Научно-технический
«ОПТИЧЕСКИЙ ЖУРНАЛ»
издается с 1931 года
 
   
Русский вариант сайта Английский вариант сайта
   
       
   
       
Статьи последнего выпуска

Электронные версии
выпусков начиная с 2008


Алфавитный указатель
2000-2010 гг


444
Архив оглавлений
выпусков 2002-2007 гг


Реквизиты и адреса

Вниманию авторов и рецензентов!
- Порядок публикации
- Порядок рецензирования статей
- Типовой договор
- Правила оформления
- Получение авторского вознаграждения
- Редакционная этика


Контакты

Подписка

Карта сайта




Журнал с 01.12.2015 допущен ВАК для публикации основных результатов диссертаций как издание, входящее в международные реферативные базы систем цитирования (Web Science, Scopus) (см. Vak.ed.gov.ru Перечень журналов МБД 16.03.2018г)

Аннотации (02.2015) : СИНТЕЗ ГОЛОГРАММ-ПРОЕКТОРОВ ДЛЯ ФОТОЛИТОГРАФИИ НА НЕПЛОСКИХ ПОВЕРХНОСТЯХ

СИНТЕЗ ГОЛОГРАММ-ПРОЕКТОРОВ ДЛЯ ФОТОЛИТОГРАФИИ НА НЕПЛОСКИХ ПОВЕРХНОСТЯХ

 

© 2015 г.     С. Н. Корешев, доктор техн. наук; О. В. Никаноров, канд. техн. наук; Д. С. Смородинов, аспирант; А. Д. Громов, аспирант

Санкт-Петербургский национальный исследовательский университет информационных технологий, механики и оптики, Санкт-Петербург

Е-mail: smorodinov.denis@gmail.com

Рассмотрено влияние бинаризации и диффузной подсветки объекта на глубину резкости изображения, восстанавливаемого с помощью синтезированных голограмм-проекторов Френеля. Приведены результаты экспериментального исследования, подтверждающие возможность и эффективность использования специализированного программного комплекса синтеза и восстановления голограмм-проекторов Френеля для синтеза голограмм-проекторов, предназначенных для реализации голографического варианта фотолитографического процесса на неплоских поверхностях.

Ключевые слова: синтез голограмм, криволинейная поверхность, фотолитография, объёмный объект, голограмма-проектор Френеля, глубина резкости, бинаризация, диффузная подсветка.

Коды OCIS: 090.0090

УДК 535.417; 535.317; 778.38

Поступила в редакцию 25.09.2014

 

ЛИТЕРАТУРА

1.         Корешев С.Н., Ратушный В.П. Использование метода голографии для получения изображений двумерных объектов при решении задач фотолитографии высокого разрешения // Оптический журнал. 2004. Т. 71. № 10. С. 32-39.

2.         Koreshev S.N., Ratushnyi V.P. Holographic method for obtaining images with limiting high resolution for extreme shot-wave lithography problems // Proc. SPIE. 2004. V. 5290. P. 221-232.

3.         Clube F., Gray S., Struchen D., Tisserand J., Malfoy S., Darbellay Y. Holographic microlithography // Opt. Eng. 1995. V. 34. № 9. P. 2724-2730.

4.        Корешев С.Н., Ратушный В.П. Голограммы сфокусированного изображения в задаче высокоразрешающей проекционной голографической фотолитографии // Опт. и спектр. 2006. Т. 101. № 6. С. 1038-1042.

5.         Jacobsen C., Howells M. Projection X-ray lithography using computer-generated holograms: a study of compatibility with proximity lithography // Appl. Phys. 1992. V. 71. P. 2993-3001.

6.        Naullenau P.P., Salmassi F., Cullikson E.M., Liddle J.A. Design and fabrication of a high-efficiency extreme-ultraviolet binary phase-only computer-generated hologram // Appl. Opt. 2007. V. 46. №14. P. 2581-2585.

7.         Корешев С.Н., Никаноров О.В., Ратушный В.П. Восстановление синтезированных голограмм-проекторов Френеля при углах падения восстанавливающей волны, превышающих угол падения опорной волны при синтезе голограммы // Опт. и спектр. 2011. Т. 111. № 1. С. 156-161.

8.        Корешев С.Н., Никаноров О.В., Иванов Ю.А., Козулин И.А. Программный комплекс для синтеза и цифрового восстановления голограмм-проекторов: влияние параметров синтеза на качество восстановленного изображения // Оптический журнал. 2010. Т. 77. № 1. С. 42-48.

9.        Данилина Т.И. Технология тонкопленочных микросхем / Учебное пособие. Томск: Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, 2007. 21 с.

10.       Франсон М. Оптика спеклов. М.: Мир, 1980. 172 с.

11.       Цуканова Г.И., Карпова Г.В., Багдасарова О.В., Карпов В.Г., Кривопустова Е.В., Ежова К.В., под редакцией профессора Шехонина А.А. Прикладная оптика. Часть 2 / Учебно-методическое пособие. СПб: СПб ГИТМО (ТУ), 2003. С. 32.

12.       Корешев С.Н., Никаноров О.В., Козулин И.А. Выбор параметров синтеза голограмм-проекторов для фотолитографии // Оптический журнал. 2008. Т. 75. № 9. С. 29-34.

13.       Корешев С.Н., Смородинов Д.С., Громов А.Д., Никаноров О.В. Обеспечение равной интенсивности элементов изображений бинарных объектов, восстанавливаемых с помощью синтезированных голограмм-проекторов // Опт. и спектр. 2013. Т. 114. № 2. С. 150-155.

 

 

Полный текст >>>