Научно-технический
«ОПТИЧЕСКИЙ ЖУРНАЛ»
издается с 1931 года
 
   
Русский вариант сайта Английский вариант сайта
   
       
   
       
Статьи последнего выпуска

Электронные версии
выпусков начиная с 2008


Алфавитный указатель
2000-2010 гг


444
Архив оглавлений
выпусков 2002-2007 гг


Реквизиты и адреса

Вниманию авторов и рецензентов!
- Порядок публикации
- Порядок рецензирования статей
- Типовой договор
- Правила оформления
- Получение авторского вознаграждения
- Редакционная этика


Контакты

Подписка

Карта сайта




Журнал с 01.12.2015 допущен ВАК для публикации основных результатов диссертаций как издание, входящее в международные реферативные базы систем цитирования (Web Science, Scopus) (см. Vak.ed.gov.ru Перечень журналов МБД 16.03.2018г)

Аннотации (04.2016) : ДИНАМИКА ЛАЗЕРНОГО НАГРЕВАНИЯ И ОКИСЛЕНИЯ ТОНКИХ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ ПЛЕНОК С УЧЕТОМ ИЗМЕНЕНИЯ ПОГЛОЩАТЕЛЬНОЙ СПОСОБНОСТИ

ДИНАМИКА ЛАЗЕРНОГО НАГРЕВАНИЯ И ОКИСЛЕНИЯ ТОНКИХ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ ПЛЕНОК С УЧЕТОМ ИЗМЕНЕНИЯ ПОГЛОЩАТЕЛЬНОЙ СПОСОБНОСТИ

 

© 2016 г.     Е. А. Шахно, доктор техн. наук; К. З. Нгуен, студент

Университет ИТМО, Санкт-Петербург

Е-mail: elena.shakhno@mail.ru, qdung1991@gmail.com

Проведено теоретическое исследование процесса локального лазерного окисления тонкой металлической пленки в субмикронном диапазоне размеров облученной области. Анализ проведен с учетом изменения поглощательной способности пленки в процессе воздействия излучения. Определено соотношение толщины пленки и размера облученной области, при которых тепловые процессы определяются теплопроводностью подложки и нагрев пленки является квазистационарным. Разработана расчетная модель для определения динамики нагрева и окисления тонкой пленки с учетом отрицательной обратной связи толщины слоя оксида и поглощательной способности пленки. Получены аналитические выражения для определения изменения во времени температуры пленки и толщины слоя оксида в процессе воздействия излучения и выявлены основные закономерности процесса. Определено соотношение между радиальными градиентами температуры пленки и толщины слоя образующегося оксида.

Ключевые слова: тонкая металлическая пленка, оксид, нагревание, поглощательная способность, дифракционные оптические элементы.

Коды OCIS: 310.6860, 350.3390

УДК 544.537

Поступила в редакцию 24.09.2015.

ЛИТЕРАТУРА

1.         Veiko V.P., Poleshchuk A.G. Laser-induced local oxidation of thin metal films: physical fundamentals and applications // Fundamentals of laser-assisted micro- and nanotechnologies / Ed. by Veiko V.P., Konov V.I. New-York-Heidelberg: Springer Series in Materials Science. Springer verlag, 2014. V. 195. XVII. Р. 149–172. 

2.         Veiko V.P., Shakhno E.A., Poleshchuk A.G., Korolkov V.P., Matyzhonok V.N. Local laser oxidation of thin metal films: ultra-resolution in theory and in practice // Journal of Laser Micro/Nanoengineering. 2008. V. 3. № 3. Р. 201–205.

3.         Вейко В.П., Корольков В.И., Полещук А.Г., Саметов А.Р., Шахно Е.А., Ярчук М.В. Исследование пространственного разрешения лазерной термохимической технологии записи дифракционных микроструктур // Квантовая электроника. 2011. Т. 41. № 7. С. 631–636.

4.        Вейко В.П., Синёв Д.А., Шахно Е.А., Полещук А.Г., Саметов А.Р., Седухин А.Г. Исследование особенностей многопучковой лазерной термохимической записи дифракционных микроструктур // Компьютерная оптика. 2012. Т. 36. № 4. С. 562–571.

5.         Gorbunov А., Eichler H., Pompe W., Huey B. Lateral self-limitation in the laser-induced oxidation of ultrathin metal films // Appl. Phys. Lett. 1996. V. 69. № 19. P. 2816–2818.

6.        Gorbunov А.A., Pompe W., Eichler H., Huey B., Bonnell D.A. Nanostructuring of laser-deposited Ti films by self-limited oxidation // Journal of the American Ceramic Society. 1997. V. 80. № 7. Р. 1663–1667.

7.         Шахно Е.А., Синев Д.А. , Кулажкин А.М. Особенности лазерного окисления тонких пленок титана // Оптический журнал. 2014. Т. 81. № 5. С. 93–98.

8.        Либенсон М.Н. Лазерно-индуцированные оптические и термические процессы в конденсированных средах и их взаимное влияние. СПб.:Наука, 2007. 423 с.

9.        Вейко В.П., Шахно Е.А., Синев Д.А. Повышение разрешающей способности лазерной термохимической записи на тонких пленках хрома путем многократного воздействия // Известия высших учебных заведений. Приборостроение. 2013. Т. 56. № 12. С. 57–61.

10.       Вейко В.П. Лазерная обработка. Л.: Машиностроение, 1986. 248 с.

 

 

Полный текст >>>