Научно-технический
«ОПТИЧЕСКИЙ ЖУРНАЛ»
издается с 1931 года
 
   
Русский вариант сайта Английский вариант сайта
   
       
   
       
Статьи последнего выпуска

Электронные версии
выпусков начиная с 2008


Алфавитный указатель
2000-2010 гг


444
Архив оглавлений
выпусков 2002-2007 гг


Реквизиты и адреса

Вниманию авторов и рецензентов!
- Порядок публикации
- Порядок рецензирования статей
- Типовой договор
- Правила оформления
- Получение авторского вознаграждения
- Редакционная этика


Контакты

Подписка

Карта сайта




Журнал с 01.12.2015 допущен ВАК для публикации основных результатов диссертаций как издание, входящее в международные реферативные базы систем цитирования (Web Science, Scopus) (см. Vak.ed.gov.ru Перечень журналов МБД 16.03.2018г)

Аннотации (03.2016) : СВЕТОДИОДНЫЙ ШИРОКОДИАПАЗОННЫЙ СПЕКТРАЛЬНЫЙ ЭЛЛИПСОМЕТР С ПЕРЕКЛЮЧЕНИЕМ ОРТОГОНАЛЬНЫХ СОСТОЯНИЙ ПОЛЯРИЗАЦИИ

СВЕТОДИОДНЫЙ ШИРОКОДИАПАЗОННЫЙ СПЕКТРАЛЬНЫЙ ЭЛЛИПСОМЕТР С ПЕРЕКЛЮЧЕНИЕМ ОРТОГОНАЛЬНЫХ СОСТОЯНИЙ ПОЛЯРИЗАЦИИ

 

© 2016 г.     В. И. Ковалёв, доктор техн. наук; А. И. Руковишников, канд. физ.-мат. наук; С. В. Ковалёв; В. В. Ковалёв, аспирант

Фрязинский филиал Института радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова Российской академии наук, г. Фрязино, Московская обл.

Е-mail: ellipsometry@yandex.ru

Приведено описание светодиодного эллипсометра с непрерывным диапазоном длин волн 260-1000 нм и высокими техническими характеристиками. Воспроизводимость и стабильность измерений эллипсометрических параметров Ψ и Δ кремния c собственным диоксидом на пиковых длинах волн излучения светодиодов не хуже 0,001 и 0,01° соответственно. На длинах волн 365, 375, 390, 405, 420 и 465 нм воспроизводимость измерений Ψ и Δ пленок металлов около 0,0003 и 0,001° соответственно. Спектральное разрешение – 4 нм. Минимальное время измерения Ψ и Δ в полном диапазоне длин волн – 20 с.

Ключевые слова: светодиодный спектральный эллипсометр, переключение поляризации, ахроматический компенсатор, высокая чувствительность, стабильность измерений.

Коды OCIS: 120.2130

УДК 681.785.35

Поступила в редакцию 15.06.2015

ЛИТЕРАТУРА 

1.         Fujiwara H. Spectroscopic Ellipsometry: Principles and Applications. N.Y.: Wiley, 2007. 392 p.

2.         Aspnes D.E. Spectroscopic ellipsometry — Past, present, and future. Review // Thin Solid Films. 2014. V. 571. № 3. P. 334–344.

3.         Ковалев В.И. Методы и приборы лазерной и спектральной эллипсометрии с бинарной модуляцией состояния поляризации // Автореф. докт. дис. Фрязино: ИРЭ РАН, 2011. 34 с.

4.        Azzam R.M.A. Polarization Michelson interferometer (POLMINT): Its use for polarization modulation and temporal pulse shearing // Opt. Commun. 1993. V. 98. № 1. P. 19–23.

5.         Ковалев В.И., Руковишников А.И., Перов П.И., Россуканый Н.М., Авдеева Л.А. Разработка оптических методов и аппаратуры для контроля технологии и параметров полупроводниковых структур нано- и микроэлектроники // Радиотехника и электроника. 1999. Т. 44. № 11. С. 1404–1407.

6.        Leontyev A.V., Kovalev V.I., Khomich A.V., Komarov F.F., Grigoryev V.V., Kamishan A.S. PMMA and polystyrene films modification under ion implantation studied by spectroscopic ellipsometry // Proc. SPIE. 2004. V. 5401. P. 129–136.

7.         de Lima K.M.G. A portable photometer based on LED for the determination of aromatic hydrocarbons in water // Microchemical Journal. 2012. V. 103. P. 62–67.

8.        Obeidat S., Bai B., Rayson G.D., Anderson D.M., Puscheck A.D., Landau S., Glasser T. A multi-source portable light emitting diode spectrofluorometer // Appl. Spectr. 2008. V. 62. № 3. P. 327–332.

9.        Callegaro L., Puppin E. Lasers and light-emitting diodes as sources for fixed-wavelength magneto-optical phase modulated ellipsometry // Rev. Sci. Instrum. 1995. V. 66. № 11. P. 5375–5376.

10.       Kovalev V.I., Rukovishnikov A.I., Kovalev S.V., Kovalev V.V. An LED multichannel spectral ellipsometer with binary modulation of the polarization state // Instruments аnd Experimental Techniques. 2014. V. 57. № 5. P. 607–610.

11.       Ковалев С.В., Руковишников А.И., Ковалев В.И. Светодиодный спектральный эллипсометр с бинарной модуляцией состояния поляризации // III Всерос. молодежная конф. “Функциональные материалы и высокочистые вещества”. Сб. материалов. М., 2012. С. 319–320.

12.       Kovalev V.I., Ali M., Kovalev S.V., Kovalev V.V. Possibilities of achromatization of coaxial asymmetric phase shifters with an even number of reflections // Opt. and Spectr. 2014. V. 117. № 1. Р. 118–120.

 

 

Полный текст >>>