Научно-технический
«ОПТИЧЕСКИЙ ЖУРНАЛ»
издается с 1931 года
 
   
Русский вариант сайта Английский вариант сайта
   
       
   
       
Статьи последнего выпуска

Электронные версии
выпусков начиная с 2008


Алфавитный указатель
2000-2010 гг


444
Архив оглавлений
выпусков 2002-2007 гг


Реквизиты и адреса

Вниманию авторов и рецензентов!
- Порядок публикации
- Порядок рецензирования статей
- Типовой договор
- Правила оформления
- Получение авторского вознаграждения
- Редакционная этика


Контакты

Подписка

Карта сайта




Журнал с 01.12.2015 допущен ВАК для публикации основных результатов диссертаций как издание, входящее в международные реферативные базы систем цитирования (Web Science, Scopus) (см. Vak.ed.gov.ru Перечень журналов МБД 16.03.2018г)

УВАЖАЕМЫЕ ПОДПИСЧИКИ НАШЕГО ЖУРНАЛА!
По техническим причинам «Оптический журнал» не попал в каталог агентства «Роспечать» на II полугодие 2018 г., что делает невозможной подписку на него на почте. Предлагаем оформить подписку на II полугодие 2018 в редакции журнала удобным Вам способом. Стоимость подписки на полугодие сохраняется (6600 руб.).
Связаться с нами можно по т. (812) 315-05-48, Е-mail: beditor@soi.spb.ru

Аннотации (05.2018) : ИССЛЕДОВАНИЕ УРОВНЕЙ МИКРОВИБРАЦИИ В ЛАЗЕРНОМ ИНТЕРФЕРОМЕТРЕ С СИСТЕМОЙ АКТИВНОЙ ВИБРОИЗОЛЯЦИИ

ИССЛЕДОВАНИЕ УРОВНЕЙ МИКРОВИБРАЦИИ В ЛАЗЕРНОМ ИНТЕРФЕРОМЕТРЕ С СИСТЕМОЙ АКТИВНОЙ ВИБРОИЗОЛЯЦИИ

DOI:10.17586/1023-5086-2018-85-05-68-74

© 2018 г.  Ю. К. Грузевич*, **, канд. техн. наук; В. А. Солдатенков*, доктор техн. наук; В. М. Ачильдиев*, **, канд. техн. наук; А. Д. Левкович*, канд. техн. наук; А. Н. Бедро*; М. Н. Комарова*; И. В. Воронин*

*Научно-производственное объединение «Геофизика-НВ», Москва

**Московский государственный технический университет им. Н.Э. Баумана, Москва

E-mail: yukg@mail.ru

УДК 681.787

Поступила в редакцию 09.11.2017

Исследованы вибрационные возмущения, действующие в процессе работы лазерного интерферометра с пассивной и активной виброизоляцией, с помощью датчика микровибрации на основе микромеханических акселерометров. Приводится описание рабочего места, оптическая схема прибора и описывается методика проведения измерений. Проведенный анализ результатов измерений показал, что при воздействии случайной микровибрации амплитуды колебаний исследуемой поверхности и головки микроскопа различны и разница достигает значений, соизмеримых с разрешением лазерного интерферометра. Показано, что для уменьшения погрешностей измерений в лазерном интерферометре в процессе измерений целесообразно осуществлять активную виброизоляцию.

Ключевые слова: система активной виброизоляции, система пассивной виброизоляции, анализатор микросистем, лазерный интерферометр, датчик микровибрации, виброскорость, виброперемещение, оптический модуль, микроскоп.

Коды OCIS: 120.3180, 230.1150

 

Литература

  1. http://www.polytec.com/us/products/vibration­sensors/microscope­based­systems/msa­500­micro­system­analyzer/
  2. Лычагов В.В., Рябухо В.П. Лазерный интерференционный виброметр. Саратов: изд. Саратовского государственного университета им. Н.Г. Чернышевского, 2011. 24 с.
  3. Ачильдиев В.М., Грузевич Ю.К., Солдатенков В.А. Информационные измерительные и оптико­электронные системы на основе микро­ и наномеханических датчиков угловой скорости и линейного ускорения. М.: изд. МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2016. 260 с.
  4. Active vibration isolation system TS­150LP/ NS­140LP/ NS­300LP. Instruction manual. The TableStable Ltd. WWW.TableStable.com v 2015­1.01/
  5. Single axis analog accelerometer. VS 1000 – PRELIMINARY DATASHEET. Colibrys LTD. www.colibris.com. 10/2015
  6. Сирая Т.Н. Вариация Аллана как оценка погрешности измерения // Гироскопия и навигация. 2010. № 2(69). С. 29–36.
  7. IEEE Std 1554­2005 IEEE recommended practical for inertial sensor test equipment. Instrumentation, Data Ecquisition, and Analysis.

 

Полный текст