Научно-технический
«ОПТИЧЕСКИЙ ЖУРНАЛ»
издается с 1931 года
 
   
Русский вариант сайта Английский вариант сайта
   
       
   
       
Статьи последнего выпуска

Электронные версии
выпусков начиная с 2008


Алфавитный указатель
2000-2010 гг


444
Архив оглавлений
выпусков 2002-2007 гг


Реквизиты и адреса

Вниманию авторов и рецензентов!
- Порядок публикации
- Порядок рецензирования статей
- Типовой договор
- Правила оформления
- Получение авторского вознаграждения
- Редакционная этика


Контакты

Подписка

Карта сайта




Журнал с 01.12.2015 допущен ВАК для публикации основных результатов диссертаций как издание, входящее в международные реферативные базы систем цитирования (Web Science, Scopus) (см. Vak.ed.gov.ru Перечень журналов МБД 16.03.2018г)

УВАЖАЕМЫЕ ПОДПИСЧИКИ НАШЕГО ЖУРНАЛА!
По техническим причинам «Оптический журнал» не попал в каталог агентства «Роспечать» на II полугодие 2018 г., что делает невозможной подписку на него на почте. Предлагаем оформить подписку на II полугодие 2018 в редакции журнала удобным Вам способом. Стоимость подписки на полугодие сохраняется (6600 руб.).
На первое полугодие 2019 и далее подписка будет проводится в ранее существовавшем порядке через "Роспечать", "УралПресс" и другие агенства печати.

Связаться с нами можно по т. (812) 315-05-48, Е-mail: beditor@soi.spb.ru

Аннотации (11.2018) : МЕТОД УВЕЛИЧЕНИЯ ГЛУБИНЫ РЕЗКОСТИ ИЗОБРАЖЕНИЙ ПЛОСКИХ ТРАНСПАРАНТОВ, ВОССТАНОВЛЕННЫХ С ПОМОЩЬЮ СИНТЕЗИРОВАННЫХ ГОЛОГРАММ

МЕТОД УВЕЛИЧЕНИЯ ГЛУБИНЫ РЕЗКОСТИ ИЗОБРАЖЕНИЙ ПЛОСКИХ ТРАНСПАРАНТОВ, ВОССТАНОВЛЕННЫХ С ПОМОЩЬЮ СИНТЕЗИРОВАННЫХ ГОЛОГРАММ

 

© 2018 г.       С. Н. Корешев*, **, доктор техн. наук; Д. С. Смородинов*, канд. техн. наук; М. А. Фролова*, аспирант

*   Университет ИТМО, Санкт-Петербург

** АО «Государственный оптический институт им. С.И. Вавилова», Санкт-Петербург

E-mail: smorodinov.denis@gmail.com

УДК 535.417, 535.317, 778.38

Поступила в редакцию 01.07.2018

DOI:10.17586/1023-5086-2018-85-11-50-57

Рассмотрено влияние параметров синтеза голограммы-проектора на распределения комплексной амплитуды в плоскостях синтеза голограммы и восстановленного изображения. Предложен и исследован метод увеличения глубины резкости восстанавливаемых изображений. Метод основан на представлении объектной волны при синтезе голограммы в виде суперпозиции объектных волн, исходящих от двух одинаковых объектов, расположенных на различных расстояниях от плоскости синтеза голограммы. Работа выполнена методом математического моделирования процессов синтеза и восстановления голограммы применительно к случаю синтеза голограмм-проекторов двумерных бинарных объектов для фотолитографии.

Ключевые слова: глубина резкости, разность фаз, синфазность, синтез голограмм, увеличение глубины резкости, фотолитография.

Код OCIS: 090.0090

 

Литература 

1.         Clube F., Gray S., Struchen D., Tisserand J., Malfoy S., Darbellay Y. Holographic microlithography // Opt. Eng. 1995. V. 34. № 9. P. 2724–2730. 

2.         Maiden A., McWilliam R., Purvis A., Johnson S., Williams G.L., Seed N.L., Ivey P.A. Nonplanar photolithography with computer-generated holograms // Opt. Lett. 2005. V. 30. № 11. P. 1300–1302.

