Научно-технический
«ОПТИЧЕСКИЙ ЖУРНАЛ»
издается с 1931 года
 
   
Русский вариант сайта Английский вариант сайта
   
       
   
       
Статьи последнего выпуска

Электронные версии
выпусков начиная с 2008


Алфавитный указатель
2000-2010 гг


444
Архив оглавлений
выпусков 2002-2007 гг


Реквизиты и адреса

Вниманию авторов и рецензентов!
- Порядок публикации
- Порядок рецензирования статей
- Типовой договор
- Правила оформления
- Получение авторского вознаграждения
- Редакционная этика


Контакты

Подписка

Карта сайта




Журнал с 01.12.2015 допущен ВАК для публикации основных результатов диссертаций как издание, входящее в международные реферативные базы систем цитирования (Web Science, Scopus) (см. Vak.ed.gov.ru Перечень журналов МБД 16.03.2018г)

Аннотации (07.2016) : ИССЛЕДОВАНИЕ ТОНКОПЛЁНОЧНОЙ ГЕТЕРОСТРУКТУРЫ, ПОЛУЧАЕМОЙ С ПОМОЩЬЮ ЛАЗЕРНОГО НАПЫЛЕНИЯ СЛОЁВ ПЛАТИНЫ И ЦИРКОНАТ-ТИТАНАТА СВИНЦА

ИССЛЕДОВАНИЕ ТОНКОПЛЁНОЧНОЙ ГЕТЕРОСТРУКТУРЫ, ПОЛУЧАЕМОЙ С ПОМОЩЬЮ ЛАЗЕРНОГО НАПЫЛЕНИЯ СЛОЁВ ПЛАТИНЫ И ЦИРКОНАТ-ТИТАНАТА СВИНЦА

 

© 2016 г.     Р. K. Мавлянов, канд. физ.-мат. наук; А. Я. Виноградов, канд. физ.-мат. наук; Д. А. Калинин; В. А. Толмачёв, доктор физ.-мат. наук

Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, Санкт-Петербург

Е-mail: tva@mail.ioffe.ru

Исследована возможность получения слоёв Pt и цирконат-титаната свинца методом лазерного напыления. По данным оптической, электронной и атомно-силовой микроскопии слой цирконат-титаната свинца имеет шероховатость поверхностной структуры. Методом спектральной эллипсометрии исследованы оптические параметры получаемых слоёв, включающие дисперсию показателей преломления и поглощения как Pt, так и цирконат-титаната свинца с поверхностным слоем. По данным рентгеноструктурного анализа структура полученного слоя цирконат-титаната свинца обладает характерной кристаллографической ориентацией в направлении (111) перовскита. Подобные гетероструктуры используются в качестве сегнетоэлектрической ячейки памяти.

Ключевые слова: дисперсия оптических констант, лазерное напыление, спектральная эллипсометрия, цирконат-титанат свинца.

Коды OCIS: 310.6860, 240.2130

УДК 538.958:539.234

Поступила в редакцию 20.12.2015

ЛИТЕРАТУРА

1.         Воротилов К.А., Сигов А.С. Сегнетоэлектрические запоминающие устройства // Физика твердого тела. 2012. Т. 54. Вып. 5. С. 843–848.

2.         Мавлянов Р.К., Виноградов А.Я., Толмачёв В.А. Исследование оптических свойств слоёв цирконат-титаната свинца, получаемых методом магнетронного распыления // Оптический журнал. 2015. Т. 82. № 2. С. 3–8.

3.         Воротилов К.К., Сигов А.Г. Сегнетоэлектрические запоминающие устройства: перспективные технологии и материалы // Нано- и микросистемная техника. 2008. № 10 (99). С. 30–428.

4.        Предтеченский М.Р., Майоров А.П. Разлет лазерной плазмы в кислороде в условиях напыления ВТСП пленок // Сверхпроводимость: физика, химия, техника. 1993. Т. 6. Вып. 5. С. 1018–1032.

5.         Швец В.А., Спесивцев Е.В., Рыхлицкий С.В., Михайлов Н.Н. Эллипсометрия – прецизионный метод контроля тонкопленочных структур с субнанометровым разрешением // Российские нанотехнологии. 2009. Т. 4. № 3–4. С. 201–214. 

6.        Аззам Р., Башара Н.. Эллипсометрия и поляризованный свет. М.: Мир, 1981. 583 c.

7.         Azzam R.M.A. and Bashara N.M. Ellipsometry and Polarized Light. Amsterdam–New York–Oxford: North-Holland Publishing Company, 1977. 529 p.

8.        Handbook of Optical Constants of Solids / Ed. by Palik E.D. N.Y.: Academic Press, 1985. 804 p.

9.        Bruggeman D.A.G. Berechnung verschiedener physikalischer Konstanten von heterogenen Substanzen. I. Dielektrizitätskonstanten und Leitfähigkeiten der Mischkörper aus isotropen Substanzen // Ann. Phys. 1935. B. 416. № 5. S. 636–664.

10.       Koh J., Lu Y., Wronski C.R., Kuang Y., Collins R.W., Tsong T.T., Strausser Y.E. Correlation of real time spectroellipsometry and atomic force microscopy measurements of surface roughness on amorphous semiconductor thin films // App. Phys. Lett. 1996. V. 69. № 9. P. 1297–1299.

11.       Thacher P.D. Refractive index and surface layers of ceramic (Pb, La)(ZrTi)О3 compounds // Appl. Opt. 1977. V. 16. № 12. Р. 3210–3213.

12.       Lee H., Kang Y.S., Cho S.-J., Xiao B., Morkoç H., and Kang T.D. Visible-ultraviolet spectroscopic ellipsometry of lead zirconate titanate thin films // Appl. Phys. Lett. 2005. V. 86. P. 262902.

 

 

Полный текст >>>