Научно-технический
«ОПТИЧЕСКИЙ ЖУРНАЛ»
издается с 1931 года
 
   
Русский вариант сайта Английский вариант сайта
   
       
   
       
Статьи последнего выпуска

Электронные версии
выпусков начиная с 2008


Алфавитный указатель
2000-2010 гг


444
Архив оглавлений
выпусков 2002-2007 гг


Реквизиты и адреса

Вниманию авторов и рецензентов!
- Порядок публикации
- Порядок рецензирования статей
- Типовой договор
- Правила оформления
- Получение авторского вознаграждения


Контакты

Подписка

Карта сайта





Журнал с 19.02.2010 входит в новый «Перечень ведущих рецензируемых научных журналов и изданий, в которых должны быть опубликованы основные научные результаты диссертации на соискание ученой степени доктора и кандидата наук»
Аннотации (09.2016) : ОПТИЧЕСКИЕ И ЭКСПЛУАТАЦИОННЫЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ ПЛЕНОК ФТОРИДОВ И ОКСИДОВ, ПОЛУЧЕННЫХ ИСПАРЕНИЕМ В ВАКУУМЕ

ОПТИЧЕСКИЕ И ЭКСПЛУАТАЦИОННЫЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ ПЛЕНОК ФТОРИДОВ И ОКСИДОВ, ПОЛУЧЕННЫХ ИСПАРЕНИЕМ В ВАКУУМЕ

 

© 2016 г.     В. В. Кириленко*, доктор техн. наук; Б. М. Жигарновский*, канд. хим. наук; И. П. Малкерова*, канд. хим. наук; В. А. Самохов*, канд. хим. наук; А. Г. Бейрахов*, доктор хим. наук; А. В. Михайлов**, канд. техн. наук; А. Н. Баранов**,***, аспирант

*     Научно-технологический центр “Спектр” Российской академии наук, Академия инженерных наук им. А.М. Прохорова, Москва

**   АО “Государственный оптический институт им. С.И. Вавилова”, Санкт-Петербург

*** Университет ИТМО, Санкт-Петербург

Е-mail: a.n.baranov@hotmail.com

Рассмотрены вопросы оптимизации технологических приемов осаждения слоев фторидов и оксидов металлов на оптические элементы. Приведены данные оптических и эксплуатационных характеристик полученных пленок, изготовленных методом испарения в высоком вакууме на серийно выпускаемом оборудовании. Отмечено влияние температуры подложки, остаточного и рабочего давления в вакуумной камере и режима работы ионного источника на перечисленные характеристики.

Ключевые слова: оптические покрытия, оптические характеристики, эксплуатационные характеристики.

Коды OCIS: 160.4760; 310.1860

УДК 539.234

Поступила в редакцию 13.04.2016

ЛИТЕРАТУРА 

1.         Pulker H.K. Characterization of optical thin films // Appl. Opt. 1979. V. 18. № 19. P. 1969–1977.

2.         Ritter E. Properties of optical film materials // Appl. Opt. 1991. V. 20. № 1. P. 21–25.

3.         Котликов Е.Н., Иванов В.А., Погарева В.Г., Хонинева Е.В. Исследование оптических констант пленок из теллуридов свинца и германия // Опт. спектр. 2000. Т. 88. № 5. С. 795–977.

4.        Гусев А.Г., Афанасьева А.Г., Валидов Р.М., Несмелов Е.А. Оптико-физические свойства пленок фторида висмута // ОМП. 1990. № 5. С. 55–57.

5.         Крылова Т.Н. Интерференционные покрытия. Л.: Машиностроение, 1973. 224 с.

6.        Хевенс О.С. Измерение оптических констант тонких пленок / Физика тонких пленок. Т. 2. М.: Мир, 1967. С. 136–185.

7.         Гайнутдинов И.С., Несмелов Е.А., Михайлов А.В., Иванов В.П., Абзалова Г.И. Свойства и методы получения интерференционных покрытий для оптического приборостроения. Казань: Фэн, 2003. 424 с.

8.        Соколова Р.С. Светопоглощение в тонких слоях окислов тория, гафния и циркония в ультрафиолетовой области спектра // ОМП. 1974. № 10. С. 20–24.

9.        Миллер В.Т., Первеев А.Ф. Устройство для ионной очистки подложек и полировки слоев // Оптический журнал. 1993. Т. 60. № 2. С. 72–75.

10.       Dumas L. Optical properties of magnesium fluoride thin films produced by argon ion-beam assisted deposition // J. Vac. Sci. Technol. A Vacuum, Surfaces, Film. 2002. V. 20. № 1. P. 102–106.

11.       Ritter E. Optical film materials and their applications // Appl. Opt. 1976. V. 15. № 10. P. 2318–2327.

12.       ОСТ 3-1901-95. Покрытия оптических деталей. Типы, основные параметры и методы контроля. М.: ВНИИМС, 1995. 166 c.

 

 

Полный текст