Научно-технический
«ОПТИЧЕСКИЙ ЖУРНАЛ»
издается с 1931 года
 
   
Русский вариант сайта Английский вариант сайта
   
       
   
       
Статьи последнего выпуска

Электронные версии
выпусков начиная с 2008


Алфавитный указатель
2000-2010 гг


444
Архив оглавлений
выпусков 2002-2007 гг


Реквизиты и адреса

Вниманию авторов и рецензентов!
- Порядок публикации
- Порядок рецензирования статей
- Типовой договор
- Правила оформления
- Получение авторского вознаграждения
- Редакционная этика


Контакты

Подписка

Карта сайта




Журнал с 01.12.2015 допущен ВАК для публикации основных результатов диссертаций как издание, входящее в международные реферативные базы систем цитирования (Web Science, Scopus) (см. Vak.ed.gov.ru Перечень журналов МБД 16.03.2018г)

Аннотации (02.2015) : ИССЛЕДОВАНИЕ ОПТИЧЕСКИХ СВОЙСТВ СЛОЁВ ЦИРКОНАТ-ТИТАНАТА СВИНЦА, ПОЛУЧАЕМЫХ МЕТОДОМ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ

ИССЛЕДОВАНИЕ ОПТИЧЕСКИХ СВОЙСТВ СЛОЁВ ЦИРКОНАТ-ТИТАНАТА СВИНЦА, ПОЛУЧАЕМЫХ МЕТОДОМ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ

 

© 2015 г.     Р. К. Мавлянов, канд. физ.-мат. наук; А. Я. Виноградов, канд. физ.-мат. наук; В. А. Толмачёв, канд. хим. наук

Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, Санкт-Петербург

Е-mail: tva@mail.ioffe.ru

Исследованы плёнки цирконат-титаната свинца, предназначенные для использования в сегнетоэлектрической структуре в качестве активного и адгезионого слоёв. Слои получены с помощью магнетронного распыления на подложках из кремния, покрытого платиной, а для определения их оптических характеристик применена спектральная эллипсометрия. Эллипсометрические углы были измерены в диапазоне длин волн 250―900 нм и путём подгонки на основе двух оптических моделей слоёв были определены толщины (213 и 54 нм) и дисперсия оптических констант (показатели преломления и поглощения).

Ключевые слова: дисперсия оптических констант, магнетронное распыление, спектральная эллипсометрия, цирконат-титанат свинца.

Коды OCIS: 310.6860, 240.2130

УДК 535.39

Поступила в редакцию 03.07.2014

 

ЛИТЕРАТУРА

1.         Воротилов К.А., Сигов А.С. Сегнетоэлектрические запоминающие устройства // Физика твердого тела. 2012. Т. 54. В. 5. С. 843–848.

2.         Setter N., Damjanovic D., Eng L., Fox G., Gevorgian S., Hong S., Kingon A., Kohlstedt H., Park N.Y., Stephenson G.B., Stolitchnov I., Taganstev A.K., Taylor D.V., Yamada T., Streiffer S. Ferroelectric thin films: Review of materials, properties, and applications // Appl. Phys. 2006. V. 100. P. 051606.

3.         Васильев А.А., Соколов А.В., Баранов А.М. Способ нанесения платиновых слоев на подложку // Патент России № 2426193. 2010.

4.        Афанасьев П.В., Афанасьев В.П., Грехов И.В., Делимова Л.А., Крамар Г.П., Машовец Д.В., Петров А.А. Сегнетоэлектрический элемент для запоминающего устройства с оптическим считыванием информации // Патент России № 2338284. 2007.

5.         Вольпяс В.А., Козырев А.Б. Способ осаждения тонких пленок сегнетоэлектриков на основе сложных оксидов методом ионно-плазменного распыления // Патент России № 2434078. 2009.

6.        Виноградов А.Я., Мавлянов Р.К., Калинин Д.А. Подложка для нанесения тонкопленочных сегнетоэлектрических гетероструктур // Патент России на полезную модель № 131234. 2013. http://bankpatentov.ru/node/381884

7.         Аззам Р., Башара Н. Эллипсометрия и поляризованный свет. М.: Мир, 1981. 583 c.

Azzam R.M.A. and Bashara N.M. Ellipsometry and Polarized Light. Amsterdam – New York – Oxford: North-Holland Publishing Company, 1977. 529 p.

8.        Handbook of Optical Constants of Solids / Ed. by Palik E.D. N.Y.: Academic Press, 1985. 804 p.

9.        Швец В.А., Спесивцев Е.В., Рыхлицкий С.В., Михайлов Н.Н. Эллипсометрия – прецизионный метод контроля тонкопленочных структур с субнанометровым разрешением // Российские нанотехнологии. 2009. Т. 4. № 3–4. С. 201–214.

10.       Moreta M.P., Devillers M.A.C., Worhoff K., Larsen P.K. Optical properties of PbTiO3, PbZrxTi1–xO3, and PbZrO3 films deposited by metalorganic chemical vapor on SrTiO3 // Appl. Phys. 2002. V. 92. № 1. Р. 468–474.

11.       Bruggeman D.A.G. Berechnung Verschiedener Physikalischer Konstanten von Heterogenen Substanzen. I. Dielektrizitätskonstanten und Leitfähigkeiten der Mischkörper aus isotropen Substanzen // Ann. Phys. 1935. B. 416. № 5. S. 636–664.

12.       Aulika A., Dejneka S., Mergan M., Crepaldi L., Jastrabik Q., Zhang A., Bencan M., Kosec and Zauls V. Compositional and optical gradient in films of PbZrxTi1–xO3 (PZT) family // Ferroelectrics – Physical Effects / Ed. by Dr. Lallart M. 2011. ISBN: 978-953-307-453-5, InTech, Available from: http://www.intechopen.com/books/ferroelectrics-physical-effects/compositional-and-optical-gradient-in-films-of-pbzrxti1-xo3-pzt-family

13.       Thacher P.D. Refractive index and surface layers of ceramic (Pb, La)(ZrTi)О3 compounds // Appl. Opt. 1977. V. 16. № 12. Р. 3210–3213.

14.       Lee H., Kang Y. S., Cho S.-J., Xiao B., Morkoç H., and Kang T.D. Visible-ultraviolet spectroscopic ellipsometry of lead zirconate titanate thin films // Appl. Phys. Lett. 2005. V. 86. P. 262902.

15.       Vorotilov K., Sigov A., Seregin D., Podgorny Yu., Zhigalina O., Khmelenin D. Crystallization behaviour of PZT in multilayer heterostructures // Phase Transitions: A Multinational Journal. 2013. DOI:10.1080/01411594.2013.794276.

 

 

Полный текст >>>