Научно-технический
«ОПТИЧЕСКИЙ ЖУРНАЛ»
издается с 1931 года
 
   
Русский вариант сайта Английский вариант сайта
   
       
   
       
Статьи последнего выпуска

Электронные версии
выпусков начиная с 2008


Алфавитный указатель
2000-2010 гг


444
Архив оглавлений
выпусков 2002-2007 гг


Реквизиты и адреса

Вниманию авторов и рецензентов!
- Порядок публикации
- Порядок рецензирования статей
- Типовой договор
- Правила оформления
- Получение авторского вознаграждения


Контакты

Подписка

Карта сайта





Журнал с 19.02.2010 входит в новый «Перечень ведущих рецензируемых научных журналов и изданий, в которых должны быть опубликованы основные научные результаты диссертации на соискание ученой степени доктора и кандидата наук»
Аннотации (07.2017) : ИЗМЕНЕНИЯ СПЕКТРАЛЬНЫХ ХАРАКТЕРИСТИК ПЛАСТИН КВАРЦЕВОГО СТЕКЛА ПРИ ОБРАБОТКЕ ЛАЗЕРНО-ИНДУЦИРОВАННОЙ МИКРОПЛАЗМОЙ

ИЗМЕНЕНИЯ СПЕКТРАЛЬНЫХ ХАРАКТЕРИСТИК ПЛАСТИН КВАРЦЕВОГО СТЕКЛА ПРИ ОБРАБОТКЕ ЛАЗЕРНО-ИНДУЦИРОВАННОЙ МИКРОПЛАЗМОЙ

© 2017 г.       В. В. Коваль; М. М. Сергеев, канд. техн. наук; Р. А. Заколдаев; Г. К. Костюк

Университет ИТМО, Санкт-Петербург

E-mail: siriusmaks@gmail.com

УДК 535:621.375

Поступила в редакцию 17.02.2017

Приведены результаты исследований изменений в спектрах пропускания и люминесценции пластин кварцевого стекла, вызванных обработкой поверхности пластин лазерно-индуцированной микроплазмой. Регистрируемые изменения, вероятно, обусловлены изменением шероховатости поверхности, микрогеометрией формируемого рельефа, а также возможным проникновением материала мишени в обрабатываемый материал. Приведены результаты исследований по устранению изменений при использовании влажной лазерной очистки, термической обработки в печи и химической обработки в растворе азотной кислоты. Показано, что изменения в спектрах пропускания и люминесценции могут быть сведены к минимуму или устранены совсем при использовании влажной лазерной очистки.

Ключевые слова: кварцевое стекло, лазерно-индуцированная микроплазма, кластерная абляция стекла, фазовые дифракционные элементы.

Коды OCIS: 350.3390, 160.6030, 170.6280

 

Литература

1.         Zhang J., Sugioka K., Midorikawa K. High-speed machining of glass materials by laser-induced plasma-assisted ablation using a 532-nm laser // Appl. Phys. A. 1998. V. 67. № 4. P. 499–501.

2.         Lorenz P., Ehrhardt M., Zimmer K. Laser-induced front side and back side etching of fused silica with KrF and XeF excimer lasers using metallic absorber layers: A comparison // Appl. Surf. Sci. 2012. V. 258. № 24. P. 9742–9746.

3.         Hopp B., Smausz T., Bereznai M. Processing of transparent materials using visible nanosecond laser pulses // Appl. Phys. A. 2007. V. 87. № 1. P. 77–79.

4.        Cheng J.-Y., Yen M.-H., Wei C.-W., Chuang Y.-C., Young T.-H. Crack-free direct-writing on glass using a low-power UV laser in the manufacture of a microfluidic chip // J. Micromechanics and Microengineering. 2005. V. 15. № 6. P. 1147.

5.         Hopp B., Smausz T., Csizmadia T., Vass C., Csako T., Szabo G. Comparative study of different indirect laser-based methods developed for microprocessing of transparent materials // JLMN — J. Laser Micro/Nanoengineering. 2010. V. 5. № 1. P. 80–85.

6.        Сергеев М.М., Костюк Г.К., Заколдаев Р.А., Яковлев Е.Б. Лазерная пассивация пористого стекла для защиты от химической деградации и старения // Физикохимия поверхности и защита материалов. 2015. T. 51. № 3. C. 314–322.

