Научно-технический
«ОПТИЧЕСКИЙ ЖУРНАЛ»
издается с 1931 года
 
   
Русский вариант сайта Английский вариант сайта
   
       
   
       
Статьи последнего выпуска

Электронные версии
выпусков начиная с 2008


Алфавитный указатель
2000-2010 гг


444
Архив оглавлений
выпусков 2002-2007 гг


Реквизиты и адреса

Вниманию авторов и рецензентов!
- Порядок публикации
- Порядок рецензирования статей
- Типовой договор
- Правила оформления
- Получение авторского вознаграждения


Контакты

Подписка

Карта сайта





Журнал с 19.02.2010 входит в новый «Перечень ведущих рецензируемых научных журналов и изданий, в которых должны быть опубликованы основные научные результаты диссертации на соискание ученой степени доктора и кандидата наук»
Аннотации (12.2016) : МЕТОДЫ УВЕЛИЧЕНИЯ РАЗРЕШАЮЩЕЙ СПОСОБНОСТИ И ГЛУБИНЫ РЕЗКОСТИ СИНТЕЗИРОВАННЫХ ГОЛОГРАММ-ПРОЕКТОРОВ

МЕТОДЫ УВЕЛИЧЕНИЯ РАЗРЕШАЮЩЕЙ СПОСОБНОСТИ И ГЛУБИНЫ РЕЗКОСТИ СИНТЕЗИРОВАННЫХ ГОЛОГРАММ-ПРОЕКТОРОВ

 

 

© 2016 г.     С. Н. Корешев, доктор техн. наук; О. В. Никаноров, канд. техн. наук; М. А. Фролова, магистрант; Я. А. Новицкая, магистрант; Р. И. Хисамов, студент

Университет ИТМО, Санкт-Петербург

Е-mail: marrain6@yandex.ru

Рассмотрена проблема повышения разрешающей способности синтезированных голограмм-проекторов Френеля и увеличения глубины резкости восстанавливаемых с их помощью изображений. Работа выполнена применительно к случаю голограмм двумерного объекта, например, фотолитографического фотошаблона или рабочей зоны оптического пинцета. Установлена эффективность использования известного в традиционной проекционной фотолитографии метода фазовой коррекции эффекта близости для повышения разрешающей способности синтезированных голограмм-проекторов Френеля. Предложен метод увеличения глубины резкости изображений, восстанавливаемых с помощью синтезированных голограмм-проекторов Френеля, основанный на представлении комплексной амплитуды объектной волны при синтезе голограммы в виде суммы комплексных амплитуд нескольких объектных волн, формируемых объектом при различных расстояниях от него до голограммы, отличающихся на величину, не превышающую глубину резкости изображения одиночного объекта.

Ключевые слова: голография, фотолитография, синтезированная голограмма, разрешающая способность, глубина резкости восстановленного изображения, фазовая коррекция эффекта близости.

Коды OCIS: 090.0090

УДК 535.417; 535.317; 778.38

Поступила в редакцию 07.06.2016.

ЛИТЕРАТУРА

1.         Корешев С.Н., Смородинов Д.С., Никаноров О.В. Влияние метода представления объекта на изображающие свойства синтезированных голограмм // Оптический журнал. 2015. Т. 82. № 4. С. 66–73.

2.         Моро У. Микролитография. М.: Мир, 1990. 1240 с.

3.         Корешев С.Н., Никаноров О.В., Громов А.Д. Метод синтеза голограмм-проекторов, основанный на разбиении структуры объекта на типовые элементы, и программный комплекс для его реализации // Оптический журнал. 2012. Т. 79. № 12. С. 30–37.

4.        Корешев С.Н., Никаноров О.В., Козулин И.А. Выбор параметров синтеза голограмм-проекторов для фотолитографии // Оптический журнал. 2008. Т. 75. № 9. С. 29–34.

5.         Корешев С.Н., Никаноров О.В., Смородинов Д.С., Громов А.Д. Синтез голограмм-проекторов для фотолитографии на неплоских поверхностях // Оптический журнал. 2015. Т. 82. № 2. С. 37–42.

6.        Франсон М. Оптика спеклов. М.: Мир, 1980. 172 с.

7.         Цуканова Г.И., Карпова Г.В., Багдасарова О.В., Карпов В.Г., Кривопустова Е.В., Ежова К.В. Прикладная оптика. Ч. 2. Учебно-методическое пособие / Под редакцией Шехонина А.А. СПб: СПб ГИТМО (ТУ), 2003. 32 с.

 

 

Полный текст