Научно-технический
«ОПТИЧЕСКИЙ ЖУРНАЛ»
издается с 1931 года
 
   
Русский вариант сайта Английский вариант сайта
   
       
   
       
Статьи последнего выпуска

Электронные версии
выпусков начиная с 2008


Алфавитный указатель
2000-2010 гг


444
Архив оглавлений
выпусков 2002-2007 гг


Реквизиты и адреса

Вниманию авторов и рецензентов!
- Порядок публикации
- Порядок рецензирования статей
- Типовой договор
- Правила оформления
- Получение авторского вознаграждения
- Редакционная этика


Контакты

Подписка

Карта сайта




Журнал с 01.12.2015 допущен ВАК для публикации основных результатов диссертаций как издание, входящее в международные реферативные базы систем цитирования (Web Science, Scopus) (см. Vak.ed.gov.ru Перечень журналов МБД 16.03.2018г)

Аннотации (04.2019) : ИССЛЕДОВАНИЕ РАЗРЕШАЮЩЕЙ СПОСОБНОСТИ ПРЯМОЙ ЗАПИСИ СУБМИКРОННЫХ СТРУКТУР НА ПЛЁНКАХ ТИТАНА МИЛЛИСЕКУНДНЫМИ ЛАЗЕРНЫМИ ИМПУЛЬСАМИ

ИССЛЕДОВАНИЕ РАЗРЕШАЮЩЕЙ СПОСОБНОСТИ ПРЯМОЙ ЗАПИСИ СУБМИКРОННЫХ СТРУКТУР НА ПЛЁНКАХ ТИТАНА МИЛЛИСЕКУНДНЫМИ ЛАЗЕРНЫМИ ИМПУЛЬСАМИ

 

© 2019 г.       Е. А. Шахно*, **, доктор техн. наук; К. З. Нгуен*, аспирант

*   Университет ИТМО, Санкт-Петербург

** Институт автоматики и электрометрии Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск

E-mail: elena.shakhno@mail.ru, qdung1991@gmail.com

УДК 544.032.65

Поступила в редакцию 21.01.2019

DOI:10.17586/1023-5086-2019-86-04-69-73

Проведено моделирование локального лазерного окисления тонких плёнок титана при субмикронных размерах области облучения. Получены радиальные распределения температуры плёнки, толщины оксидного слоя и пропускания плёнки с учётом временнóй и пространственной зависимости поглощательной способности плёнки от толщины образующегося слоя оксида. Результаты расчётов выявили условия достижения высокой разрешающей способности (минимальный размер записанного изображения 230 нм для излучения видимого диапазона) и одновременно высокого контраста записи. Определены диапазоны оптимальных значений плотности мощности излучения и толщины плёнки.

Ключевые слова: тонкие плёнки, лазерное окисление, разрешающая способность, дифракционные оптические элементы, пропускание, контраст.

Коды OCIS: 310.6860, 350.3390

 

ЛИТЕРАТУРА

1.         Chong T.C., Hong M.H., Shi L.P. Laser precision engineering: from microfabrication to nanoprocessing // Laser & Photonics Reviews. 2010. V. 4. № 1. P. 123–143.

2.         Veiko V.P., Yarchuk M.V., Zakoldaev R.A. et al. Picosecond laser registration of interference pattern by oxidation of thin Cr films // Applied Surface Science. 2017. V. 404. P. 63—66.

3.         Gedvilas M., Voisiat B., Indrišiūnas S. et al. Thermo-chemical microstructuring of thin metal films using multi-beam interference by short (nano- & picosecond) laser pulses // Thin Solid Films. 2017. V. 634. P. 134—140.

4.        Вейко В.П., Заколдаев Р.А., Синев Д.А. и др. Экспериментальная реализация и анализ возможностей термохимической лазерной интерференционной записи на плёнках титана // Beam Technologies and Laser Application: Proceedings of the international conference. 2016. P. 366—370.

5.         Максимова С.В., Коваль В.В., Заколдаев Р.А. и др. Окисление пленок титана пикосекундными лазерными импульсами в схеме многолучевой интерференции // VII Международная конференция по фотонике и информационной оптике: Сборник научных трудов. М.: НИЯУ МИФИ, 2018. С. 478—479.

6.        Полещук А.Г., Вейко В.П., Корольков В.П. Лазерные технологии для формирования структуры дифракционных оптических элементов // Мир голографии. 2017. Т. 3. № 1. С. 29—34.

7.         Шиманский Р.В., Полещук А.Г., Корольков В.П. и др. Совмещение записывающего пучка с осью вращения дифракционной структуры при изготовлении ДОЭ в полярной системе координат // Автометрия. 2017. Т. 53. № 2. С. 30—38.

8.        Вейко В.П., Корольков В.П., Полещук А.Г. и др. Лазерные технологии в микрооптике. Ч. 1. Изготовление дифракционных оптических элементов и фотошаблонов с амплитудным пропусканием // Автометрия. 2017. Т. 53. № 5. С. 66—77.

9.        Veiko V.P., Poleshchuk A.G. Laser-induced local oxidation of thin metal films: physical fundamentals and applications // Fundamentals of laser-assisted micro- and nanotechnologies / Ed. by Veiko V.P., Konov V.I. New-York-Heidelberg: Springer Series in Materials Science. Springer verlag, 2014. V. 195. XVII. Р. 149–172.

10.       Wang Y., Miao J., Tian Y. et al. TiO2 micro-devices fabricated by laser direct writing // Opt. Express. 2011. V. 19. P. 17390—17395.

11.       Gorbunov А., Eichler H., Pompe W. et al. Lateral self-limitation in the laser-induced oxidation of ultrathin metal films // Appl. Phys. Lett. 1996. V. 69. № 19. P. 2816–2818.

12.       Gorbunov А.A., Pompe W., Eichler H. et al. Nanostructuring of laser-deposited Ti films by selflimited oxidation // Journal of the American Ceramic Society. 1997. V. 80. № 7. Р. 1663–1667. 

13.       Шахно Е.А., Синев Д.А., Кулажкин А.М. Особенности лазерного окисления тонких пленок титана // Оптический журнал. 2014. Т. 81. № 5. С. 93—98. 

14.       Шахно Е.А., Нгуен К.З. Динамика лазерного нагревания и окисления тонких металлических пленок с учетом изменения поглощательной способности // Оптический журнал. 2016. T. 83. № 4. C. 31—37.

15.       Вейко В.П. Лазерная обработка пленочных элементов. Л.: Машиностроение, 1986. 248 с.

16.       Либенсон М.Н. Лазерно-индуцированные оптические и термические процессы в конденсированных средах и их взаимное влияние. СПб.: Наука, 2007. 423 с.

 

 

Полный текст