7.         Hanada Y., Sugioka K., Takase H., Takai H., Miyamoto I., Midorikawa K. Selective metallization of polyimide by laser-induced plasma-assisted ablation (LIPAA) // Appl. Phys. A. 2005. V. 80. № 1. P. 111–115.

8.        Lorenz P., Frost F., Ehrhardt M., Zimmer K. Laser-induced fabrication of randomly distributed nanostructures in fused silica surfaces // Appl. Phys. A. 2013. V. 111. № 4. P. 1025–1030.

9.        Kostyuk G., Sergeev M., Zakoldaev R., Yakovlev E. Fast microstructuring of silica glasses surface by NIR laser radiation // Optics and Lasers in Eng. 2015. V. 68. P. 16–24.

10.       Choi H.-K., Ahsan M.S., Yoo D., Sohn I.-B., Noh Y.-C., Kim J.-T., Jung D., Kim J.-H., Kang H.-M. Formation of cylindrical micro-lens array on fused silica glass surface using CO2 laser assisted reshaping technique // Optics & Laser Technol. 2015. V. 75. P. 63–70.

11.       Zakoldaev R.A., Kostyuk G.K., Koval V.V., Sergeev M.M., Rymkevich V.S., Yakovlev E.B. Microlens array fabrication on fused silica by LIBBH technology with CO2 laser smoothing // J. Instrument Eng. 2016. V. 59. № 5. P. 400–406.

12.       Hanada Y., Sugioka K., Gomi Y., Yamaoka H., Otsuki O., Miyamoto I., Midorikawa K. Development of practical system for laser-induced plasma-assisted ablation (LIPAA) for micromachining of glass materials // Appl. Phys. A. 2004. V. 79. № 4–6. P. 1001–1003.

13.       Nageswara Rao P., Kunzru D. Fabrication of microchannels on stainless steel by wet chemical etching // J. Micromechanics and Microengineering. 2007. V. 17. № 12. P. N99–N106.

14.       Pan C., Chen K., Liu B., Ren L., Wang J., Hu Q., Liang L., Zhou J., Jiang L. Fabrication of micro-texture channel on glass by laser-induced plasma-assisted ablation and chemical corrosion for microfluidic devices // J. Materials Proc. Technol. 2017. V. 240. P. 314–323.

15.       Kostyuk G.K., Zakoldaev R.A., Koval V.V., Sergeev M.M., Rymkevich V.S. Laser microplasma as a tool to fabricate phase grating applied for laser beam splitting // Optics and Lasers in Eng. 2017. V. 92. P. 63–69.

16.       Вейко В.П., Самохвалов А.А. Исследование оптоакустического отклика при лазерной абляции твердых тел излучением волоконного лазера под тонким слоем жидкости // Оптический журнал. 2014. T. 81. № 5. C. 88–92.

17.       Zakoldaev R., Sergeev M., Kostyuk G., Veiko V. Laser-induced Black-body Heating (LIBBH) as a method for glass surface modification // J. Laser Micro / Nanoengineering. 2015. V. 10. № 1. P. 15–19.

18.       Kostyuk G., Zakoldaev R., Sergeev M., Veiko V. Laser-induced glass surface structuring by LIBBH technology // Optical and Quantum Electronics. 2016. V. 48. № 4. P. 1–8.

19.       Kostyuk G., Zakoldaev R., Sergeev M., Yakovlev E. Microlens array fabrication on fused silica influenced by NIR laser // Appl. Phys. B. 2016. V. 122. № 4. P. 1–8.

20.      Palik E.D. Handbook of optical constants of solids. N.Y.: Academic press, 1998. 1000 p.

21.       Du D., Liu X., Korn G., Squier J., Mourou G. Laser-induced breakdown by impact ionization in SiO2 with pulse widths from 7 ns to 150 fs // Appl. Phys. Lett. 1994. V. 64. № 23. P. 3071–3073.

22.      Вейко В., Мутин Т., Смирнов В., Шахно Е., Батище С. Лазерная очистка поверхностей металлов: физические процессы и применение // Известия ВУЗов. Приборостроение. 2008. T. 51. № 4. C. 30–36.

23.      Pierson H.O. Handbook of carbon, graphite, diamonds and fullerenes: Processing, properties and applications. Oxford: William Andrew Publishing, 1993. 419 p.

 

 

Полный текст