Научно-технический
«ОПТИЧЕСКИЙ ЖУРНАЛ»
издается с 1931 года
 
   
Русский вариант сайта Английский вариант сайта
   
       
   
       
Статьи последнего выпуска

Электронные версии
выпусков начиная с 2008


Алфавитный указатель
2000-2010 гг


444
Архив оглавлений
выпусков 2002-2007 гг


Реквизиты и адреса

Вниманию авторов и рецензентов!
- Порядок публикации
- Порядок рецензирования статей
- Типовой договор
- Правила оформления
- Получение авторского вознаграждения
- Редакционная этика


Контакты

Подписка

Карта сайта




Журнал с 01.12.2015 допущен ВАК для публикации основных результатов диссертаций как издание, входящее в международные реферативные базы систем цитирования (Web Science, Scopus) (см. Vak.ed.gov.ru Перечень журналов МБД 16.03.2018г)

Аннотации (07.2016) : ИСПОЛЬЗОВАНИЕ МЕТОДА КРУГОВОГО СКАНИРОВАНИЯ ДЛЯ ФОРМИРОВАНИЯ И КОНТРОЛЯ ТОПОЛОГИИ ПРЕЦИЗИОННЫХ ФОТОШАБЛОНОВ ИНТЕГРАЛЬНЫХ ДАТЧИКОВ ФИЗИЧЕСКИХ ВЕЛИЧИН

ИСПОЛЬЗОВАНИЕ МЕТОДА КРУГОВОГО СКАНИРОВАНИЯ ДЛЯ ФОРМИРОВАНИЯ И КОНТРОЛЯ ТОПОЛОГИИ ПРЕЦИЗИОННЫХ ФОТОШАБЛОНОВ ИНТЕГРАЛЬНЫХ ДАТЧИКОВ ФИЗИЧЕСКИХ ВЕЛИЧИН

 

© 2016 г.     А. В. Кирьянов*, канд. техн. наук; В. П. Кирьянов*, доктор техн. наук; И. В. Волохов**, канд. техн. наук; А. В. Бобков***, канд. техн. наук

*     Институт автоматики и электрометрии Сибирского отделения Российской акакдемии наук, Новосибирск

**   Научно-исследовательский институт физических измерений, Пенза

*** Научно-производственное предприятие “Геофизика-Космос”, Москва

Е-mail: alexey@iae.nsk.su

Проанализированы результаты формирования и контроля топологии фотошаблонов интегральных датчиков давления и угла поворота, полученные с помощью технологического и измерительного оборудования, работающего в полярной и декартовой системах координат. Показано, что для повышения точности изготовления и контроля данных изделий целесообразно использовать оборудование, реализующее метод кругового сканирования.

Ключевые слова: лазерный генератор изображений, метод кругового сканирования, фотошаблон, интегральный датчик.

Коды OCIS: 230.4000, 230.0250, 230.0040, 120.5475

УДК 53.087.92 + 681.7.064.64

Поступила в редакцию 16.02.2016

ЛИТЕРАТУРА

1.         Специальное технологическое оптико-механическое оборудование для производства изделий микроэлектроники «КБТЭМ – ОМО» [Electronic resours]. – Electronic date. – [s.1.: s.n., 2010]. – Access free: http//kb-omo.by/content/view. – Title from screen.

2.         Heidelberg instruments mikrotechnik GmbH [Electronic resource]. – Electronic date. – [s.l.: s.n., 2013]. – Access free: http://www.himt.de/en/products. – Title from screen.

3.         Абрамов Ю.Ф., Кирьянов В.П., Кирьянов А.В., Кокарев С.А., Кручинин Д.Ю., Яковлев О.Б. Модернизация оптического делительного производства Уральского оптико-механического завода на основе современных лазерно-компьютерных и фотолитографических технологий // Оптический журнал. 2006. Т. 73. № 8. C. 61–65.

4.        Кирьянов А.В., Кирьянов В.П. Улучшение метрологических характеристик лазерных генераторов изображений с круговым сканированием // Автометрия. 2010. Т. 46. № 5. С. 77–93.

5.         Bartik S.A., Frizin S.E., Kiryanov V.P., Kiryanov A.V., Kokarev S.A., Kruchinin D.Yu., Nikitin V.G., Yakovlev O.B. Development of a technique for the determination of metrological parameters of technological system CLWS-300/C for synthesis of high precision angular measuring structures // AMS’04. Proc. 10th IMEKO TC7 Intern. Symp. Advances of Measurement Science. June 30–July 2, 2004, Saint-Petersburg, Russia. V. 2. P. 316–320.

6.        Portman V., Peschansky B. Phase-statistical method and device for high precise and high-efficiency angular measurements // Precision Engineering. 2001. V. 25. P. 309–315.

7.         Kojima T., Kikuchi Y., Seki S., Wakiwaka H. Study on high precision angle measuring technology // The 30th Annual Conf. IEEE Industrial Electron. Soc. 2004, Busan, Korea. P. 1530–1535.

 

Полный текст >>>