3.         Bay C., Hübner N., Freeman J., Wilkinson T. Maskless photolithography via holographic optical projection // Opt. Lett. 2010. V. 35. № 13. P. 2230–2232.

4.         Кольер Р., Беркхард К., Лин Л. Оптическая голография. М.: Мир, 1973. 686 с.

5.         Levenson M.D., Johnson K.M., Hanchett V.C., Chiang K. Projection photolithography by wave-front conjugation // JOSA. 1981. V. 71. № 6. P. 737–743.

6.         Martinez-Leon L., Clemente P., Mori Y., Climent V., Lancis J., Tajahuerce E. Single-pixel digital holography with phase-encoded illumination // Opt. Exp. 2017. V. 25. № 5. P. 4975–4984. 

7.         Корешев С.Н., Никаноров О.В., Смородинов Д.С. Изображающие свойства дискретных голограмм. I. Влияние дискретности голограммы на восстановленное изображение // Оптический журнал. 2014. Т. 81. № 3. С. 14–19.

8.        Zhang Y., Lu Q., Ge B. Elimination of zero-order diffraction in digital off-axis holography // Opt. Commun. 2004. V. 240. № 4–6. P. 261–267.

9.         Chen G., Lin C., Kuo M., Chang C. Numerical suppression of zero-order image in digital holography // Opt. Exp. 2007. V. 15. № 14. P. 8851–8856.

10.       Корешев С.Н., Никаноров О.В., Смородинов Д.С. Изображающие свойства дискретных голограмм. II. Влияние модификации структуры голограммы и высокой, превышающей частоту Найквиста, несущей пространственной частоты голограммной структуры на восстановленное изображение // Оптический журнал. 2014. Т. 81. № 4. С. 48–53.

11.       Корешев С.Н., Никаноров О.В., Фролова М.А., Новицкая Я.А., Хисамов Р.И. Методы увеличения разрешающей способности и глубины резкости синтезированных голограмм-проекторов // Оптический журнал. 2016. Т. 83. № 12. С. 62–68.

12.       Франсон М. Оптика спеклов. М.: Мир, 1980. 172 с.

13.       Борн М., Вольф Э. Основы оптики. М.: Наука, 1973. 720 с.

14.       Корешев С.Н., Смородинов Д.С., Никаноров О.В., Громов А.Д. Синтез голограмм-проекторов для фотолитографии на неплоских поверхностях // Оптический журнал. 2015. Т. 82. № 2. С. 37–42.

15.       Lohmann A.W. Variable Fresnel zone pattern // Appl. Opt. 1967. V. 6. № 9. P. 1567–1570.

16.       Greenberg M.D. Advanced engineering mathematics (2nd ed.). Upper Saddle River: Prentice Hall, 1998. 646 p.

17.       Корешев С.Н., Никаноров О.В., Громов А.Д. Метод синтеза голограмм-проекторов, основанный на разбиении структуры объекта на типовые элементы, и программный комплекс для его реализации // Оптический журнал. 2012. Т. 79. № 12. С. 30–37.

18.       Корешев С.Н., Никаноров О.В., Ратушный В.П. Восстановление синтезированных голограмм-проекторов Френеля при углах падения восстанавливающей волны, превышающих угол падения опорной волны при синтезе голограммы // Опт. спектр. 2011. Т. 111. № 1. С. 143–148.

19.       Корешев С.Н., Никаноров О.В., Смородинов Д.С., Громов А.Д.  Влияние метода представления объекта на изображающие свойства синтезированных голограмм // Оптический журнал. 2015. Т. 82. № 4. С. 66–73.

20.      Корешев С.Н., Смородинов Д.С., Фролова М.А. Влияние периода дискретизации объекта на глубину резкости изображений, восстанавливаемых с помощью синтезированных голограмм-проекторов Френеля // Оптический журнал. 2017. Т. 84. № 11. С. 69–72.

 

 

Полный текст