Научно-технический
«ОПТИЧЕСКИЙ ЖУРНАЛ»
издается с 1931 года
 
   
Русский вариант сайта Английский вариант сайта
   
       
   
       
Статьи последнего выпуска

Электронные версии
выпусков начиная с 2008


Алфавитный указатель
2000-2010 гг


444
Архив оглавлений
выпусков 2002-2007 гг


Реквизиты и адреса

Вниманию авторов и рецензентов!
- Порядок публикации
- Порядок рецензирования статей
- Типовой договор
- Правила оформления
- Получение авторского вознаграждения


Контакты

Подписка

Карта сайта





Журнал с 19.02.2010 входит в новый «Перечень ведущих рецензируемых научных журналов и изданий, в которых должны быть опубликованы основные научные результаты диссертации на соискание ученой степени доктора и кандидата наук»
Аннотации (10.2016) : ТРЁХЗЕРКАЛЬНЫЙ ИНТЕРФЕРОМЕТР ЧАСТИЧНО КОГЕРЕНТНОГО СВЕТА ДЛЯ КОНТРОЛЯ РЕЛЬЕФА ПОВЕРХНОСТИ

ТРЁХЗЕРКАЛЬНЫЙ ИНТЕРФЕРОМЕТР ЧАСТИЧНО КОГЕРЕНТНОГО СВЕТА ДЛЯ КОНТРОЛЯ РЕЛЬЕФА ПОВЕРХНОСТИ

 

© 2016 г.     Е. В. Сысоев*, канд. техн. наук

Конструкторско-технологический институт научного приборостроения СО РАН, г. Новосибирск

Е-mail: evsml@mail.ru

Выполнен анализ интерференции частично когерентного света в трёхзеркальном интерферометре с низкокогерентным источником света. Показано, что при расстоянии, большем длины когерентности между двумя зеркалами, установленными в опорное плечо интерферометра, образуется множество слоёв когерентности (полизональная интерференция). Получено выражение, описывающее интерференцию частично когерентного света в трёхзеркальном интерферометре. Приведены результаты расчётов, моделирования и экспериментов.

Ключевые слова: интерференция частично когерентного света, сканирующий интерферометр, интерференционный контроль рельефа поверхности, дифференциальная интерферограмма.

Коды OCIS: 120.3180, 180.3170, 260.3160

УДК 681.723.26; 681.786.5

Поступила в редакцию 22.01.2016.

ЛИТЕРАТУРА

1.         Pavlicek P., Halouzka M., Duan Z., Takeda M. Spatial coherence profilometry on tilted surfaces // Applied Optics. 2009. V. 48. № 34. P. H40–H47.

2.         Jung-Hwan K., Sung-Won Y., Jeong-Ho L., Woo-Jung A., Heui-Jae P. New algorithm of white-light phase shifting interferometry pursing higher repeatability by using numerical phase error correction schemes of pre-processor, main processor and post-processor // Optics and Lasers in Engineering. 2008. V. 46. № 2. P. 140–148.

3.         Сысоев Е.В., Выхристюк И.А., Куликов Р.В., Поташников А.К., Разум В.А., Степнов Л.М. Интерференционный микроскоп-профилометр // Автометрия. 2010. Т. 46. № 2. C. 119–128.

4.        Pavlicek P., Hýbl O. White-light interferometry on rough surfaces–measurement uncertainty caused by surface roughness // Applied Optics. 2008. V. 47. № 16. P. 2941–2949.

5.         Кирилловский В.К. Оптические измерения. Ч. 3. СПб: Университет ИТМО, 2005. 45 c.

6.        Сысоев Е.В., Голубев И.В. Способ измерения профиля поверхности. // Патент РФ № 2245515. 2005.

7.         Сысоев Е.В., Голубев И.В., Чугуй Ю.В., Шахматов В.А. Измерение локальных отклонений профиля поверхности на основе интерференции частично когерентного света // Автометрия. 2004. Т. 40. № 4. С. 4.

8.        Гудмен Д. Статистическая оптика. М.: Мир, 1988. 160 с.

 

 

Полный текст