука, 1965. 336 с.

5.   Marvin J. Weber. Handbook of optical materials. NY: CRC Press, 2003. 499 p.

6.   Борн М., Вольф Э. Основы оптики. М.: Наука, 1973. 720 с.

7.    Gao L., Lemarchand F., Lequime M. Comparison of different dispersion models for single layer optical thin film index determination // Thin Solid Films. 2011. № 520. Р. 501–509.

8.   Моргунов Р.Б., Коплак О.В., Дмитрием А.В. Физико-химические методы исследования. М.: ЕАОИ, 2013. 394 с.

9.   Котликов Е.Н., Юрковец Е.В. Метод определения оптических констант поглощающих пленок. Подложки без поглощения // Оптический журнал. 2018. Т. 85. № 1. С. 59–64.

       Kotlikov E.N., Yurkovets E.V. Method of determining the optical constants of absorbing films: substrates with no absorption // Journal of Optical Technology. 2018. V. 85. Iss. 1. P. 48–52. https://doi.org/10.1364/JOT.85.000651.

10. Котликов Е.Н., Коваленко И.И., Новикова Ю.А. Программа синтеза и анализа интерференционных покрытий FilmManager // Информационно-управляющие системы. 2015. № 3(76). С. 51–59.

11.  Васильев Ф.П. Численные методы решения экстремальных задач. М.: Наука, 1980. 520 с.

12.  Котликов Е.Н. Спектрофотометрический метод определения оптических констант материалов // Оптический журнал. 2016. Т. 83. № 2. С. 1–5.

       Kotlikov E.N. A spectrophotometric method for determination of the optical constants of materials // Journal of Optical Technology. 2016. V. 83. Iss. 2. P. 77–80. https://doi.org/10.1364/JOT.83.000077.

13.  Золотарев В.М., Морозов В.Н., Смирнова Е.В. Оптические постоянные природных и технических средств. Справочник. Л.: Химия, 1984. 216 с.

14.  Котликов Е.Н., Котликов А.Н., Юрковец Е.В. Программное обеспечение для нахождения оптических констант пленок. Моделирование и ситуационное управление качеством сложных систем // Сб. докладов научной сессии ГУАП. С. Петербург, ГУАП. 2016. С. 253–257.

15.  Котликов Е.Н., Юрковец Е.В. Анализ возможности применения численных методов для определения оптических констант пленок // Сб. докладов IV конференции по фотонике и информационной оптике. М.: МИФИ, 2015. С. 346–347.

16.  Окатов М.А., Антонов М.Э., Байгожин А. и др. Справочник технолога-оптика. СПб.: Политехника, 2004. 679 с.

17.       Мутилин С.В., Хасанов Т. Показатель преломления тонкой однородной пленки SiO2 // Оптика и спектроскопия. 2008. Т. 105. № 3. С. 505–510.

 



 
Назад 1 2 3 4 5 6 7 8 9 Далее