© 2018 г. А. Н. Баранов*, аспирант; А. В. Михайлов**, канд. техн. наук
* Университет ИТМО, Санкт-Петербург
** АО «Государственный оптический институт им. С.И. Вавилова», Санкт-Петербург
E-mail: a.n.baranov@hotmail.com
УДК 539.23
Поступила в редакцию 27.11.2017
Представлены данные об алмазоподобных углеродных пленках, полученных осаждением из ионного пучка, образованного источником с эффектом Холла. Определены зависимости скорости осаждения пленок от анодного напряжения и тока источника. Найдены диапазоны значений тока анода, оптимальные для синтеза просветляющих однослойных покрытий на оптических элементах из германия и кремния. Показано, что осажденные на обе стороны элемента из германия алмазоподобные углеродные пленки обеспечивают при высокой механической прочности максимальный коэффициент пропускания 99,6% в диапазоне длин волн 3–5 мкм.
Ключевые слова: оптические покрытия, оптические характеристики, эксплуатационные характеристики, алмазоподобные пленки.
Коды OCIS: 310.1860, 310.1210, 160.4760
Литература
1. Robertson J. Diamond-like amorphous carbon // Mater. Sci. Eng. R Reports. 2002. V. 37. № 4–6. P. 129–281.
2. Bewilogua K., Hofmann D. History of diamond-like carbon films — From first experiments to worldwide applications // Surf. Coatings Technol. 2014. V. 242. P. 214–225.
3. Shabalin A., Amann M., Kishinevsky M., Nauman K., Quinn C. Industrial ion sources and their application for DLC coating // SVC — 42nd Annual Technical Conf. Proc. Chicago, Illinois, 1999.
4. Sattel S., Gießen T., Roth H., Scheib M., Samlenski R., Brenn R., Ehrhardt H., Robertson J. Temperature dependence of formation of highly tetrahedral-C:H // Diamond and Related Materials. 1996. V. 5. P. 425–428.
5. Kaufman H.R., Robinson R.S., Seddon R.I. End-Hall ion source // J. Vac. Sci. Technol. A. 1987. V. 5. P. 2081–2084.
6. Macleod H. Thin-film optical filters. 4th Ed. Boca Raton, FL: CRC Press, 2010. 800 p.
Полный текст
