Научно-технический
«ОПТИЧЕСКИЙ ЖУРНАЛ»
издается с 1931 года
 
   
Русский вариант сайта Английский вариант сайта
   
       
   
       
Статьи последнего выпуска

Электронные версии
выпусков начиная с 2008


Алфавитный указатель
2000-2010 гг


444
Архив оглавлений
выпусков 2002-2007 гг


Реквизиты и адреса

Вниманию авторов и рецензентов!
- Порядок публикации
- Порядок рецензирования статей
- Типовой договор
- Правила оформления
- Получение авторского вознаграждения
- Редакционная этика


Контакты

Подписка

Карта сайта




Журнал с 01.12.2015 допущен ВАК для публикации основных результатов диссертаций как издание, входящее в международные реферативные базы систем цитирования (Web Science, Scopus) (см. Vak.ed.gov.ru Перечень журналов МБД 16.03.2018г)

УВАЖАЕМЫЕ ПОДПИСЧИКИ НАШЕГО ЖУРНАЛА!
По техническим причинам «Оптический журнал» не попал в каталог агентства «Роспечать» на II полугодие 2018 г., что делает невозможной подписку на него на почте. Предлагаем оформить подписку на II полугодие 2018 в редакции журнала удобным Вам способом. Стоимость подписки на полугодие сохраняется (6600 руб.).
Связаться с нами можно по т. (812) 315-05-48, Е-mail: beditor@soi.spb.ru

Аннотации (03.2018) : ВЫСОКОТОЧНЫЙ МЕТОД КОНТРОЛЯ ПАРАМЕТРОВ ЛОКАЛЬНЫХ ОТКЛОНЕНИЙ НАНОМЕТРОВОГО УРОВНЯ ПОВЕРХНОСТИ ОПТИЧЕСКОЙ ДЕТАЛИ

ВЫСОКОТОЧНЫЙ МЕТОД КОНТРОЛЯ ПАРАМЕТРОВ ЛОКАЛЬНЫХ ОТКЛОНЕНИЙ НАНОМЕТРОВОГО УРОВНЯ ПОВЕРХНОСТИ ОПТИЧЕСКОЙ ДЕТАЛИ

 

© 2018 г.       Н. В. Барышников*, доктор техн. наук; Д. Г. Денисов*, канд. техн. наук; В. Е. Карасик*, доктор техн. наук; М. А. Абдулкадыров**, канд. техн. наук; А. Н. Игнатов**; В. Е. Патрикеев**; А. П. Семенов**, канд. техн. наук; А. Б. Морозов**; И. Н. Судариков**; Ю. А. Шаров**

*   Московский государственный технический университет им. Н.Э. Баумана, Москва

** Лыткаринский завод оптического стекла, г. Лыткарино Московской обл.

E-mail: lastro@lzos.ru

УДК 535-15: 535.4: 681.7.02-04:681.787

Поступила в редакцию 21.08.2017

Разработан, научно обоснован и экспериментально подтвержден метод контроля локальных отклонений нанометрового уровня поверхностей крупногабаритных оптических деталей (элементов) от заданного профиля на основе алгоритма расчета целевой функции — спектральной плотности одномерной корреляционной функции в широком спектральном диапазоне пространственных частот. Проведены теоретические и экспериментальные исследования неисключенной систематической и случайной составляющих погрешности определения оптимизационного параметра используемой целевой функции — среднего квадратического отклонения локальных отклонений поверхностей крупногабаритных оптических деталей от заданного профиля.

Ключевые слова: оптический контроль, характеристики волновых фронтов, характеристики профилей поверхностей, спектральная плотность корреляционной функции, динамическая интерферометрия, анализ случайных погрешностей, эффект «утечки» частоты.

Коды OCIS: 220.0220, 220.0230, 220.4610, 350.1260

 

Литература

1.         Абдулкадыров М.А., Добриков Н.С., Патрикеев А.П., Патрикеев В.Е., Семенов А.П.Технология изготовления высокоточных крупногабаритных облегченных асферических зеркал с высокой стабильностью формы поверхности // Оптический журнал. 2014. Т. 81. № 12. С. 6–15.

2.         Абдулкадыров М.А., Белоусов С.П., Патрикеев А.П., Патрикеев В.Е., Семенов А.П. Изготовление оптических элементов составных зеркал для больших астрономических телескопов // Оптический журнал. 2013. Т. 80. № 4. С. 18–23.

3.         Денисов Д.Г., Барышников Н.В., Гладышева Я.В., Карасик В.Е., Морозов А.Б., Патрикеев В.Е. Метод аттестационного контроля поверхностных неоднородностей оптических деталей на основе частотного анализа профиля поверхности // Измерительная техника. 2017. № 2. С. 15–19.

4.        Campbell J.H.,  Hawley-Fedder R.A., Menapace J.A., Borden M.R. NIF optical materials and fabrication technologies // Proc. SPIE. 2004. V. 5341. DOI: 10.1117/12.538462

5.         Денисов Д.Г., Карасик В.Е., Орлов В.М. Измерение параметров микронеровностей крупногабаритных шлифованных поверхностей оптических деталей при помощи лазерной интерферометрии // Метрология. 2009. № 9. С. 15–24.

6.        Sidick E. Power spectral density specification and analysis of large optical surfaces // Proc. SPIE. 2009. V. 7390. DOI: 10.1117/12.823844

7.         Alcocka S.G., Ludbrooka G.D., Owenb T., Dockreec R. Using the power spectral density method to characterise the surface topography of optical surfaces // Proc. SPIE. 2010. V. 7801. DOI: 10.1117/12.861539

8.        ISO 10110-6:2015. Optics and photonics — Preparation of drawings for optical elements and systems — Part 6: Centring tolerances. 2nd ed. Vernier, Geneva, Switzerland: ISO, 2015.

 

 

Полный текст