Научно-технический
«ОПТИЧЕСКИЙ ЖУРНАЛ»
издается с 1931 года
 
   
Русский вариант сайта Английский вариант сайта
   
       
   
       
Статьи последнего выпуска

Электронные версии
выпусков начиная с 2008


Алфавитный указатель
2000-2010 гг


444
Архив оглавлений
выпусков 2002-2007 гг


Реквизиты и адреса

Вниманию авторов и рецензентов!
- Порядок публикации
- Порядок рецензирования статей
- Типовой договор
- Правила оформления
- Получение авторского вознаграждения
- Редакционная этика


Контакты

Подписка

Карта сайта




Журнал с 01.12.2015 допущен ВАК для публикации основных результатов диссертаций как издание, входящее в международные реферативные базы систем цитирования (Web Science, Scopus) (см. Vak.ed.gov.ru Перечень журналов МБД 16.03.2018г)

УВАЖАЕМЫЕ ПОДПИСЧИКИ НАШЕГО ЖУРНАЛА!
По техническим причинам «Оптический журнал» не попал в каталог агентства «Роспечать» на II полугодие 2018 г., что делает невозможной подписку на него на почте. Предлагаем оформить подписку на II полугодие 2018 в редакции журнала удобным Вам способом. Стоимость подписки на полугодие сохраняется (6600 руб.).
На первое полугодие 2019 и далее подписка будет проводится в ранее существовавшем порядке через "Роспечать", "УралПресс" и другие агенства печати.

Связаться с нами можно по т. (812) 315-05-48, Е-mail: beditor@soi.spb.ru

Аннотации (12.2018) : ВЛИЯНИЕ НЕСТЕХИОМЕТРИИ СОСТАВА НА ОПТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ПЛЁНОК ДИОКСИДА ТИТАНА

ВЛИЯНИЕ НЕСТЕХИОМЕТРИИ СОСТАВА НА ОПТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ПЛЁНОК ДИОКСИДА ТИТАНА

© 2018 г.       В. В. Новопашин*, канд. техн. наук; Л. А. Скворцов*, доктор техн. наук; М. И. Скворцова**, доктор физ.-мат. наук

*   НИИ «Полюс» им. М.Ф. Стельмаха, Москва

** МИРЭА — Российский технологический университет, Москва

E-mail: lskvortsov@gmail.com

УДК 544.023.2

Поступила в редакцию 10.08.2018

DOI:10.17586/1023-5086-2018-85-12-77-82

Установлено, что механизмы поглощения света в плёнках диоксида титана имеют различный характер в видимом и ближнем инфракрасном диапазоне спектра. В ближнем ИК диапазоне спектра преобладающий вклад в коэффициент поглощения вносят собственные дефекты, связанные с нестехиометрией состава плёнки. В то же время в видимом диапазоне спектра основной вклад в поглощение, скорее всего, обусловлен внешними дефектами, а именно посторонними включениями и примесями, содержащимися в исходном материале для напыления плёнок. Показано, что введение контроля величины фототермического сигнала от таблеток из исходного сырья позволяет свести к минимуму и стабилизировать величину поглощения в видимой области спектра.

Ключевые слова: диоксид титана, реактивное термоиспарение, активированное реактивное термоиспарение, поглощение, стехиометрия состава, фотототермическая радиометрия.

Коды OCIS: 140.0140; 310.1860

 

Литература 

1.         Maissel L.I., Glang R. Handbook of thin film technology. New York: McGraw-Hill, 1970. 1216 p.

2.         Rao K.N. Influence of deposition parameters on optical properties of TiO2 films // Optical Engineering. 2002. V. 41. P. 2357–2365.

3.         Зверев Г.М., Колядин С.А., Левчук Е.А., Скворцов Л.А. Исследование процессов разрушения диэлектрических плёнок под действием лазерного излучения // Квантовая электроника. 1977. Т. 4. № 2. С. 413–419 [Zverev G.M., Kolyadin S.A., Levchuk E.A., Skvortsov L.A. Investigation of the damage to dielectric films by laser radiation // Soviet Journal of Quantum Electron. 1977. V. 7 (2). P. 227–230].

4.         Küster H., Ebert J. Activated reactive evaporation of TiO2 layers and their absorption indices // Thin Solid Films. 1980. V. 70. № 1. P. 43–47.

5.         Narasimha K.R. Influence of substrate temperature on optical absorption in TiO2 films // Proc. SPIE. Thin Film Technologies III. 1989. V. 1019. P. 49–55.

6.         Küster H., Ebert J. Activated reactive evaporation of TiO2 layers and their absorption indices // Thin Solid Films. 1980. V. 70. № 1. P. 43 – 47.

7.         Скворцов Л.А., Кириллов В.М. Измерение температуры поверхности тел методом лазерной фототермической радиометрии // Квантовая электроника. 2003. Т. 33. № 12. С. 1113–1117. [Skvortsov L.A., Kirillov V.M. Measurement of the body surface temperature by the method of laser photothermal radiometry // Quantum Electronics. 2003. V. 33. № 12. P. 1113–1117].

8.        Nordal P.E., Kanstad S.O. Photothermal radiometry // Phys. Scr. 1979. V. 20. P. 659–663.

9.         Зверев Г.М., Скворцов Л.А. Особенности процесса разрушения диэлектрических покрытий в непрерывном режиме генерации // Известия АН СССР. Серия Физическая. 1981. Т. 45. № 3. С. 644–646. [Zverev G.M., Skvortsov L.A. Damage of dielectric coatings by CW laser radiation // Akademiia Nauk USSR. Izvestiia Seriia Fizicheskaia. 1981. Т. 45. Р. 644–646].

10.       Santos R., Miranda L.C.M. Theory of the photothermal radiometry with solids // J. Appl. Phys. 1981. V. 52. P. 4194–4199.

11.       Лопаткин В.Н., Сидорюк О.Е., Скворцов Л.А. Лазерная модуляционная фототермическая радиометрия — новый метод измерения малых поглощений в объёме материалов и покрытиях // Квантовая электроника. 1985. Т. 12. № 2. С. 339–346 [Lopatkin V.N., Sidoryuk O.E., Skvortsov L.A. Laser modulation photothermal radiometer – a new method for measuring weak absorption in bulk materials and coatings // Soviet Journal of Quantum Electron. 1985. V. 15 (2). P. 216–220]. 

12.       Mandelis A., Riopel Y. Laser infrared photothermal radiometry of electronic solids: Principles and applications to industrial semiconductor Si wafers // Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films. 2000. V. 18. № 2. Р. 705–708.

13.       Emeline A., Salinaro A., Ryabchuk V., Serpone N. Photo-induced processes in heterogeneous nanosystems. From photoexcitation to interfacial chemical transformations // Int. J. Photoenergy. 2001. V. 3. P. 1–16.

14.       Hoffmann M., Martin S., Choi W., Bahnemann D. Environmental applications of semiconductor photocatalysis // Chem. Rev. 1995. V. 95. № 1. P. 69–96.

15.       Зверев Г.М., Сидорюк О.Е., Скворцов Л.А. Влияние процессов адсорбции воды на лазерную прочность диэлектрических покрытий из двуокиси титана // Квантовая электроника. 1981. Т. 8. № 10. С. 2274–2276. [Zverev G.M., Sidoryuk O.E., Skvortsov L.A. Influence of water adsorption processes on the optical strength of dielectric titanium dioxide coatings // Soviet Journal of Quantum Electronics. 1981. V. 11. № 10. P. 1393–1395].

 

 

Полный текст