Научно-технический
«ОПТИЧЕСКИЙ ЖУРНАЛ»
издается с 1931 года
 
   
Русский вариант сайта Английский вариант сайта
   
       
   
       
Статьи последнего выпуска

Электронные версии
выпусков начиная с 2008


Алфавитный указатель
2000-2010 гг


444
Архив оглавлений
выпусков 2002-2007 гг


Реквизиты и адреса

Вниманию авторов и рецензентов!
- Порядок публикации
- Порядок рецензирования статей
- Типовой договор
- Правила оформления
- Получение авторского вознаграждения
- Редакционная этика


Контакты

Подписка

Карта сайта




Журнал с 01.12.2015 допущен ВАК для публикации основных результатов диссертаций как издание, входящее в международные реферативные базы систем цитирования (Web Science, Scopus) (см. Vak.ed.gov.ru Перечень журналов МБД 16.03.2018г)

УВАЖАЕМЫЕ ПОДПИСЧИКИ НАШЕГО ЖУРНАЛА!
По техническим причинам «Оптический журнал» не попал в каталог агентства «Роспечать» на II полугодие 2018 г., что делает невозможной подписку на него на почте. Предлагаем оформить подписку на II полугодие 2018 в редакции журнала удобным Вам способом. Стоимость подписки на полугодие сохраняется (6600 руб.).
Связаться с нами можно по т. (812) 315-05-48, Е-mail: beditor@soi.spb.ru

Аннотации (01.2016) : АДДИТИВНАЯ ТЕХНОЛОГИЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ФАЗОВЫХ ДИФРАКЦИОННЫХ ОПТИЧЕСКИХ ЭЛЕМЕНТОВ

АДДИТИВНАЯ ТЕХНОЛОГИЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ФАЗОВЫХ ДИФРАКЦИОННЫХ ОПТИЧЕСКИХ ЭЛЕМЕНТОВ

 

© 2016 г.     Р. В. Скиданов*, доктор физ.-мат. наук; О. Ю. Моисеев*, канд. техн. наук; С. В. Ганчевская**, студент

*   Институт систем обработки изображений Российской академии наук, Самара

** Самарский государственный аэрокосмический университет им. академика С.П. Королева (национальный исследовательский университет), Самара

Е-mail: sofi@smr.ru

Представлена технология изготовления дифракционных оптических элементов, основанная на локальном термохимическом окислении тонкой пленки хрома. Неокислившийся хром после процедуры записи удаляется, в результате формируется микрорельеф, состоящий из прозрачного оксида хрома.

Ключевые слова: термохимическая запись, дифракционный оптический элемент, оксид хрома.

Коды OCIS: 220.4000

УДК 535.8

Поступила в редакцию 29.04.2015

ЛИТЕРАТУРА

1.         Либенсон М.Н. Лазерно-индуцированные оптические и термические процессы в конденсированных средах и их взаимовлияние. СПб.: Наука, 2007. 423 с.

2.         Poleschuk A.G., Korolkov V.P. Laser writing systems and technologies for fabrication of binary and continuous-relief diffractive optical elements // Proc. SPIE. 2007. V. 6732. 67320X, DOI: 10.1117/12.751930.

3.         Вейко В.П. Лазерная обработка пленочных элементов. Л.: Машиностроение, 1986. 248 с.

4.        Вейко В.П., Котов Г.А., Либенсон М.Н., Никитин М.Н. Термохимическое действие лазерного излучения // Доклады АН СССР. 1973. Т. 208. № 3. С. 587–590.

5.         Вейко В.П., Корольков В.П., Полещук А.Г., Саметов А.Р., Шахно Е. А., Ярчук М.В. Исследование пространственного разрешения лазерной термохимической технологии записи дифракционных микроструктур // Квант. электрон. 2011. Т. 41. № 7. С. 631–636.

6.        Veiko V.P., Shakhno E.A., Poleshchuk A.G., Korolkov V.P., Matyzhonok V.N. Local laser oxidation of thin metal films: Ultra-resolution in theory and in practice // J. Laser Micro/Nanoengineering. 2008. V. 3. № 3. P. 201–205.

7.         Котов Г.А., Либенсон М.Н. Кинетика роста тонких окисных пленок на поверхности металла при импульсном нагревании // Электронная технология. 1973. V. 4. № 3. С. 56–64.

8.        Бункин Ф.В., Кириченко Н.А., Лукьянчук Б.С. Термохимическое действие лазерного излучения // УФН. 1982. Т. 138. № 1. С. 45–93.

9.        Вейко В.П., Котов Г.А., Шандыбина Г.Д. Термохимический метод лазерной обработки тонких металлических пленок // Труды ЛИТМО. Л., 1980. С. 106–112.

10.       Вейко В.П., Котов Г.А., Либенсон М.Н., Никитин М.Н. Термохимические методы получения рисунков микросхем при помощи излучения ОКГ // Сб. тр. школы “Физико-технические основы лазерной технологии”. Л.: ЛДНТП, 1970. С. 43–46.

11.       Вейко В.П., Котлецов Б.Н., Либенсон М.Н. Лазерная литография. Л.: Знание, 1971. 43 с.

12.       Metev S.M., Savtchenko S.K., Stamenov K.V., Veiko V.P., Kotov G.A., Shandibina G.D. Thermochemical action of laser radiation on thin metal films // IEEE J. Quantum Electronics. 1981. V. 7. № 10. P. 2004–2007.

13.       Metev S.M., Savtchenko S.K., Stamenov K.V. Pattern generation by laser-induced oxidation of thin metal films // J. Phys. D: Appl. Phys. 1980. V. 13. P. L75–L76.

14.       Gerasimov R.B., Metev S.M., Savtchenko S.K. Optimization of the process of laser-induced thermochemical image recording // J. Phys. D: Appl. Phys. 1984. V. 17. P. 1671.

 


Полный текст >>